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スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ 

nanotools GmbH
スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ 8291_ext_07_0.png
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先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。
シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。

特長

■2nmの超高分解能測定が可能
■耐久性に優れているため1本のチップで長時間・多数サンプルの測定可能
■75kHzまたは400kHzで自動ノンコンタクトAFM観察可能

仕様

製品名 モード タイプ チップ形状 反射コート 曲率半径 ベースプローブ バネ定数 共振周波数 チップ長さ 角度
NT-SSE_1 ACモード 高共振周波数 円錐 Al 2nm NT-RTESPA 40N/m 396kHz - -
NT-SSE_2 ACモード フォースモジュレーション 円錐 Al 2nm NT-FESPA 2.8N/m 75kHz - -
*値はティピカルです。

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型番 本数 特性表
NT-SSE_1_5 5 個別特性値
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NT-SSE_2_5 5 個別特性値
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