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磁気力顕微鏡(MFM)用プローブ 

磁気力顕微鏡(MFM)用のプローブです。幅広いアプリケーションに対応するため、各種磁性膜(強磁性・軟磁性)を取り揃えています。

特長

  • 幅広いアプリケーションに対応
  • 優れた空間分解能
  • 軟磁性/強磁性をラインナップ

仕様

製品シリーズ名 測定モード タイプ チップコート 保磁力 磁化度 チップ部モーメント 反射コート 曲率半径 カンチレバー長さ バネ定数 共振周波数 チップ高さ
MFMR ACモード フォースモジュレーション 強磁性 300Oe 300emu/cm3 10-13emu Al 50nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
S-MFMR ACモード フォースモジュレーション 軟磁性 0.75Oe 225emu/cm3 x0.75 Al 30nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表  
MFMR-10 10 個別特性値
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MFMR-20 20 個別特性値
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MFMR-50 50 なし
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MFMR-W 380 代表特性値
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S-MFMR-10 10 個別特性値
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MFMプローブの選択のポイント

検出感度の向上

磁気モーメントの大きなプローブを使用。ただし、磁気モーメントが大きくすることで、サンプルの磁気ドメインに影響を与えるケースがある。

面分解能の向上

先端曲率の小さく高アスペクト形状の探針に薄い磁性膜をコートしたプローブが必要。ただし、プローブの磁気モーメントが小さくなり、磁気力の検出感度が低下する。

磁性の変動低減

保磁力の小さいサンプルに対して、保持力の小さなプローブを使用。プローブまたはサンプルの保磁力の大きさに差がある場合、保磁力の小さい方の磁性が変動する。

MFMR(強磁性膜コート)

強磁性膜をコーティングし、検出感度と面分解能、保持力のバランスを取った標準タイプMFMプローブ。磁性材のMFM観察に幅広く対応します。

DATの表面形状イメージとMFMイメージ

S-MFMR(軟磁性膜コート)

軟磁性膜をコーティングし、チップ部の保持力を小さくしたMFMプローブ。保磁力の小さなサンプルの磁気ドメイン観察に対応。一方、非常に強い強磁性材のサンプルの観察では、低保磁力のプローブの磁化が常に反転する(標準MFMプローブではランダムに反転)ことを利用する場合があります。

54nmピッチのハードディスクを観察した例。
左はビットの半ピッチで磁化の反転が見られる。