ナノイメージング
IR情報 会社情報





高アスペクト比M1プローブ 

nanotools GmbH
高アスペクト比M1プローブ 8340_ext_07_0.png
0
  • 8340_ext_

    1

一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。
個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

特長

■堅牢で、多目的に使用可能な高アスペクト比(>9)プローブ
■400nm~800nm長の円錐形プローブは自動測定AFMにも使用可能
■静電気対策のためのnon-ESDコーティング(M1-ESD)
■深さ計測用55nm径の柱状プローブ(MC90/70)
 

仕様

製品名 モード タイプ チップ形状 反射コート 曲率半径 ベースプローブ バネ定数 共振周波数 チップ長さ 角度
M1-HAR ACモード 高共振周波数 円錐 - <5nm NT-RTESP 40N/m 396kHz 800nm 13°
M1-ESD ACモード 高共振周波数 円錐 - <8nm NT-RTESP 40N/m 396kHz 800nm 13°
M-CIS ACモード 高共振周波数 円錐 Al 10nm NT-RTESPA 40N/m 396kHz 400nm 13°
MC90/70 ACモード 高共振周波数 円筒 Al <5nm ArrowNCR 42N/m 260kHz 800nm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表
M1-HAR_5 5 個別特性値
見積もりカートへ
M1-ESD_5 5 個別特性値
見積もりカートへ
M-CIS_5 5 個別特性値
見積もりカートへ
MC90/70_5 5 個別特性値
見積もりカートへ

detail__vid--text.png

はい (0)
いいえ (0)

PAGE TOP

本ウェブサイトではサイト利用の利便性向上のために「クッキー」と呼ばれる技術を使用しています。サイトの閲覧を続行されるには、クッキーの使用に同意いただきますようお願いいたします。詳しくはプライバシーポリシーをご覧ください。