特長

• 同期したソースとメジャーを実現するための独自のリアルタイムサンプリングアーキテクチャ
  • MeasureSync™技術により、全チャネルでソース用プリアンプの更新レートとメジャー用プリアンプのサンプリングレートで同期を実現
  • DC/ACの振幅と位相検出は全測定チャンネルでユーザーが選択可能
• 新規材料などの測定の難しいアプリケーション向けに設計
  • 測定対象物へ可能な限り短い測定ケーブルを使用できるようにリモートプリアンプを採用。これによりノイズの影響を受けやすいアナログ回路をデジタル回路などの干渉源から分離
• DCの絶対精度とAC検出性能
  • 全チャンネルのソースとメジャーは、DC信号と100kHzまでのAC信号の組み合わせに対応
  • ACの基本測定、高調波、位相とDCバイアス測定が可能
• 独自の柔軟な計測器/プリアンプアーキテクチャ
  • リモートマウント可能なプリアンプは機器間で交換可能
  • プリアンプはシステムの再構成時に自動で認識
  • 分かりやすいユーザーインターフェースとプログラミング API を採用しているので、すばやくセットアップ可能

測定機能とMeasureSync™アーキテクチャ

低抵抗測定：正確な電流印可を必要とする低抵抗測定では、差動電流源と電圧測定プリアンプの組み合わせを選択してください。バランスの取れた（フローティング）サンプル接続はノイズキャンセリングのメリットがあります（BCS-10 ＋ VM-10）。

電圧スイープ測定：正確な電圧の制御とスイープが必要な高インピーダンス測定やゲートバイアス測定には電圧源プリアンプと電流測定プリアンプを組み合わせて使用します（VS-10 ＋ CM-10）。

従来のDC測定のみのSMUとは異なり、これらのプリアンプは非常に低い周波数から100 kHzまで測定可能です。測定帯域を選択できるので、1/f ノイズやテスト環境ノイズが最も大きい帯域を避けて測定することができます。

M81型はサンプル近くで測定を行うプリアンプ内にアナログ回路を搭載し、全チャンネルを同期させるクロックとリモートインターフェイスにより、従来の複数の機器を組み合わせた計測システムでは実現できないエンドツーエンド（端から端まで）の同期測定を可能にします（右の図は全チャンネルを 375 kSa / sで読み取り、最大5 kSa / sでデータを出力します。
MeasureSyncクロックによって同期され、各チャネルの専用コンバータによってデジタル化されます。デジタル信号は、DSPコアによって生成または処理されています）。

テクノロジー

M81-SSMシステムのコンポーネント

• 最大3つのソースプリアンプと最大3つのメジャープリアンプ
• 測定に合わせてプリアンプを選択
• メジャープリアンプはすべてDCとAC（～100kHzまで）測定が可能
• すべてのプリアンプは高精度で共通のリファレンスとGNDに最適化

特許出願中の新技術を用いたプリアンプ

M81型は、最大3つのソースと最大3つのメジャープリアンプ、375 kHz（2.67μs）の共通クロックとDC～100kHzの高精度ソース/メジャー機能を有した今までにないSMUです。すべてのプリアンプは、電圧/電流ノイズ性能を可能な限り小さくするため、高度に絶縁されたリニア電源設計によって駆動される100%リニア回路で設計されており、最新のロックインアンプと実験室で使用されるような高精度なソースや計測器に匹敵します。キャリブレーションデータが保存されたホットスワップ可能なプリアンプは、実験時や実験間での素早い再セットアップが可能です。コンパクトであるにもかかわらず十分にシールドされたプリアンプは、実験環境やユーザーの好みに応じて、リモート、ラック、またはベンチトップに取り付けることができます。プリアンプには2mのケーブルが標準で付属していますが、オプションの８m延長ケーブルを接続することにより最大10mのケーブル長にすることができます。

