特長

• ソースと測定を同期させるための独自のリアルタイムサンプリング方式
  • MeasureSync™技術により、全チャネルに渡ってソースモジュールの更新と測定モジュールのサンプリングタイミングの同期を実現
  • DC/ACの振幅と位相検出は全ての測定チャンネルでユーザーが選択可能
  • 共通のDAC/ADCサンプリングクロックにより、3つのソースモジュールと3つの測定モジュール間の非常に正確かつ一貫したタイミング調整を保証
• 新規材料などの測定の難しい科学分野や微小信号測定のアプリケーション向けの設計
  • ソース/測定ノイズを最小限に抑えるリニアモジュール電源
  • データコンバータ、モジュール、および測定対象物（DUT）間の完全アナログ信号パス
  • 測定対象物へ可能な限り短い測定ケーブルを使用できるようにリモートモジュール（プリアンプ搭載）を採用し、ノイズの影響を受けやすいアナログ回路をデジタル回路などの干渉源から分離可能
• DCの絶対精度とAC検出感度性能
  • 全チャンネルのソースチャネルと測定チャネルは、DC信号とAC信号（～100kHz）の組み合わせが可能
  • AC＋DCバイアスでの基本波、高調波、位相の測定に最適
  • ユーザーの特定のアプリケーションに合わせて柔軟なモジュール構成や設定が可能
• 独自の柔軟な計測器/分散モジュール様式
  • リモートマウント可能な各種ソース/測定モジュールはそれぞれの接続端子のどこにでも接続可能
  • システムの再構成（モジュールの接続状況が変わった）時は自動で認識
  • 分かりやすいユーザーインターフェースと一般的なプログラミング API の採用によりセットアップを高速化

M81-SSMシステムの構成

• 最大3つのソースモジュールと最大3つの測定モジュールを接続可能
• 測定に合わせてモジュール構成を交換可能
• 全てのモジュールはDCとAC（～100kHzまで）の測定が可能
• 全てのモジュールは共通の振幅と参照周波数で高精度が得られるように最適化

柔軟な測定機能

M81型は、極低温、室温、および高温環境で、材料とデバイスを特性評価するためのDCおよびAC刺激および測定機能を提供します。

低抵抗測定
正確な電流印加を必要とする低抵抗アプリケーションには、差動電流ソースモジュールと電圧測定モジュールの組合せを利用してください。
バランスの取れた（フローティング）サンプル接続はノイズキャンセリングの利点があります。
（BCS-10 ＋ VM-10）

電圧スイープ測定
正確な電圧制御とスイープテストレジームが必要な複雑な高インピーダンスまたはゲートバイアスアプリケーションには、電圧ソースモジュールおよび電流測定モジュールと組み合わせて使用します。
（VS-10 ＋ CM-10）

帯域幅が狭い従来のDCシステム（SMU）とは異なり、M81の各モジュールは非常に低い周波数から100kHzまで測定可能です。
測定帯域幅を選択可能なため、1/fノイズやテスト環境ノイズが最も大きい帯域を回避できます。
M81システムのMeasureSync™技術は、全てのソースチャネルと測定チャネルを正確に同時にサンプリングし、複数のDUTを同じ条件下でテストできるため、一貫したデータを取得できます。

Lake Shore社製 MeasureLINK™ソフトウェアは、様々なアプリケーションをサポートするための構成可能な測定スクリプトとループを提供でき、サードパーティのシステムとレイクショア社製品との統合を容易にします。
これらの組み合わされた機能により、M81-SSMは、ナノ構造、単層および多層原子構造、MEM、量子構造、有機半導体、超伝導材料など、いくつかのテスト構造を特性評価するための優れたソリューションになります。

M81型はサンプル近くで測定を行うプリアンプ内にアナログ回路を搭載し、全チャンネルを同期させるクロックとリモートインターフェイスにより、従来の複数の機器を組み合わせた計測システムでは実現できないエンドツーエンド（端から端まで）の同期測定を可能にします（右の図は全チャンネルを 375 kSa / sで読み取り、最大5 kSa / sでデータを出力します。
MeasureSyncクロックによって同期され、各チャネルの専用コンバータによってデジタル化されます。デジタル信号は、DSPコアによって生成または処理されています）。

