ナノイメージング
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ナノインデンター

自動車部品で多用されるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜やコネクタの電極表面の金属メッキ膜、樹脂表面の保護用ハードコート膜など、製品の機械的特性を向上させる薄膜の使用が増えています。ナノインデンターでは、従来の押しこみ試験では測定が困難であったミクロンレベルの薄膜に対し、高精度かつ自動で硬さ・ヤング率等の機械的特性が取得可能です。さらに加熱やスクラッチといった各種オプションも追加可能です。

<ナノインデンターとは>
ナノインデンターは試料に対して準静的な押しこみ試験を行い、試料の機械特性を取得します。最大荷重印加時の押込み深さや、その曲線を解析することで求められる硬度・ヤング率、塑性変形と弾性変形との仕事率等多彩な情報を得られます。この試験法(ナノインデンテーション法)は国際規格ISO14577で定められています。


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  • iNano 高分解能 薄膜機械的特性評価装置
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    iNano 超高分解能 薄膜機械的特性評価装置
    Nanomechanics, Inc.

    iNanoは、極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、硬度・ヤング率の3次元イメージングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。

  • デモ・受託分析対応

    iMicro 高性能 薄膜機械的特性評価装置
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    iMicro 高性能 薄膜機械的特性評価装置
    Nanomechanics, Inc.

    iMicro 薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。

  • デモ・受託分析 対応

    Nano Indenter G200
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    Nano Indenter G200

    Nano Indenter G200は、バルク材料やミクロンオーダー厚の薄膜は勿論、従来困難であったサブミクロン厚の薄膜まで硬度・ヤング率評価を高精度で測定可能です。計装化押し込み試験の規格、ISO14577-1,2,3 に完全準拠した、まさに標準機と評価される製品です。高速インデンテーションを用いた硬さ・ヤング率の2次元定量イメージングにも対応します。

  • NanoFlip 顕微鏡組み込み型ナノインデンター
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    NanoFlip 顕微鏡組み込み型ナノインデンター
    Nanomechanics, Inc.

    NanoFlipは各種光学顕微鏡やAFMなどの既存のイメージング装置に搭載して、イメージング&機械特性評価を実現する新しいタイプのナノインデンターです。

  • In-SEM インデンター
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    In-SEM インデンター
    Nanomechanics, Inc.

    Nano Indenterシステムは、試験荷重と押し込み深さの計測値から試料の微小領域における機械特性を算出することができます。

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