• 特許出願中の機能には、次のようなものがあります。
  • デュアルACおよびDCレンジソーシング機能：
    VS-10プリアンプのデュアルACおよびDCレンジソーシング機能によりDCおよびAC振幅信号を正確に制御します。
  • スムーズなレンジ変更と測定：
    多くのレンジ変更を必要とするスイープ測定ではレンジ変更に起因する測定の不連続性が起こりがちですが、VM-10プリアンプはそれを大幅に改善しています。

ソフトウェア

M81とLake Shore社 MeasureLINK™ ソフトウェア

付属のLake Shore社製MeasureLINK™ ソフトウェアは、ソース、温度、磁場などの実験条件を制御しつつ、測定データをプログラミングなしに取得できます。

• 概要
  • アプリケーションパックのインストール
    • 温度コントローラー、電磁石や他の計測器ドライバへアクセスが可能となります。
  • 実験に必要なすべての 計測器を含んだシステム構成が可能です。
    • モニタパネルから計測器をモニタ・制御します。
  • ドラッグ アンド ドロップできるコンポーネントを使用して温度、磁場や電気的パラメータを入力し、例えば電圧スイープ測定のシーケンスを作成することができます。
  • 実験データを収録します。エクスポート機能により普段使用されているソフトウェアで解析可能です。
  • 新規のテストシーケンスが必要な場合、１からテストシーケンスを作成する必要はありません。カスタムプログラム環境を用いて標準で保存されている類似のテストシーケンスをカスタムプログラミング環境にエクスポート、その後それを自身で変更することにより目的のテストシーケンスを作成することができるのです。

MeasureLIN™　測定シーケンス例

ステップ1
温度特性測定では、開始、終了、ステップの設定温度を入力して温度ループを設定することができます。

ステップ2：スイープ特性測定
ソースモード（電圧または電流、DCまたはACの設定とそれに続くスイープ設定（振幅、周波数、オフセット）などのループのパラメータやそれらの開始、終了、ステップのパラメータの設定も含まれます。

ステップ3：測定の設定
測定間隔を設定します。 実行を開始し、データを収集。エクスポート機能により普段使用されているソフトウェアで解析可能です。

M81-SMM本体システム

M81-SMMの本体について

本体はM81システムの心臓部とも言えます。
モデルに応じて、それぞれ1、2または3つのソースと1、2または3つのメジャーを含む合計2、4または6のチャンネルをサポートしています。

モデル	M81-SSM-2	M81-SSM-4	M81-SSM-6
最大ch	2	4	6
ソース ch数	1	2	3
メジャー ch数	1	2	3

M81リアパネル

M81はハーフラックサイズのコンパクトな筐体に1~3個のソースチャンネルと1~3個の測定チャンネルを制御し、1つのテストシーケンスで複数の料を測定することが可能です。

従来の複数の機器を組み合わせた計測システムでは難しかった同期測定ですが、M81型ではMeasureSync™技術により全てのチャネルが同期されているので、容易に同期測定が可能です。

❶ LEMO ソースプリアンプコネクタ ❷ LEMO 測定 プリアンプコネクタ ❸ BNC 参照入力 ❹ BNC 参照出力 ❺ BNC モニタ出力 ❻ DB15 アクセサリコネクタ ❼ GPIB インターフェイスコネクタ

❽ 12ピンデジタル I/Oコネクタ ❾ RJ-45 イーサネットインターフェイス ❿ USB通信インターフェイス ⓫ USB サムドライブインターフェイス ⓬ AC メイン入力コネクタ、 　 電圧セレクタ/ヒューズプリアンプ ⓭ シャシーアース接続

M81型は、スマートフォンの様なタッチスクリーンのフロントパネルを採用していて、操作性に優れています。

また、人間工学に基づいて設計されたフロントパネルは、ベンチに置いてもラックに取り付けても見やすいTiltView™ディスプレイを採用しています。

標準でLAN、USB、GPIBを装備しLabVIEW, Python, MeasureLink,IVI.NETもサポートしています。

仕様

ソースチャンネル

ソースチャンネル機能	DC、sine、三角形(最大5kHz)、矩形波(最大5kHz)
ソース同期機能	別のチャネル、内部または外部に同期
周波数範囲	100μHz～100kHz(またはプリアンプ帯域の小さい方)
周波数分解能	100μHz、6桁
周波数精度	0.06%
位相ノイズ	100ms 時定数、12dB/oct: 内部参照: <0.0001°RMS @ 10kHz 外部参照: <0.002°RMS @ 10 kHz
ダイナミックリザーブ	>120 dB (典型値、マニュアル参照)

