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超高アスペクト比EBDプローブ 

nanotools GmbH
超高アスペクト比EBDプローブ 8339_ext_07_0.png
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一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
 

特長

■超高アスペクト比- 探針長さ 2000nm/6000nm/8000nm
■プローブ取付角度-3°または13°
■機械的安定性を高めるための円錐形プローブ 
■高密度ダイヤモンドライクカーボン(HDC/DLC)により高耐久性

仕様

製品名 測定モード タイプ チップ形状 反射コート 曲率半径 ベースプローブ バネ定数 共振周波数 チップ長さ 角度
EBD6-400 ACモード 高共振周波数 円錐 - <5nm NT-RTESP 40N/m 396kHz 6000nm 13°
EBD8-600 ACモード 高共振周波数 円錐 - <5nm NT-RTESP 40N/m 396kHz 8000nm 13°
EBD2-100A ACモード 高共振周波数 円錐 Al <5nm NT-RTESPA 40N/m 396kHz 2000nm 13°
EBD3D2-100A ACモード 高共振周波数 円錐 Al <5nm NT-RTESPA 40N/m 396kHz 2000nm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表
EBD6-400_5 5 個別特性値
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EBD8-600_5 5 個別特性値
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EBD2-100A_5 5 個別特性値
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EBD3D2-100A_5 5 個別特性値
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