AFM/SPM
原子間力顕微鏡(以下AFM; Atomic Force Microscope )とは、ナノメートルオーダーにまで先鋭化されたプローブを用いて、プローブと試料の間に作用する力を検出し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する顕微鏡です。AFMは、SEMやTEMに匹敵する面分解能に加え、オングストロームレベルの高さ分解能を有する点が大きな特長です。 AFMは形状観察だけでなく、その技術を応用して物性マッピングすることも可能です。フォースカーブ法による力学特性や、バイアスを印加して行う導電性評価が、代表的な応用例になります。
AFMの概略図
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特長 1) 表面形状の3次元定量計測 |