メジャーチャンネル

メジャーチャンネル機能	DC、AC(RMS、ピーク)、ロックイン(XおよびY、RおよびΘ)
ロックインリファレンス	任意のソースチャネル、または外部参照
リファレンス入力	BNC : sine >100 mVp–p ≥0.1 Hz; 矩形形 ≥ 3.3 V
リファレンス出力	BNC : 3.3 V 矩形波
モニタ出力	BNC : M1モニタ、M2モニタ、M3モニタ、マニュアル出力
デジタル入力	6ピン3.5 mm取り外し可能な端子台: 2 TTL 互換入力: V highノミナル:3.3V;　V lowノミナル: 0V
デジタル 出力	6 ピン 3.5 mm 取り外し可能な端子台:2 TTL 互換出力:
ハーモニックディストーション	DCから100 kHz < 0.1% 典型値
サンプリングルレート	375 kSa/s
ウォームアップ時間	仕様の精度まで60分
アイソレーション	メジャーコモンはシャーシGNDから絶縁
フロントパネルディスプレイ	5インチ容量式タッチパネル、カラーTFTLCD WVGA (800 × 480) LEDバックライト付き

システム速度

	USB	GPIB	イーサネット
データストリーミング最大読み取り速度（レコード/sec）	5000	20	40
データストリーミング最大データスループット1（kB/s）	5000	40	6
SCPIでの応答時間（典型値）2（msc）	5000	80	50

1　　ホストPCに依存; Windows ® 10インテル® コア™ i7-8700 2.4 GHz CPU 16GB RAMでのWindows®のPyVISA および Python 3 を使用して測定された速度

2 　99% のクエリは、間隔が短いほど速く削除されます。

インターフェイス

IEEE-488.2 (GPIB)	機能	IEEE-488 のコマンドおよび制御機能 SH1,　AH1,　T5,　L4,　SR1,　RL1,　PP0, DC1,　DT0,　C0,　E1
	データスループット	３メガビットの内部バスレートで制限
	コネクタ	M3.5 ジャックねじ付きコネクタIEEE-488　24 ピンレセプタクル
	ソフトウェアサポート	LabVIEW™,Python, MeasureLink,IVI.NET
USB ホスト	タイプ	ファームウェアアップデート、フラッシュドライブサポート
	機能	ファームウェアアップデート、フラッシュドライブサポート
	コネクタ	USB タイプ C™
USB デバイス	タイプ	USB 2.0
	機能	標準のRS-232シリアルポートをエミュレートします
	プロトコル	プログラマブル計測器用標準コマンド(SCPI)
	ボーレート	921,600
	コネクタ	USB タイプ B
	ソフトウェアサポート	LabVIEW™,Python, MeasureLink,IVI.NET
イーサネット	機能	TCP/IP コマンドおよび制御, モバイルアプリ
	アプリ層プロトコル	プログラム可能な標準コマンド プログラマブル計測器用標準コマンド(SCPI)
	コネクタ	RJ-45
	速度	1 Gb/秒
	ソフトウェアサポート	LabVIEW™,Python, MeasureLink,IVI.NET

全般

周囲温度	仕様を満たす温度範囲：15℃～35℃、仕様を減ずる
動作温度範囲	5℃～40℃
電力	100V、120V、220V、240V、±10%、50/60Hz、140VA
サイズ	216 mm W × 87 mm H × 369 mmD、ハーフラック
重量	5.7 kg
認証	CE マーク

