NanoWorld AG

SEIHプローブ 

SEIHは、旧SII社製の300kHz帯の高共振周波数に対応していないタイプの装置向けにデザインされたプローブです。DFM(ダイナミックフォースモード)測定に適しています。

特長

高分解能観察を実現する先鋭な探針

PointProbe(R) シリーズ    : 8nm 以下 (12nm 以下を保証)
PointProbe(R) Plus シリーズ : 7nm 以下 (10nm 以下を保証)

探針部の仕様

材  質       : 高ドープされた単結晶 Si
探針長さ       : 10~15 µm
ハーフコーンアングル : 20~25°(正面から見た場合)
           : 25~30°(側面から見た場合)

探針正面

探針側面

※ PointProbe(R) Plus では、探針先端から 200nm までのハーフコーンアングルは 10°以下

仕様

製品名 測定モード タイプ チップコート 反射コート 曲率半径 カンチレバー長さ バネ定数 共振周波数 チップ高さ
SEIHR ACモード 旧SII社用 - Al 8nm 225μm 15N/m 130kHz 10~15μm
PPP-SEIH ACモード SII社用 - - 7nm 225μm 15N/m 130kHz 10~15μm
PPP-SEIHR ACモード SII社用 - Al 7nm 225μm 15N/m 130kHz 10~15μm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表  
SEIHR-10 10 個別特性値
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SEIHR-20 20 個別特性値
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SEIHR-50 50 なし
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SEIHR-W 385 代表特性値
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PPP-SEIH-10 10 個別特性値
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PPP-SEIH-20 20 個別特性値
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PPP-SEIH-50 50 なし
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PPP-SEIH-W 380 代表特性値
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PPP-SEIHR-10 10 個別特性値
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PPP-SEIHR-20 20 個別特性値
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PPP-SEIHR-50 50 なし
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PPP-SEIHR-W 380 代表特性値
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