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磁気力顕微鏡(MFM)用プローブ  

NanoWorld AG
磁気力顕微鏡(MFM)用プローブ  8300_ext_07_0.jpg
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磁気力顕微鏡(MFM)用のプローブです。幅広いアプリケーションに対応するため、各種磁性膜(強磁性・軟磁性・低モーメント)を取り揃えています。

特長

■ 幅広いアプリケーションに対応
■ 優れた空間分解能
■ 軟磁性/強磁性/低モーメントをラインナップ
 

仕様

製品シリーズ名 測定モード タイプ チップコート 保磁力 磁化度 チップ部モーメント 反射コート 曲率半径 カンチレバー長さ バネ定数 共振周波数 チップ高さ
MFMR ACモード フォースモジュレーション 強磁性 300Oe 300emu/cm3 10-13emu Al 50nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
PPP-MFMR ACモード フォースモジュレーション 強磁性 300Oe 300emu/cm3 10-13emu Al 30nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
PPP-LM-MFMR ACモード フォースモジュレーション 強磁性(低モーメント) 250Oe 150emu/cm3 x0.5 Al 30nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
S-MFMR ACモード フォースモジュレーション 軟磁性 0.75Oe 225emu/cm3 x0.75 Al 30nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
PPP-LC-MFMR ACモード フォースモジュレーション 軟磁性 0.75Oe 225emu/cm3 x0.75 Al 30nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
SSS-MFMR ACモード フォースモジュレーション 強磁性 125Oe 80emu/cm3 x0.25 Al 15nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表
MFMR-10 10 個別特性値
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MFMR-20 20 個別特性値
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MFMR-50 50 なし
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MFMR-W 380 代表特性値
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PPP-MFMR-10 10 個別特性値
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PPP-MFMR-20 20 個別特性値
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PPP-MFMR-50 50 なし
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PPP-MFMR-W 370 代表特性値
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PPP-LM-MFMR-10 10 個別特性値
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PPP-LM-MFMR-20 20 個別特性値
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PPP-LM-MFMR-50 50 なし
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S-MFMR-10 10 個別特性値
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PPP-LC-MFMR-10 10 個別特性値
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PPP-LC-MFMR-20 20 個別特性値
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PPP-LC-MFMR-50 50 なし
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SSS-MFMR-10 10 個別特性値
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SSS-MFMR-20 20 個別特性値
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SSS-MFMR-50 50 なし
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MFMプローブの選択のポイント

【検出感度の向上】  磁気モーメントの大きなプローブを使用。ただし、磁気モーメントが大きくすることで、サンプルの磁気ドメインに影響を与えるケースがある。

【面分解能の向上】 先端曲率の小さく高アスペクト形状の探針に薄い磁性膜をコートしたプローブが必要。ただし、プローブの磁気モーメントが小さくなり、磁気力の検出感度が低下する。

【磁性の変動低減】 保磁力の小さいサンプルに対して、保持力の小さなプローブを使用。プローブまたはサンプルの保磁力の大きさに差がある場合、保磁力の小さい方の磁性が変動する。

MFMR / PPP-MFMRプローブ(強磁性膜コート)

強磁性膜をコーティングし、検出感度と面分解能、保持力のバランスを取った標準タイプMFMプローブ。磁性材のMFM観察に幅広く対応します。

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PPP-MFMRを使用したDATの表面形状イメージとMFMイメージ

PPP-LM-MFMRプローブ(低モーメントタイプ)

チップ部のモーメントを小さくしたMFMプローブ。PPP-MFMRと比べ検出感度は低下しますが、サンプルの磁性乱れを低減させ、面分解能を向上させます。

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20nm厚のNiCo膜の円形パターンのMFM観察例
左)PPP-LM-MFMプローブで測定したMFMイメージでは、蝶ネクタイ状の磁気ドメイン構造が観察される。
中)ズームしたイメージでも蝶ネクタイ状の磁気ドメイン構造は確認される。
右)標準のPPP-MFMRを使用したMFMイメージでは、チップ側の磁力の影響を受け、サンプルの磁気ドメイン構造が変動している。

S-MFMR/PPP-LC-MFMRプローブ(軟磁性膜コート)

軟磁性膜をコーティングし、チップ部の保持力を小さくしたMFMプローブ。保磁力の小さなサンプルの磁気ドメイン観察に対応。一方、非常に強い強磁性材のサンプルの観察では、低保磁力のプローブの磁化が常に反転する(標準MFMプローブではランダムに反転)ことを利用する場合があります。

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254nmピッチのハードディスクをPPP-LC-MFM(左)とPPP-MFMR(右)で観察した例。
左はビットの半ピッチで磁化の反転が見られる。

SSS-MFMRプローブ

スーパーシャープ・シリコンチップをベースに極薄い強磁性膜をコートした超高分解能観察用MFMプローブ。小さな曲率半径と高アスペクト比を実現し、25nm以下の面分解能でMFMイメージを収集可能。

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高密度記録ハードディスクのMFMイメージ。
254nmから22nmまでビット長の記録トラックを持つハードディスクをSSS-MFMRにて観察。
ビット長:23nmの記録トラックの平均プロファイルをフーリエ解析した結果、48nmの波長に明瞭なピークが現れる。これはビット長:24nmに相当する。
SSS-MFMRプローブは高分解能なMFMイメージを収集可能なことが示される。
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