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EFMプローブ  

NanoWorld AG
EFMプローブ  8254_ext_07_0.png
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  • 8254_ext_

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プローブと試料との間の電流測定、試料の表面電位の観察、強誘電体のマッピング、キャパシタンス測定など、各種電気力測定に使用可能な導電性を持ったプローブです。

特長

■ PtIr5コート:プローブ全体に約25nmのPtIr5をコーティングし、導電性を持たせています。金属をコーティングすることで、抵抗率を低減させています。
■主な仕様: Cr/PtIr5からなる25nmの2層膜コート
■主な用途: 電気力顕微鏡(EFM)・表面電位顕微鏡・電流マッピング・圧電応答イメージ・キャパシタンス顕微鏡)
 

仕様

製品名 測定モード タイプ チップコート 反射コート 曲率半径 カンチレバー長さ バネ定数 共振周波数 チップ高さ
EFM ACモード フォースモジュレーション PtIr5 PrIr5 25nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
EFM-T100 ACモード フォースモジュレーション PtIr5 PrIr5 100nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
PPP-EFM ACモード フォースモジュレーション PtIr5 PrIr5 25nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
Arrow EFM ACモード フォースモジュレーション PtIr5 PrIr5 25nm 240μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
ATEC-EFM ACモード フォースモジュレーション PtIr5 PrIr5 25nm 240μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表
EFM-10 10 個別特性値
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EFM-20 20 個別特性値
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EFM-50 50 なし
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EFM-W 385 代表特性値
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EFM-50-T100 50 なし
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PPP-EFM-10 10 個別特性値
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PPP-EFM-20 20 個別特性値
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PPP-EFM-50 50 なし
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PPP-EFM-W 370 代表特性値
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Arrow EFM-10 10 なし
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Arrow EFM-20 20 なし
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Arrow EFM-50 50 なし
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Arrow EFM-W 385 なし
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ATEC-EFM-10 10 なし
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ATEC-EFM-20 20 なし
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ATEC-EFM-50 50 なし
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