スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ
先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。
シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。
特長
- 2nmの超高分解能測定が可能
- 耐久性に優れているため1本のチップで長時間・多数サンプルの測定可能
- 75kHzまたは400kHzで自動ノンコンタクトAFM観察可能
仕様
| 製品名 | モード | タイプ | チップ形状 | 反射コート | 曲率半径 | ベースプローブ | バネ定数 | 共振周波数 | チップ長さ | 角度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NT-SSE_1 | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | Al | 2nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | - | - |
| NT-SSE_2 | ACモード | フォースモジュレーション | 円錐 | Al | 2nm | NT-FESPA | 2.8N/m | 75kHz | - | - |