高アスペクト比M1プローブ
一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。
個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
特長
- 堅牢で、多目的に使用可能な高アスペクト比（>9）プローブ
- 400nm～800nm長の円錐形プローブは自動測定AFMにも使用可能
- 静電気対策のためのnon-ESDコーティング（M1-ESD）
- 深さ計測用55nm径の柱状プローブ（MC90/70）
仕様
| 製品名 | モード | タイプ | チップ形状 | 反射コート | 曲率半径 | ベースプローブ | バネ定数 | 共振周波数 | チップ長さ | 角度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| M1-HAR | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | - | <5nm | NT-RTESP | 40N/m | 396kHz | 800nm | 13° |
| M1-ESD | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | - | <8nm | NT-RTESP | 40N/m | 396kHz | 800nm | 13° |
| M-CIS | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | Al | 10nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | 400nm | 13° |
| MC90/70 | ACモード | 高共振周波数 | 円筒 | Al | <5nm | ArrowNCR | 42N/m | 260kHz | 800nm | 3° |