NanoWorld AG
SEIHは、旧SII社製の300kHz帯の高共振周波数に対応していないタイプの装置向けにデザインされたプローブです。DFM（ダイナミックフォースモード）測定に適しています。
nanotools GmbH
先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。 シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。
チップ先端部にPtIr5をコートしたプローブ。表面電位顕微鏡や電流イメージングに使用可能です。
チップにダイヤモンドコートを施し、耐久性を上げたプローブです。バネ定数が高く、サンプルに強い力をかけたスクラッチ試験などに向いています。
アロープローブは、矢印形状のカンチレバー先端にプローブを形成していますので、狙った測定場所へのアプローチを容易に行うことができます。 プローブ全体に約25nmのPtIr5をコーティングし、導電性を持たせています。金属をコーティングすることで、抵抗率を低減させています。
磁気力顕微鏡(MFM)用のプローブです。幅広いアプリケーションに対応するため、各種磁性膜(強磁性・軟磁性)を取り揃えています。
導電性を持たせたダイヤモンドをコーティングし、スキャンによる磨耗と高電流による膜破壊を低減させています。強い接触力やμAレベルの電流を流す必要があるアプリケーションに対応します。
OPUS by μmasch®
磁気力顕微鏡（MFM）用のプローブです。 探針側の硬質磁性材料コートによって、高磁気力感度と高分解能を確保しています。 カンチレバー背面のAlコートは、光源の反射率を向上させています。 四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
ACモードを用いる電気力顕微鏡（EFM）、ケルビンフォース顕微鏡（KPFM）などの電気特性測定用のプローブです。 カンチレバー及び探針全体の白金コートによって、高い電気導電性と光源の反射率を向上させています。 四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
チップ先端に対称性の高い球状のHDCを成長させたプローブです。主にナノインデンテーション用に使用されます。20nm～2000nmまで幅広いラインアップを揃えています。
USC（ショートカンチレバーシリーズ）は、5MHzまでの高共振周波数で測定できるようデザインされた高速AFM用プローブです。極微小カンチレバーとシャープで耐摩耗性に優れた高密度カーボンチップを組み合わせています。
OPUS-55ACシリーズは、高速ACモードイメージング用プローブです。 先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。 四面体探針がカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能です。 金属コート無(OPUS-55AC-NN)／Al反射コート(OPUS-55AC-NA)のタイプがあります。
ACモード・超高共振周波数用の、カンチレバー長が非常に短いタイプです。
一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。 個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
カーボンナノチューブで問題となるチューブの取付け角度やチューブの長さ・太さのバラツキを解決したチップです。CNTはCarbon Nano Tipの略です。
サイドウォールの粗さや傾斜角度、トレンチの深さ、ステップ高さを測定するためのチップです。ナノツールズ社のEBD技術により、高精度なアンダーカット形状のHDCチップが製作されています。
研究向けにお求めやすい価格で、しかも長期にわたる信頼性の高い、高分解能測定を行うためのHDC/DLCプローブです。
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