利用可能な BNC アダプタ仕様

S1、S2、またはS3をソースとして接続する場合
レンジ	10 V、固定
ノイズ	<1 μV/√Hz @ 1 kHz
出力インピーダンス	25 Ω
生のコンバータ分解能	18 ビット ( 76μV/LSB ) 温度係数50ppm/℃
精度	0.1%＋500μV(キャリブレーション温度から1年、±5℃、機器の自己キャリブレーション後、ケーブル自体に適用できる校正なし)
M1、M2、またはM3をメジャーとして接続する場合
レンジ	10 V、 固定
ノイズ	<1 μV/√Hz @1 kHz
出力インピーダンス	10 MΩ
生のコンバータ分解能	20 ビット ( 19μV/LSB ) 温度係数50 ppm/℃
精度	0.1%+500μV(キャリブレーション温度から1年、±5°C、機器の自己キャリブレーション後、ケーブル自体に適用できる校正なし)

VM-10型電圧測定プリアンプ

このプリアンプは、振幅、位相、および高調波の検出機能を含む、DCから100kHzまでのナノボルトから最大10Vまでの電圧測定が可能です。独自のシームレスレンジングテクノロジーにより、レンジを変更する際に起こりがちな不連続なデータにならず、スムーズな測定が可能になりました。電圧ノイズ性能は、最新のロックインアンプと同等で、また2つのハードウェアによるローパス/ハイパスフィルターを持っています。これにより、もし測定に大きな影響を与えるような干渉信号が存在する場合でも、高感度で微小レベルな電圧測定を行うことができます。従来のロックインアンプの測定でしばしばプリアンプを必要としていた場合でも、このプリアンプは高ゲイン・低ノイズアンプを内蔵し、またユーザー設定が可能なハードウェアのフィルタによりプリアンプを使用せず測定が可能です。また、ユーザーが選択可能なシングルエンドまたは差動入力により、外部コンバータやアダプタを使用せずノイズやグランドループの干渉を最小限に抑えます。

VM-10 仕様 仕様は変更される場合があります

ノイズレベル

入力構成

シングルエンド (A) または差動 (A-B)

入力カップリング

DC または AC (0.1 Hz)

レンジ

10V、１V、100mV、10mV：シームレスなレンジ変更

最高感度

<1 nV¹

ハードウェアフィルタ

LP：10 Hz、30 Hz、100 Hz、300 Hz、1 kHz、3 kHz、10 kHz;
20 dB または 40 dB/decade
HP：10 Hz、30 Hz、100 Hz、300 Hz、1 kHz、3 kHz、10 kHz;
20 dB または 40 dB/decade
モード: ハイリザーブ、 ローノイズ

入力インピーダンス

100 MΩ、50 pF

リーク電流

<100 pA

CMRR

80 dB　 1 kHzまで

磁場の影響

動作限界 <5 mT DC (典型値、標準モード)

大きさ

142 mmW × 39 mmH × 89 mmD

帯域幅（典型値）/ 精度

レンジ	帯域幅 (-3 dB)	DC1	ロックイン1,2	温度係数1,2
10 V	>100 kHz	0.045% + 500 μV	0.05%	7 ppm/°C
1 V	>100 kHz	0.045% + 200 μV
100 mV	75 kHz	0.045% + 150 μV
10 mV	75 kHz	0.2%+ 150 μV	0.2%	14 ppm/°C

ノイズ（典型値）

シングルエンド モード、フィルタオフ、または低ノイズ モード、1 kHz の電流ノイズ 14 fA/√Hz

レンジ	1 kHz の時	0.1 Hz ~ 10 Hzの時
10 V	100 nV/√Hz	4 μV p-p
1 V	35 nV/√Hz	500 nV p-p
100 mV	3.5 nV/√Hz	100 nV p-p
10 mV	3.5 nV/√Hz	50 nV p-p

¹ 10 mVレンジ, 10s, 95%信頼区分
² 1 年, レイクショアキャリブレーションから ±5 °C; 24 時間, 自己キャリブレーションから± 1 °C
³ DC~1 kH

