微細形状測定用HDC/DLCプローブ
高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
特長
- チップ先端から100nmの箇所でも10nm幅の極細チップ
- チップの曲率半径は2～3nm
- 75kHzまたは320kHzで自動ノンコンタクトイメージング可能
仕様
| 製品名 | モード | タイプ | チップ形状 | 反射コート | 曲率半径 | ベースプローブ | バネ定数 | 共振周波数 | チップ長さ | 角度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| HDC-40 | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | Al | <2-3nm | NT-RTESPA | 40N/m | 320kHz | 400nm | 3° |
| HDC-30 | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | Al | <2-3nm | NT-RTESPA | 40N/m | 320kHz | 300nm | 3° |
| HDC-20 | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | Al | <2-3nm | NT-RTESPA | 40N/m | 320kHz | 250nm | 3° |
| MSS-FM1 | ACモード | フォースモジュレーション | 円錐 | Al | <2nm | NT-FESPA | 2.8N/m | 75kHz | 250nm | 13° |
| MSS-FM2 | ACモード | フォースモジュレーション | 円錐 | Al | <2nm | NT-FESPA | 2.8N/m | 75kHz | 250nm | 3° |