NanoWorld AG

AR(高アスペクト)プローブ 

ノンコンタクトモードまたはタッピングモードで急峻な壁や底面の形状を正確にトレースするためのプローブです。
一般的なプローブの先端をサブトラクト法によってFIB加工をすることで、探針先端のアスペクト比が5:1もしくは10:1でありながら、水平方向の堅牢性と先端の剛性が高いプローブを提供しています。 装置に取り付けた際に高アスペクト部が垂直になるように、13°傾いた状態でFIB加工をしたタイプのプローブ(AR5T、AR10T)もあります。

特長

  • 高アスペクト比部分の長さ >2μm(AR5)、>1.5μm(AR10)
  • 探針の曲率半径 <15nm(保証値)
  • 先端から2μm部分のハーフコーンアングル <5°(AR5)
  • 先端から1.5μm部分のハーフコーンアングル <2.8°(AR10)
  • シリコン単結晶一体型
  • 静電気を散逸させるために高ドープされたSi

仕様

製品名 測定モード タイプ アスペクト比 反射コート 曲率半径 カンチレバー長さ バネ定数 共振周波数 高アスペクト部分高さ
AR5-NCHR ACモード 高共振周波数 1:5 Al <15nm 125μm 42N/m 320kHz >2μm
AR5T-NCHR ACモード 高共振周波数 1:5 Al < 15nm 125μm 42N/m 320kHz > 2μm
AR10-NCHR ACモード 高共振周波数 1:10 Al < 15nm 125μm 42N/m 320kHz > 1.5μm
AR10T-NCHR ACモード 高共振周波数 1:10 Al < 15nm 125μm 42N/m 320kHz > 1.5μm
AR5-NCLR ACモード 低共振周波数 1:5 Al < 15nm 225μm 48N/m 190kHz > 2μm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表  
AR5-NCHR-10 10 個別特性値
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AR5-NCHR-20 20 個別特性値
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AR5-NCHR-50 50 なし
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AR5-NCHR-W 380 代表特性値
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AR5T-NCHR-10 10 個別特性値
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AR5T-NCHR-20 20 個別特性値
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AR5T-NCHR-50 50 なし
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AR5T-NCHR-W 380 代表特性値
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AR10-NCHR-10 10 個別特性値
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AR10-NCHR-20 20 個別特性値
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AR10-NCHR-50 50 なし
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AR10-NCHR-W 380 代表特性値
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AR10T-NCHR-10 10 個別特性値
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AR10T-NCHR-20 20 個別特性値
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AR10T-NCHR-50 50 なし
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AR10T-NCHR-W 365 代表特性値
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AR5-NCLR-10 10 個別特性値
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AR5-NCLR-20 20 個別特性値
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AR5-NCLR-50 50 なし
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AR5-NCLR-W 380 代表特性値
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