ナノ
イメージング

TESCAN社　電子顕微鏡・集束イオンビーム装置 (FIB-SEM/SEM)

• Xe プラズマ FIB-SEM  (2)
• Ga FIB-SEM  (2)
• SEM  (5)
• X線マイクロCTシステム  (4)

電子顕微鏡組込み型 表面物性計測装置

• In-SEM AFM  (1)
• In-SEM ナノインデンター  (1)

ナノインデンター・薄膜機械特性

• ナノインデンター  (6)
• 薄膜硬度計  (1)
• 引っ張り試験システム  (1)
• 超薄膜ヤング率測定  (1)

原子間力顕微鏡/走査型プローブ顕微鏡(AFM/SPM)

• AFM/SPM  (2)

AFM/SPM用プローブ

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