ナノ
イメージング

TESCAN社　電子顕微鏡・集束イオンビーム装置 (FIB-SEM/SEM)

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• SEM  (5)
• In-SEM ナノインデンター  (1)
• X線マイクロCTシステム  (3)

ナノインデンター・薄膜機械特性

• ナノインデンター  (6)
• 薄膜硬度計  (1)
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• 超薄膜ヤング率測定  (1)

原子間力顕微鏡/走査型プローブ顕微鏡(AFM/SPM)

• AFM/SPM  (2)

AFM/SPM用プローブ

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膜型表面応力センサー

• 膜型表面応力センサー(SD-MSS)  (2)