高分解能原子間力顕微鏡 HR-AFM
特長
HR-AFMのステージは、温度・機械的安定性が非常に優れているため、高精度なAFMスキャンが可能です。
また、EBOXと呼ばれる制御ボックスは、業界標準のデータ収集方式による安定性と、アナログ方式のZフィードバックループによる最高クラスの忠実なスキャンを実現しています。
また、EBOXと呼ばれる制御ボックスは、業界標準のデータ収集方式による安定性と、アナログ方式のZフィードバックループによる最高クラスの忠実なスキャンを実現しています。
仕様
| 最大サンプルサイズ | 25.4mm×25.4mm (1インチ×1インチ) |
| 最大サンプル高さ | 12.7mm (1/2インチ) |
| 標準搭載モード | 加振(タッピング)、位相、 コンタクト、水平力(LFM) |
| スキャン範囲 | 下記いずれかのスキャナを選択 100×100×17 μm 50×50×17 µm 15×15×7 µm |
| ビデオ光学顕微鏡 | 最大倍率 400倍、分解能 2μm |
オプションモード
● 電流検出AFM
● 磁気力顕微鏡(MFM)
● フォースカーブ
● 磁気力顕微鏡(MFM)
● フォースカーブ
アプリケーション
◇ ナノテクノロジー研究
ナノ構造を日常的にスキャンしたい
◇ 装置開発
AFMをプラットフォームとした新しい装置を開発したい
◇ 教育
AFMの構成、操作、アプリケーションの教育をしたい
ナノ構造を日常的にスキャンしたい
◇ 装置開発
AFMをプラットフォームとした新しい装置を開発したい
◇ 教育
AFMの構成、操作、アプリケーションの教育をしたい
ステージ
HR-AFMのステージは、温度・機械的安定性が非常に優れているため、高精度なAFMスキャンが可能です。
また、オープンデザインであるため、独自の改造をすることもできます。
● 堅牢なフレーム設計
交差ビーム設計によるステージ支持は非常に堅牢で、外部の振動の影響を受けにくくなっています。
● 光てこ方式AFMフォースセンサ
ほとんどのAFMで用いられている光てこ方式を採用しており、多くのタイプの測定方法に対応できます。
● 一体型プローブホルダ／エクスチェンジャ
独自設計のプローブホルダとクリッピング機構により、プローブの交換を迅速かつ容易に行うことができます。
● コンパクトな筐体寸法
ステージの寸法は25.4×25.4 cm（10×10インチ）と省スペースで、卓上に容易に収まります。
● マイクロメータを用いた精密なXYステージ
精密なXYマイクロメータ・ステージによって、プローブに対するサンプルの位置が相対的に動きます。これにより、サンプルに触れることなく、サンプルを動かすことができます。
● モード測定用多極プラグ
ステージ背面に6極の電極が備えられており、TT-2 AFMの電気測定能力を拡張することができます。
● XYZ精密ピエゾスキャナ
温度補償型のストレインゲージを用いた改良型の三脚機構によって、イメージングに必要な正確な距離測定ができます。
この機構により、イメージ内の特定の形状へ迅速にズームして視覚化することができるようになっています。
● レーザ／ディテクタのアライメント
光てこ方式のレーザ光とフォト・ディテクタとの位置を直接観測できます。この機構によって、レーザ／ディテクタのアライメント調整が簡単にできます。
● 取り外し自在なサンプルホルダ
XYZスキャナの上部にあるサンプル保持用キャップは取り外しが可能です。キャップを交換したり新たに設計したキャップを使うこともできるため、多くのタイプのサンプルに適応できます。
また、オープンデザインであるため、独自の改造をすることもできます。
● 堅牢なフレーム設計
交差ビーム設計によるステージ支持は非常に堅牢で、外部の振動の影響を受けにくくなっています。
● 光てこ方式AFMフォースセンサ
ほとんどのAFMで用いられている光てこ方式を採用しており、多くのタイプの測定方法に対応できます。
● 一体型プローブホルダ／エクスチェンジャ