BCS-10 バランス電流ソース プリアンプ

このプリアンプは、1pAから100mA、DCから100kHzの正弦波、コンプライアンス電圧±10Vまでの電流を出力します。レイクショア社製372型ACレジスタンスブリッジから派生したBCS-10は、クライオスタットやその他の実験設備でよく見られるグランドループを極力小さく抑える差動出力も可能です。高精度な372型のソース機能に周波数と振幅可変機能を追加しながら優れたノイズ性能を維持したプリアンプです。BCS-10は、VM-10プリアンプと共に使用するように設計されており、シングルエンドと差動入力接続の両方が可能です。この電流源の代表的なアプリケーションに低抵抗測定があります。低抵抗測定の場合、接続するケーブル抵抗が測定対象に比べ大きくなってしまう場合があります。またリード線の抵抗に不均衡があると、コモンモード電圧が発生し、目的のパラメータである測定対象両端の電圧の測定が難しくなります。さらに外部CMR機能は、BCS-10が一部のリモートプリアンプ（VM-10入力など）に共通電位をとり、不均衡なリード線抵抗の影響を軽減できるという特長があります。

BCS-10 仕様 仕様は変更される場合があります

レンジ

100mA、10mA、1mA、100 μA、10μA、100nA、10nA；オートレンジ

コンプライアンス

20V 差動、10V シングルエンド(設定不可)

最大電力

1W、4象限動作

CMR モード

オフ、内部、外部

カップリング

DC または AC (1 Hz)

ガード ドライブ

有効または無効にする

セットリングタイム

0Ωに25 μs

負荷インピーダンス

最大50μFまたは1mHの無効負荷で安定性が維持されます（100Ωダンピングあり）

設定可能な分解能

レンジの10ppm

磁場の影響

動作限界 <5 mT DC (典型値、標準モード)

サイズ

142 mm W × 39 mm H × 89 mm D

帯域幅（典型値）/ 精度

レンジ	帯域幅 (-3 dB)	DC1	ロックイン1,2	温度係数1,2
100mA	100 kHz	0.15%+ 70 μA	0.15%	8 ppm/°C
10mA	100 kHz	0.15% + 7 μA	0.15%
1 mA	100 kHz	0.15% + 700 nA	0.15%
100 μA	100 kHz	0.15% + 70 nA	0.15%
10 μA	100 kHz	0.15% + 7 nA	0.15%
1 μA	10 kHz	0.25% + 700 pA	0.25%
100 nA	1 kHz	1% + 70 pA	1%
10 nA	100 Hz	1% + 40 pA	1%

ノイズ（典型値）/ 設定可能な分解能

DC から 100 MHz : 2 mV RMS

レンジ	1 kHz の時	0.1 Hz ~ 10 Hz	設定可能な分解能
100mA	2 nA/√Hz	300 nA p-p	1 μA
10mA	200 pA/√Hz	30 nA p-p	100 nA
1 mA	30 pA/√Hz	3 nA p-p	10 nA
100 μA	10 pA/√Hz	300 pA p-p	1 nA
10 μA	10 pA/√Hz	60 pA p-p	100 pA
1 μA	10 pA/√Hz	60 pA p-p	10 pA
100 nA	10 pA/√Hz	60 pA p-p	1 pA
10 nA	10 pA/√Hz	60 pA p-p	100 fA

¹ レイクショアキャリブレーションから 1年、±5 °C
² DC~1 kHz

CM-10電流測定プリアンプ

ここのプリアンプは、振幅、位相および高調波の検出機能を含む、DCから100kHzまでのfAレベルから最大100mAまでほぼ入力オフセット電圧ゼロでの電流測定を可能としています。このプリアンプには、ハードウェアとソフトウェアのフィルタ構成も有しています。電流ノイズは、最新のTIA（トランスインピーダンスアンプ）やDCピコアンメータと同等の性能であり、プリアンプには、フォトダイオードなどのバイアス電流測定や±10Vまで印可可能なバイアスオフセット機能も含まれています。

