ST-400 超高真空(UHV)クライオスタット

ST-400は、標準のSTシリーズクライオスタットのすべての機能と、UHV環境下でのいくつかの機能を組み合わせています。
クライオスタットは、取り付けがΦ70CFフランジです。

株式会社東陽テクニカ 理化学計測部
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特長

ST-400超高真空(UHV)フロークライオスタットには次のコンポーネントが含まれています。

  • 6ピンUHV電気フィードスルー(x1)
  • 8ピン電気フィードスルー(x1)
  • 真空装置取り付け用Φ70CFフランジ(他のサイズも利用可能)
  • 銅に金メッキされた放射シールドとサンプルマウント
    *標準システムにはニッケルアンダーコートがあります
  • 温度センサー
  • 高効率寒剤トランスファーチューブ(1.8m)
  • コントロールヒーター
  • システムテストデータ

ST-400 仕様

温度範囲 <2 to 325 K (500 K, >700 K optional)
ベーキング温度 Up to 200℃
初期クールダウン時間 15 min
公称温度安定性(コントローラー付き) 50 mK 以下
クライオスタットの向き 垂直/水平 任意の向き(ヘリウム消費量が増加)
重量 (トランスファーチューブ除く) 4.6 kg
クールダウン時の冷媒消費量 0.4L LHe (325 to 4.2 K)
0.1L LN2 (325 to 77 K)
操作時の冷媒消費量 0.6 L/h LHe (5 K)(ST-400-1,ST-400-2)
0.90 L/h LHe (5 K)(ST-400-3)
0.1 L/h LN2 (80 K)

注:仕様には光学的または実験的な熱負荷は含まれておらず、クライオスタットの設置は水平方向を想定しています。
注:トランスファーラインのフレキシブル部の長さにより仕様が変わる場合があります。

代表的なアプリケーション

  • イオン源冷
  • 成膜
  • 材料の特性評価

その他の構成

光学測定用のモデルST-400カスタム構成

 

  • 長さのカスタマイズ
  • その他のCFフランジサイズ
  • コンパクトシステム
  • 光学式真空シュラウド(図参照)
  • 追加のマルチピンフィードスルー