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超薄膜ヤング率測定

試料表面にレーザーを照射し、表面波を励起させます。励起された表面波は試料表面に沿って伝播します。この表面波は検出器で検出され、オシロスコープにレーザ超音波信号として記録されます。この信号をフーリエ変換して周波数vs位相速度曲線を求めます。この曲線は試料のヤング率、密度、膜厚に依存し、解析ソフトがヤング率を計算します。5nm厚DLC薄膜の測定も可能です。
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  • 超薄膜ヤング率測定システム LAWave
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    超薄膜ヤング率測定システム LAWave
    Fraunhofer IWS Dresden

    ドイツ Fraunhofer研究所製のLAWaveシステムは、SAW(表面弾性波)法を用いた超薄膜ヤング率測定システムで、5nm厚のDLC膜のヤング率測定も可能です。

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