テクノロジー

MeasureSync™アーキテクチャについて

MeasureReady M81-SSMは、特許出願中のMeasureSync™信号同期を使用して、全てのチャネルで継続的なデータサンプリングを可能にします。
ノイズや感度は、最高の科学グレードのソースや測定機器と同等です。
M81-SSMは、必要な機器とソフトウェアの数と種類を減らすことにより、複雑な材料特性評価試験のセットアップと操作を簡素化します。
単一のインターフェースを介してすべての構成および実験機能を統合します。
測定は、付属の強力なMeasureLINK™ソフトウェアを使用して実行されます。

複数デバイス向けの従来の機器セットアップ

• 一般的な材料およびデバイスの特性評価アプリケーションでは、DC機器とAC機器の両方を組み合わせる必要があります。
• これらの実験装置には、物理的に大きなサンプル装置の機械が含まれることが多く、サンプルと機器の間に長い信号ケーブルが必要で、ノイズも乗りやすくなります。
• 多くのアプリケーションでは、ソースおよび測定機能の複数のチャネルが必要であり、同期の課題が発生します。
• 従来のソースとロックインアンプを組み合わせたシステムでは制御や測定・参照ケーブルが多く煩雑なシステムになりがちで、信頼できる結果を得るために高度なオペレータースキルが必要です。
• ソースチャネルと測定チャネルの数が増えると、冗長で個別の機器の必要性も高まります。これにより、実装の全体的なコストが増加する可能性があります。

M81による測定セットアップの簡素化

• DCピコアンメータ、ボルトメータ、およびACロックインアンプの機能を組み合わせ、個別の機器の数を減らしてセットアップと操作を容易にします。
• ソースモジュール/測定モジュールとサンプル間の信号ケーブルの数と長さを減らし、寄生要素（漏れ、ノイズ、抵抗、およびリアクタンス）を最小限に抑えます。
• チャネル数を増やして、同期または並列のサンプル/デバイステストを可能にします。
• モジュール構成を交換するだけで簡単にシステムを再構成でき、様々なアプリケーションに対応できます。
• 上記のような従来の複数の機器によるシステム構成よりもはるかに安価です。

最大3つのソースと最大3つのメジャープリアンプ、375 kHz（2.67μs）の共通クロックとDC～100kHzの高精度ソース/メジャー機能を有した今までにないSMUです。すべてのプリアンプは、電圧/電流ノイズ性能を可能な限り小さくするため、高度に絶縁されたリニア電源設計によって駆動される100%リニア回路で設計されており、最新のロックインアンプと実験室で使用されるような高精度なソースや計測器に匹敵します。キャリブレーションデータが保存されたホットスワップ可能なプリアンプは、実験時や実験間での素早い再セットアップが可能です。コンパクトであるにもかかわらず十分にシールドされたプリアンプは、実験環境やユーザーの好みに応じて、リモート、ラック、またはベンチトップに取り付けることができます。プリアンプには2mのケーブルが標準で付属していますが、オプションの８m延長ケーブルを接続することにより最大10mのケーブル長にすることができます。

• 特許出願中の機能には、次のようなものがあります。
  • デュアルACおよびDCレンジソーシング機能：
    VS-10プリアンプのデュアルACおよびDCレンジソーシング機能によりDCおよびAC振幅信号を正確に制御します。
  • スムーズなレンジ変更と測定：
    多くのレンジ変更を必要とするスイープ測定ではレンジ変更に起因する測定の不連続性が起こりがちですが、VM-10プリアンプはそれを大幅に改善しています。

ソフトウェア

M81とLake Shore社 MeasureLINK™ ソフトウェア

付属のLake Shore社製MeasureLINK™ ソフトウェアは、ソース、温度、磁場などの実験条件を制御しつつ、測定データをプログラミングなしに取得できます。