CM-10仕様　　仕様は変更される場合があります

レンジ

100mA, 10mA, 1mA, 100μA, 10μA , 100nA, 10nA, 1nA;オートレンジ

入力オフセット電圧²

<50 μV

リーク電流²

レンジの5ppmより大きい、500 fA

設定可能バイアス電圧

±10V

最高の感度

< 1 fA¹

ハードウェアフィルタ

LP:10Hz、30Hz、100Hz、300Hz、1kHz、3kHz、10kHz、30kHz;
20 dB または 40 dB/decade
HP:10 Hz、30Hz、100Hz、300Hz、1kHz、3kHz、10kHz、30kHz;
20 dB または 40 dB/10
モード:ハイリザーブ、低ノイズ

磁場の影響

動作制限 <5 mT DC(典型値、標準モード)

サイズ

142 mm W × 39 mm H × 89 mm D

帯域幅（典型値）/ 精度

レンジ	帯域幅 (-3 dB)	DC1	ロックイン1,2	温度係数1,2
100mA	100 kHz	0.1%+ 70 μA	0.05%	8 ppm/°C
10mA	100 kHz	0.055% + 2.5 μA
1 mA	100 kHz	0.05% + 150 nA
100 μA	40 kHz	0.05% + 15 nA
10 μA	8 kHz	0.05% + 1.5 nA
1 μA	2.5 kHz	0.05% + 500 pA
100 nA	450 Hz	0.05% + 500 pA
10 nA	90 Hz	0.1%+ 500 pA	0.1%	80 ppm/°C
1 nA	90 Hz	0.1%+ 500 pA

ノイズ（典型値）/ 設定可能な分解能

レンジ	1 kHz	0.1 Hz ~ 10 Hz
100mA	3.5 nA/√Hz	50 nA p-p10 nA
10mA	350 pA/√Hz	5 nA p-p
1 mA	35 pA/√Hz	500 pA p-p
100 μA	3.5 pA/√Hz	50 pA p-p
10 μA	700 fA/√Hz	10 pA p-p
1 μA	70 fA/√Hz	1 pA p-p
100 nA	20 fA/√Hz	200 fA p-p
10 nA	6 fA/√Hz	150 fA p-p
1 nA	6 fA/√Hz	100 fA p-p

¹ 1 nAレンジ, 10s, 95%信頼区分
² 1 年, レイクショアキャリブレーションから ±5 °C; 24 時間, 自己キャリブレーションから± 1 °C
³ DC~1 kHz

VS-10電圧ソースプリアンプ

ここのプリアンプは、±1 nV～±10 Vのプログラム可能な電圧源で、コンプライアンス電流はDC～100kHzの正弦波出力で最大100mAです。VS-10は、ゲートバイアス印可、電圧スープによるI-V測定時の印可や非常に安定した電圧印加を必要とするような材料や電子デバイスの特性評価の測定に役立ちます。特許出願中の独自回路により、DCやAC信号のレンジと振幅を個別に設定できます。これにより、DCバイアスとスイープの同時実行やACを重畳したような信号によるデバイス応答試験が可能で、この場合は同期測定が可能なVM-10と組み合わせて使用します。

VS-10 仕様　　仕様は変更される場合があります

レンジ

10V、1V、100mV、10mV; ACレンジはDCレンジよりも低く個別に設定することができる。オートレンジ。

電流リミット

100mAピークまで設定可

最大電力

1W、4象限動作

出力インピーダンス

<150 mΩ

セトルタイム

開回路まで10ms

負荷インピーダンス

最大50μFまたは1 mHの無効負荷で安定性が維持されます（100Ωダンピングあり）

設定可能な分解能

<1 nV,すべての範囲

磁場の影響

動作制限 <5 mT DC(典型値、標準モード)

サイズ

142 mm W × 39 mm H × 89 mm D

帯域幅（典型値）/ 精度

レンジ	帯域幅 (-3 dB)	DC1	ロックイン1,2	温度係数1,2
10 V	100 kHz	0.045% + 500 μV	0.05%	7 ppm/°C
1 V	100 kHz	0.045% + 200 μV
100 mV	75 kHz	0.045% + 150 μV
10 mV	75 kHz	0.2% + 150 μV	0.2%	14 ppm/°C

