3Dメトロロジーチップ
サイドウォールの粗さや傾斜角度、トレンチの深さ、ステップ高さを測定するためのチップです。ナノツールズ社のEBD技術により、高精度なアンダーカット形状のHDCチップが製作されています。
特長
- 15nm～130nmまでのチップ幅のプローブを提供
- サイドウォールの粗さ測定に5nmのサイドエッジの曲率半径のチップ
- Si製チップに比べて耐久性に優れたプローブ
仕様
| 製品名 | 測定 モード |
タイプ | チップ幅 | 反射 コート |
エッジ部 高さ |
ベース プローブ |
バネ定数 | 共振 周波数 |
実効的 チップ長 |
角度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CDR130-EBD | ACモード | 高共振周波数 | 130±5nm | Al | <15nm | NT-RTESP | 40N/m | 396kHz | 300nm | 3° |
| CDR70-EBD | ACモード | 高共振周波数 | 70±5nm | Al | <15nm | NT-RTESP | 40N/m | 396kHz | 300nm | 3° |
| CDR50-EBD | ACモード | 高共振周波数 | 50±5nm | Al | <15nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | 200nm | 3° |
| CDR40-EBD | ACモード | 高共振周波数 | 40±5nm | Al | <15nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | 150nm | 3° |
| CDR30-EBD | ACモード | 高共振周波数 | 30±5nm | Al | <15nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | 150nm | 3° |
| CDR20-EBD | ACモード | 高共振周波数 | 20±5nm | Al | <15nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | 150nm | 3° |
| CDR15-EBD | ACモード | 高共振周波数 | 15±5nm | Al | <15nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | 150nm | 3° |