• 概要
  • アプリケーションパックのインストール
    • 温度コントローラー、電磁石や他の計測器ドライバへアクセスが可能となります。
  • 実験に必要なすべての 計測器を含んだシステム構成が可能です。
    • モニタパネルから計測器をモニタ・制御します。
  • ドラッグ アンド ドロップできるコンポーネントを使用して温度、磁場や電気的パラメータを入力し、例えば電圧スイープ測定のシーケンスを作成することができます。
  • 実験データを収録します。エクスポート機能により普段使用されているソフトウェアで解析可能です。
  • 新規のテストシーケンスが必要な場合、１からテストシーケンスを作成する必要はありません。カスタムプログラム環境を用いて標準で保存されている類似のテストシーケンスをカスタムプログラミング環境にエクスポート、その後それを自身で変更することにより目的のテストシーケンスを作成することができるのです。

MeasureLIN™　測定シーケンス例

ステップ1
温度特性測定では、開始、終了、ステップの設定温度を入力して温度ループを設定することができます。

ステップ2：スイープ特性測定
ソースモード（電圧または電流、DCまたはACの設定とそれに続くスイープ設定（振幅、周波数、オフセット）などのループのパラメータやそれらの開始、終了、ステップのパラメータの設定も含まれます。

ステップ3：測定の設定
測定間隔を設定します。 実行を開始し、データを収集。エクスポート機能により普段使用されているソフトウェアで解析可能です。

M81-SMM本体システム

M81-SSMの本体について

本体はM81システムの心臓部とも言えます。
モデルに応じて、それぞれ1、2または3つのソースと1、2または3つのメジャーを含む合計2、4または6のチャンネルをサポートしています。

モデル	M81-SSM-2	M81-SSM-4	M81-SSM-6
最大ch	2	4	6
ソース ch数	1	2	3
メジャー ch数	1	2	3

M81リアパネル

M81はハーフラックサイズのコンパクトな筐体に1~3個のソースチャンネルと1~3個の測定チャンネルを制御し、1つのテストシーケンスで複数の料を測定することが可能です。

従来の複数の機器を組み合わせた計測システムでは難しかった同期測定ですが、M81型ではMeasureSync™技術により全てのチャネルが同期されているので、容易に同期測定が可能です。

❶ LEMO ソースプリアンプコネクタ ❷ LEMO 測定 プリアンプコネクタ ❸ BNC 参照入力 ❹ BNC 参照出力 ❺ BNC モニタ出力 ❻ DB15 アクセサリコネクタ ❼ GPIB インターフェイスコネクタ

❽ 12ピンデジタル I/Oコネクタ ❾ RJ-45 イーサネットインターフェイス ❿ USB通信インターフェイス ⓫ USB サムドライブインターフェイス ⓬ AC メイン入力コネクタ、 　 電圧セレクタ/ヒューズプリアンプ ⓭ シャシーアース接続

M81型は、スマートフォンの様なタッチスクリーンのフロントパネルを採用していて、操作性に優れています。

また、人間工学に基づいて設計されたフロントパネルは、ベンチに置いてもラックに取り付けても見やすいTiltView™ディスプレイを採用しています。

標準でLAN、USB、GPIBを装備しLabVIEW, Python, MeasureLink,IVI.NETもサポートしています。

仕様

ソースチャンネル

ソースチャンネル機能	DC、sine、三角形(最大5kHz)、矩形波(最大5kHz)
ソース同期機能	別のチャネル、内部または外部に同期
周波数範囲	100μHz～100kHz(またはプリアンプ帯域の小さい方)
周波数分解能	100μHz、6桁
周波数精度	0.06%
位相ノイズ	100ms 時定数、12dB/oct: 内部参照: <0.0001°RMS @ 10kHz 外部参照: <0.002°RMS @ 10 kHz
ダイナミックリザーブ	>120 dB (典型値、マニュアル参照)

