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  5. 走査透過電子顕微鏡 【TENSOR】

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

走査透過電子顕微鏡 【TENSOR】

走査透過電子顕微鏡 【TENSOR】

特長
  • 走査透過電子顕微鏡 【TENSOR】 TENSOR TENSOR
新製品

各ピクセルでの電子線回折図形を高速で記録可能な4D-STEM 計測に特化

特長

  • 直接検出方式のハイブリッドピクセルカメラによる回折イメージング
  • ２つのウィンドレスEDS検出器による、高速EDSマップ取得（立体角 2sr）
  • 高速電子線プリセッション機能を標準搭載（最高プリセッションレート：72kHz）
  • 静電ビームブランキング機能を統合
  • UHV に近いサンプルの真空環境（10-6Paオーダー）
  • リアルタイムに近いスピードで4D-STEMデータの解析、プロセシング、可視化が実現
  • 計測手法
    • STEM BF/ADF/HAADFイメージング
    • STEM 格子イメージング
    • EDSによる組成分析・マッピング
    • 方位／相マッピング
    • 歪みマッピング
    • Virtual STEMイメージング
    • STEM／EDSトモグラフィー
    • 電子線回折トモグラフィー

STEM像、EDSマップと回折パータンを同時取得し、相・方位マップをほぼリアルタイムで表示しているTENSORのユーザーインターフェース画面

STEM像、EDSマップと回折パータンを同時取得し、相・方位マップをほぼリアルタイムで表示しているTENSORのユーザーインターフェース画面

（左）リン酸チタンリチウム・アノード粒子のADF像　（右）リン酸塩アノード粒子の粒界に分布する酸化チタン（TiO2）粒子の方位マップ

（左）リン酸チタンリチウム・アノード粒子のADF像
（右）リン酸塩アノード粒子の粒界に分布する酸化チタン（TiO2）粒子の方位マップ

（左）インデンテーション試験による変形場を示したNi合金単結晶のBF-STEM像　（右）[001]面から[103]面に再配向した再結晶粒子を示したNi合金単結晶の方位マップ

（左）インデンテーション試験による変形場を示したNi合金単結晶のBF-STEM像
（右）[001]面から[103]面に再配向した再結晶粒子を示したNi合金単結晶の方位マップ