nanotools GmbH

微細形状測定用HDC/DLCプローブ

高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

特長

  • チップ先端から100nmの箇所でも10nm幅の極細チップ
  • チップの曲率半径は2~3nm
  • 75kHzまたは400kHzで自動ノンコンタクトイメージング可能

仕様

製品名 モード タイプ チップ形状 反射コート 曲率半径 ベースプローブ バネ定数 共振周波数 チップ長さ 角度
HDC-40 ACモード 高共振周波数 円錐 Al <2-3nm NT-RTESPA 40N/m 396kHz 400nm
HDC-30 ACモード 高共振周波数 円錐 Al <2-3nm NT-RTESPA 40N/m 396kHz 300nm
HDC-20 ACモード 高共振周波数 円錐 Al <2-3nm NT-RTESPA 40N/m 396kHz 250nm
MSS-FM1 ACモード フォースモジュレーション 円錐 Al <2nm NT-FESPA 2.8N/m 75kHz 250nm 13°
MSS-FM2 ACモード フォースモジュレーション 円錐 Al <2nm NT-FESPA 2.8N/m 75kHz 250nm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表  
HDC-40_5 5 個別特性値
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HDC-30_5 5 個別特性値
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HDC-20_5 5 個別特性値
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MSS-FM1_5 5 個別特性値
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MSS-FM2_5 5 個別特性値
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