測定チャンネル

測定チャンネル機能	DC、AC(RMS、ピーク)、ロックイン(XおよびY、RおよびΘ)
ロックインリファレンス	任意のソースチャネル、または外部参照
リファレンス入力	BNC : sine >1 Vp–p ≥200 Hz; 矩形形 ≥ 1 Vp-p ≥ 10 mHz
リファレンス出力	BNC : 3.3 V 矩形波
モニタ出力	BNC : M1モニタ、M2モニタ、M3モニタ、マニュアル出力
デジタル入力	6ピン 3.5 mm 取り外し可能な端子台: 2 TTL 互換入力: V high公称値:3.3V;　V low公称値: 0V
デジタル 出力	6 ピン 3.5 mm 取り外し可能な端子台:2 TTL 互換出力: 3.3 V high公称値 @ 1 mA
全高調波歪み	DC～100 kHzの範囲で < 0.1%（典型値）
サンプリングルレート	375 kSa/s
ウォームアップ時間	仕様の精度が得られるまで60分
アイソレーション	メジャーコモンはシャーシGNDから絶縁
フロントパネルディスプレイ	5インチ容量式タッチパネル、カラーTFTLCD WVGA (800 × 480) LEDバックライト付き

システム速度

	USB	GPIB	イーサネット
データストリーミング最大読み取り速度 （レコード/sec）	5000	5000	5000
データストリーミング最大データスループット1 （kB/s）	20	40	80
SCPIでのクエリ応答時間（典型値）2 （ms）	15	20	60

1　ホストPCに依存; 10インテル® コア™ i7-8700 2.4 GHz CPU、16GB RAM搭載のWindows®PCで、PyVISA や Python 3 を使用して測定された速度。

2 　クエリの99%は、この間隔よりも早く処理されます。

インターフェイス

IEEE-488.2 (GPIB)	機能	IEEE-488 のコマンドおよび制御機能 SH1,　AH1,　T5,　L4,　SR1,　RL1,　PP0, DC1,　DT0,　C0,　E1
	データスループット	３Mbit の内部バスレートにより制限
	コネクタ	IEEE-488 24 pinレセプタクル、M3.5 ジャックネジ付き
	ソフトウェアサポート	LabVIEW™, Python, MeasureLINK, IVI.NET
USB ホスト	タイプ	USB 3.0 MSCデバイス
	機能	ファームウェアアップデート、フラッシュドライブサポート
	コネクタ	USB Type-C™
USB デバイス	タイプ	USB 2.0
	機能	標準のRS-232シリアルポートをエミュレート
	プロトコル	プログラマブル計測器用標準コマンド(SCPI)
	ボーレート	921,600 Bd
	コネクタ	USB タイプ B
	ソフトウェアサポート	LabVIEW™, Python, MeasureLINK, IVI.NET
イーサネット	機能	TCP/IP コマンドおよび制御, モバイルアプリ
	アプリ層プロトコル	プログラム可能な標準コマンド プログラマブル計測器用標準コマンド(SCPI)
	コネクタ	RJ-45
	速度	1 Gb/秒
	ソフトウェアサポート	LabVIEW™,Python, MeasureLink,IVI.NET

全般

周囲温度	定格精度が得られる温度範囲：校正温度の±5℃ 精度仕様を減ずる温度範囲：5～40℃
電力	100V、120V、220V、240V、±10%、50/60Hz、140VA
サイズ	216 mm(W) × 87 mm(H) × 369 mm(D)、ハーフラック
重量	5.7 kg
認証	CE マーク

利用可能な BNC アダプタ仕様

S1、S2、またはS3にソースモジュールを接続した場合
レンジ	10 V、固定
ノイズ	<1 μV/√Hz @ 1 kHz
出力インピーダンス	25 Ω
生のコンバータ分解能	18 bit （76 μV/LSB）
温度係数	50 ppm/℃
精度	0.25%＋1mV（1年、校正温度±5℃以内、機器の自己校正後24時間以内で±1℃、ケーブル自体には校正は適用されません。）
M1、M2、またはM3に測定モジュールを接続した場合
レンジ	10 V、 固定
ノイズ	<1 μV/√Hz @1 kHz
出力インピーダンス	10 MΩ
生のコンバータ分解能	20 bit （19 μV/LSB） ) 温度係数50 ppm/℃
温度係数	50 ppm/℃
精度	0.25%+1mV（1年、校正温度±5℃以内、機器の自己校正後24時間以内で±1℃、ケーブル自体には校正は適用されません。）