独自設計のプローブホルダとクリッピング機構により、プローブの交換を迅速かつ容易に行うことができます。
● コンパクトな筐体寸法
ステージの寸法は25.4×25.4 cm（10×10インチ）と省スペースで、卓上に容易に収まります。
● マイクロメータを用いた精密なXYステージ
精密なXYマイクロメータ・ステージによって、プローブに対するサンプルの位置が相対的に動きます。これにより、サンプルに触れることなく、サンプルを動かすことができます。
● モード測定用多極プラグ
ステージ背面に6極の電極が備えられており、TT-2 AFMの電気測定能力を拡張することができます。
● XYZ精密ピエゾスキャナ
温度補償型のストレインゲージを用いた改良型の三脚機構によって、イメージングに必要な正確な距離測定ができます。
この機構により、イメージ内の特定の形状へ迅速にズームして視覚化することができるようになっています。
● レーザ／ディテクタのアライメント
光てこ方式のレーザ光とフォト・ディテクタとの位置を直接観測できます。この機構によって、レーザ／ディテクタのアライメント調整が簡単にできます。
● 取り外し自在なサンプルホルダ
XYZスキャナの上部にあるサンプル保持用キャップは取り外しが可能です。キャップを交換したり新たに設計したキャップを使うこともできるため、多くのタイプのサンプルに適応できます。
EBOX
● 28ビット
28ビットでスキャンすることによって、最高レベルの分解能を持つAFMイメージを収集することができます。
XYストレインゲージを用いたフィードバック制御によって、サンプル表面上のプローブの動作を正確に追跡することができます。
● 位相および電流検出回路
EBOX内では、非常に安定したチップによって位相と電流が測定されています。加振モードでのスキャン時には、位相または電流のどちらかでフィードバック制御を行うように設定することができます。
● 信号へのアクセスが可能
EBOX背面に50ピン・リボンケーブルを取り付けて、EBOXを開くことなくAFMの基本的な電気信号にアクセスすることができます。
● ステータス表示
EBOX正面には7個のLEDから成るインジケータがあり、回路の異常のような事態が発生した場合に、EBOXの電源を切るかどうか判断するのに用いられます。
● 精密なアナログ・フィードバック
光てこ方式フォースセンサからZピエゾ素子へのフィードバックは、精密なアナログ・フィードバック回路で実現されています。プローブの位置は、サンプル&ホールド回路を用いた垂直方向の位置検出によって補正されます。
● ゲイン可変型高電圧ピエゾ・ドライバ
S/N比が改善されただけでなく、非常に小さなスキャン・レンジが実現できるようになっています。
28ビットでスキャンすることによって、最高レベルの分解能を持つAFMイメージを収集することができます。
XYストレインゲージを用いたフィードバック制御によって、サンプル表面上のプローブの動作を正確に追跡することができます。
● 位相および電流検出回路
EBOX内では、非常に安定したチップによって位相と電流が測定されています。加振モードでのスキャン時には、位相または電流のどちらかでフィードバック制御を行うように設定することができます。
● 信号へのアクセスが可能
EBOX背面に50ピン・リボンケーブルを取り付けて、EBOXを開くことなくAFMの基本的な電気信号にアクセスすることができます。
● ステータス表示
EBOX正面には7個のLEDから成るインジケータがあり、回路の異常のような事態が発生した場合に、EBOXの電源を切るかどうか判断するのに用いられます。
● 精密なアナログ・フィードバック
光てこ方式フォースセンサからZピエゾ素子へのフィードバックは、精密なアナログ・フィードバック回路で実現されています。プローブの位置は、サンプル&ホールド回路を用いた垂直方向の位置検出によって補正されます。
● ゲイン可変型高電圧ピエゾ・ドライバ
S/N比が改善されただけでなく、非常に小さなスキャン・レンジが実現できるようになっています。