VM-10型電圧測定プリアンプ

このプリアンプは、振幅、位相、および高調波の検出機能を含む、DCから100kHzまでのナノボルトから最大10Vまでの電圧測定が可能です。独自のシームレスレンジングテクノロジーにより、レンジを変更する際に起こりがちな不連続なデータにならず、スムーズな測定が可能になりました。電圧ノイズ性能は、最新のロックインアンプと同等で、また2つのハードウェアによるローパス/ハイパスフィルターを持っています。これにより、もし測定に大きな影響を与えるような干渉信号が存在する場合でも、高感度で微小レベルな電圧測定を行うことができます。従来のロックインアンプの測定でしばしばプリアンプを必要としていた場合でも、このプリアンプは高ゲイン・低ノイズアンプを内蔵し、またユーザー設定が可能なハードウェアのフィルタによりプリアンプを使用せず測定が可能です。また、ユーザーが選択可能なシングルエンドまたは差動入力により、外部コンバータやアダプタを使用せずノイズやグランドループの干渉を最小限に抑えます。

VM-10 仕様 仕様は変更される場合があります

ノイズレベル

入力構成

シングルエンド (A) または差動 (A-B)

入力カップリング

DC または AC (0.1 Hz)

レンジ

10V、１V、100mV、10mV：シームレスなレンジ変更

最高感度

<1 nV¹

ハードウェアフィルタ

LP：10 Hz、30 Hz、100 Hz、300 Hz、1 kHz、3 kHz、10 kHz;
20 dB または 40 dB/decade
HP：10 Hz、30 Hz、100 Hz、300 Hz、1 kHz、3 kHz、10 kHz;
20 dB または 40 dB/decade
モード: ハイリザーブ、 ローノイズ

入力インピーダンス

100 MΩ、50 pF

リーク電流

<100 pA

CMRR

80 dB　 1 kHzまで

磁場の影響

動作限界 <5 mT DC (典型値、標準モード)

大きさ

142 mmW × 39 mmH × 89 mmD

帯域幅（典型値）/ 精度

レンジ	帯域幅 (-3 dB)	DC1	ロックイン1,2	温度係数1,2
10 V	>100 kHz	0.045% + 500 μV	0.05%	7 ppm/°C
1 V	>100 kHz	0.045% + 200 μV
100 mV	75 kHz	0.045% + 150 μV
10 mV	75 kHz	0.2%+ 150 μV	0.2%	14 ppm/°C

ノイズ（典型値）

シングルエンド モード、フィルタオフ、または低ノイズ モード、1 kHz の電流ノイズ 14 fA/√Hz

レンジ	1 kHz の時	0.1 Hz ~ 10 Hzの時
10 V	100 nV/√Hz	4 μV p-p
1 V	35 nV/√Hz	500 nV p-p
100 mV	3.5 nV/√Hz	100 nV p-p
10 mV	3.5 nV/√Hz	50 nV p-p

¹ 10 mVレンジ, 10s, 95%信頼区分
² 1 年, レイクショアキャリブレーションから ±5 °C; 24 時間, 自己キャリブレーションから± 1 °C
³ DC~1 kH

BCS-10 バランス電流ソース プリアンプ

このプリアンプは、1pAから100mA、DCから100kHzの正弦波、コンプライアンス電圧±10Vまでの電流を出力します。レイクショア社製372型ACレジスタンスブリッジから派生したBCS-10は、クライオスタットやその他の実験設備でよく見られるグランドループを極力小さく抑える差動出力も可能です。高精度な372型のソース機能に周波数と振幅可変機能を追加しながら優れたノイズ性能を維持したプリアンプです。BCS-10は、VM-10プリアンプと共に使用するように設計されており、シングルエンドと差動入力接続の両方が可能です。この電流源の代表的なアプリケーションに低抵抗測定があります。低抵抗測定の場合、接続するケーブル抵抗が測定対象に比べ大きくなってしまう場合があります。またリード線の抵抗に不均衡があると、コモンモード電圧が発生し、目的のパラメータである測定対象両端の電圧の測定が難しくなります。さらに外部CMR機能は、BCS-10が一部のリモートプリアンプ（VM-10入力など）に共通電位をとり、不均衡なリード線抵抗の影響を軽減できるという特長があります。

BCS-10 仕様 仕様は変更される場合があります

レンジ

100mA、10mA、1mA、100 μA、10μA、100nA、10nA；オートレンジ

コンプライアンス

20V 差動、10V シングルエンド(設定不可)

最大電力

1W、4象限動作

CMR モード

オフ、内部、外部

カップリング

DC または AC (1 Hz)

ガード ドライブ

有効または無効にする

セットリングタイム

0Ωに25 μs

負荷インピーダンス

最大50μFまたは1mHの無効負荷で安定性が維持されます（100Ωダンピングあり）

設定可能な分解能

レンジの10ppm

磁場の影響

動作限界 <5 mT DC (典型値、標準モード)

サイズ

142 mm W × 39 mm H × 89 mm D

帯域幅（典型値）/ 精度

レンジ	帯域幅 (-3 dB)	DC1	ロックイン1,2	温度係数1,2
100mA	100 kHz	0.15%+ 70 μA	0.15%	8 ppm/°C
10mA	100 kHz	0.15% + 7 μA	0.15%
1 mA	100 kHz	0.15% + 700 nA	0.15%
100 μA	100 kHz	0.15% + 70 nA	0.15%
10 μA	100 kHz	0.15% + 7 nA	0.15%
1 μA	10 kHz	0.25% + 700 pA	0.25%
100 nA	1 kHz	1% + 70 pA	1%
10 nA	100 Hz	1% + 40 pA	1%

ノイズ（典型値）/ 設定可能な分解能

DC から 100 MHz : 2 mV RMS

レンジ	1 kHz の時	0.1 Hz ~ 10 Hz	設定可能な分解能
100mA	2 nA/√Hz	300 nA p-p	1 μA
10mA	200 pA/√Hz	30 nA p-p	100 nA
1 mA	30 pA/√Hz	3 nA p-p	10 nA
100 μA	10 pA/√Hz	300 pA p-p	1 nA
10 μA	10 pA/√Hz	60 pA p-p	100 pA
1 μA	10 pA/√Hz	60 pA p-p	10 pA
100 nA	10 pA/√Hz	60 pA p-p	1 pA
10 nA	10 pA/√Hz	60 pA p-p	100 fA

¹ レイクショアキャリブレーションから 1年、±5 °C
² DC~1 kHz

CM-10電流測定プリアンプ

ここのプリアンプは、振幅、位相および高調波の検出機能を含む、DCから100kHzまでのfAレベルから最大100mAまでほぼ入力オフセット電圧ゼロでの電流測定を可能としています。このプリアンプには、ハードウェアとソフトウェアのフィルタ構成も有しています。電流ノイズは、最新のTIA（トランスインピーダンスアンプ）やDCピコアンメータと同等の性能であり、プリアンプには、フォトダイオードなどのバイアス電流測定や±10Vまで印可可能なバイアスオフセット機能も含まれています。

CM-10仕様　　仕様は変更される場合があります

レンジ

100mA, 10mA, 1mA, 100μA, 10μA , 100nA, 10nA, 1nA;オートレンジ

入力オフセット電圧²

<50 μV

リーク電流²

レンジの5ppmより大きい、500 fA

設定可能バイアス電圧

±10V

最高の感度

< 1 fA¹

ハードウェアフィルタ

LP:10Hz、30Hz、100Hz、300Hz、1kHz、3kHz、10kHz、30kHz;
20 dB または 40 dB/decade
HP:10 Hz、30Hz、100Hz、300Hz、1kHz、3kHz、10kHz、30kHz;
20 dB または 40 dB/10
モード:ハイリザーブ、低ノイズ

磁場の影響

動作制限 <5 mT DC(典型値、標準モード)

サイズ

142 mm W × 39 mm H × 89 mm D

帯域幅（典型値）/ 精度

レンジ	帯域幅 (-3 dB)	DC1	ロックイン1,2	温度係数1,2
100mA	100 kHz	0.1%+ 70 μA	0.05%	8 ppm/°C
10mA	100 kHz	0.055% + 2.5 μA
1 mA	100 kHz	0.05% + 150 nA
100 μA	40 kHz	0.05% + 15 nA
10 μA	8 kHz	0.05% + 1.5 nA
1 μA	2.5 kHz	0.05% + 500 pA
100 nA	450 Hz	0.05% + 500 pA
10 nA	90 Hz	0.1%+ 500 pA	0.1%	80 ppm/°C
1 nA	90 Hz	0.1%+ 500 pA

ノイズ（典型値）/ 設定可能な分解能

レンジ	1 kHz	0.1 Hz ~ 10 Hz
100mA	3.5 nA/√Hz	50 nA p-p10 nA
10mA	350 pA/√Hz	5 nA p-p
1 mA	35 pA/√Hz	500 pA p-p
100 μA	3.5 pA/√Hz	50 pA p-p
10 μA	700 fA/√Hz	10 pA p-p
1 μA	70 fA/√Hz	1 pA p-p
100 nA	20 fA/√Hz	200 fA p-p
10 nA	6 fA/√Hz	150 fA p-p
1 nA	6 fA/√Hz	100 fA p-p

¹ 1 nAレンジ, 10s, 95%信頼区分
² 1 年, レイクショアキャリブレーションから ±5 °C; 24 時間, 自己キャリブレーションから± 1 °C
³ DC~1 kHz

VS-10電圧ソースプリアンプ

ここのプリアンプは、±1 nV～±10 Vのプログラム可能な電圧源で、コンプライアンス電流はDC～100kHzの正弦波出力で最大100mAです。VS-10は、ゲートバイアス印可、電圧スープによるI-V測定時の印可や非常に安定した電圧印加を必要とするような材料や電子デバイスの特性評価の測定に役立ちます。特許出願中の独自回路により、DCやAC信号のレンジと振幅を個別に設定できます。これにより、DCバイアスとスイープの同時実行やACを重畳したような信号によるデバイス応答試験が可能で、この場合は同期測定が可能なVM-10と組み合わせて使用します。

VS-10 仕様　　仕様は変更される場合があります

レンジ

10V、1V、100mV、10mV; ACレンジはDCレンジよりも低く個別に設定することができる。オートレンジ。

電流リミット

100mAピークまで設定可

最大電力

1W、4象限動作

出力インピーダンス

<150 mΩ

セトルタイム

開回路まで10ms

負荷インピーダンス

最大50μFまたは1 mHの無効負荷で安定性が維持されます（100Ωダンピングあり）

設定可能な分解能

<1 nV,すべての範囲

磁場の影響

動作制限 <5 mT DC(典型値、標準モード)

サイズ

142 mm W × 39 mm H × 89 mm D

帯域幅（典型値）/ 精度

レンジ	帯域幅 (-3 dB)	DC1	ロックイン1,2	温度係数1,2
10 V	100 kHz	0.045% + 500 μV	0.05%	7 ppm/°C
1 V	100 kHz	0.045% + 200 μV
100 mV	75 kHz	0.045% + 150 μV
10 mV	75 kHz	0.2% + 150 μV	0.2%	14 ppm/°C

ノイズ（典型値）

DC から 100 MHz まで: 2 mV RMS

レンジ	1 kHz	0.1 Hz ~ 10 Hz
10 V	1 μV/√Hz	10 μV p-p
1 V	300nV/√Hz	1.5 μV p-p
100 mV	30 nV/√Hz	1 μV p-p
10 mV	30 nV/√Hz	1 μV p-p

¹ レイクショアキャリブレーションから1年、±5 °C
² DC~1 kHz

アプリケーション例と構成

DC 測定例

I-V 測定、4線式測定（VS プリアンプ + CM プリアンプ）

例：２次元材料、ナノワイヤ、有機半導体
M81のメリット：低電流源ノイズ、低電圧測定ノイズ

AC 測定例

AC抵抗、シート抵抗、およびAC電流ホール（BCS プリアンプ + VM プリアンプ）

例：金属絶縁体の遷移、2次元材料、超伝導材料
M81のメリット：AC 電流ホール測定（抵抗とホール電圧の同期測定と異なる周波数でのクライオスタット内の最大3つのデバイスの同時測定）

フォトダイオードおよびフォトトランジスタ（CM プリアンプ （+ VS プリアンプ））

例：遮光が必要な材料、2次元材料
M81の利点: プログラム可能なオフセット電圧源

スピン輸送（DC/AC: BCS プリアンプ + VM プリアンプ）

例：金属絶縁体の遷移、2次元材料、超伝導材料
M81のメリット：AC 電流ホール測定（抵抗とホール電圧の同期測定と異なる周波数でのクライオスタット内の最大3つのデバイスの同時測定）

差動コンダクタンス（VS プリアンプ + CM プリアンプ）

例：金属絶縁体の遷移、2次元材料、超伝導材料
M81のメリット：ジャンクション；デュアルDAC ACおよびDCソーシング(最適なレンジ)

熱輸送熱輸送（AC、BCS プリアンプ + VM プリアンプ）

例：熱電材料、1次元材料
M81のメリット：位相相関電流源、同期高調波検出

取り付け用アクセサリ

付属の取り付けプレート	オプションのプリアンプラックマウントキット（M81-RMP-3）
各プリアンプに含まれています。プリアンプ間スタッキング用の上部クリップと表面実装用の下部クリップ（下に取り付けられています）。
オプションのプリアンプラックマウント パネル（M81-RMK-2）	2つのオプションプリアンプラックマウントキット（M81-RMP-3）と 2つのMeasureReady用ラックマウントトキット（RM-2）
発売予定:オプションのプローブステション取り付け棚
このオプションによりM81プリアンプをサンプル近くに設置できます

オーダリングインフォメーション

M81本体部		アクセサリ
M81-SSM-2	M81型同期・プリアンプ搭載SMU（１ソース、１メジャー）	112-811	本体LEMO からプリアンプエクステンダーケーブル、8 m
M81-SSM-4	M81型同期・プリアンプ搭載SMU（２ソース、２メジャー）	112-812	本体LEMO からBNCアダプタケーブル、2 m
M81-SSM-6	M81型同期・プリアンプ搭載SMU（３ソース、３メジャー）	P12379	BNC(メス)-3ラグトライアキシャル(オス)変換アダプタ
		117-017	IEEE-488 (GPIB) ケーブル、1m
		RM-2	2台用ラックマウントキット（ハーフラックサイズ 2 台用）
		RM-1/2	1台用ラックマウントキット（ハーフラックサイズ用）
		M81-RMK-2	M81用ラックマウントキット(M81と2プリアンプ用)(2U)
		M81-RMP-3	M81用ラックマウンキット(3プリアンプ用)(1U)
プリアンプ部
M81-BCS-10	100 mA / 10 V バランス電流ソースプリアンプ
M81-VS-10	10 V / 100 mA 電圧ソースプリアンプ
M81-VM-10	10 V 電圧測定プリアンプ
M81-CM-10	100 mA / 10 V 電流測定 プリアンプ

• 製品お問い合わせ
• 見積もり依頼
• プリント用表示
• カタログ一覧
• FAQ