ノイズ（典型値）

DC から 100 MHz まで: 2 mV RMS

レンジ	1 kHz	0.1 Hz ~ 10 Hz
10 V	1 μV/√Hz	10 μV p-p
1 V	300nV/√Hz	1.5 μV p-p
100 mV	30 nV/√Hz	1 μV p-p
10 mV	30 nV/√Hz	1 μV p-p

¹ レイクショアキャリブレーションから1年、±5 °C
² DC~1 kHz

アプリケーション例と構成

DC 測定例

I-V 測定、4線式測定（VS プリアンプ + CM プリアンプ）

例：２次元材料、ナノワイヤ、有機半導体
M81のメリット：低電流源ノイズ、低電圧測定ノイズ

AC 測定例

AC抵抗、シート抵抗、およびAC電流ホール（BCS プリアンプ + VM プリアンプ）

例：金属絶縁体の遷移、2次元材料、超伝導材料
M81のメリット：AC 電流ホール測定（抵抗とホール電圧の同期測定と異なる周波数でのクライオスタット内の最大3つのデバイスの同時測定）

フォトダイオードおよびフォトトランジスタ（CM プリアンプ （+ VS プリアンプ））

例：遮光が必要な材料、2次元材料
M81の利点: プログラム可能なオフセット電圧源

スピン輸送（DC/AC: BCS プリアンプ + VM プリアンプ）

例：金属絶縁体の遷移、2次元材料、超伝導材料
M81のメリット：AC 電流ホール測定（抵抗とホール電圧の同期測定と異なる周波数でのクライオスタット内の最大3つのデバイスの同時測定）

差動コンダクタンス（VS プリアンプ + CM プリアンプ）

例：金属絶縁体の遷移、2次元材料、超伝導材料
M81のメリット：ジャンクション；デュアルDAC ACおよびDCソーシング(最適なレンジ)

熱輸送熱輸送（AC、BCS プリアンプ + VM プリアンプ）

例：熱電材料、1次元材料
M81のメリット：位相相関電流源、同期高調波検出

取り付け用アクセサリ

付属の取り付けプレート	オプションのプリアンプラックマウントキット（M81-RMP-3）
各プリアンプに含まれています。プリアンプ間スタッキング用の上部クリップと表面実装用の下部クリップ（下に取り付けられています）。
オプションのプリアンプラックマウント パネル（M81-RMK-2）	2つのオプションプリアンプラックマウントキット（M81-RMP-3）と 2つのMeasureReady用ラックマウントトキット（RM-2）
発売予定:オプションのプローブステション取り付け棚
このオプションによりM81プリアンプをサンプル近くに設置できます

オーダリングインフォメーション

M81本体部		アクセサリ
M81-SSM-2	M81型同期・プリアンプ搭載SMU（１ソース、１メジャー）	112-811	本体LEMO からプリアンプエクステンダーケーブル、8 m
M81-SSM-4	M81型同期・プリアンプ搭載SMU（２ソース、２メジャー）	112-812	本体LEMO からBNCアダプタケーブル、2 m
M81-SSM-6	M81型同期・プリアンプ搭載SMU（３ソース、３メジャー）	P12379	BNC(メス)-3ラグトライアキシャル(オス)変換アダプタ
		117-017	IEEE-488 (GPIB) ケーブル、1m
		RM-2	2台用ラックマウントキット（ハーフラックサイズ 2 台用）
		RM-1/2	1台用ラックマウントキット（ハーフラックサイズ用）
		M81-RMK-2	M81用ラックマウントキット(M81と2プリアンプ用)(2U)
		M81-RMP-3	M81用ラックマウンキット(3プリアンプ用)(1U)
プリアンプ部
M81-BCS-10	100 mA / 10 V バランス電流ソースプリアンプ
M81-VS-10	10 V / 100 mA 電圧ソースプリアンプ
M81-VM-10	10 V 電圧測定プリアンプ
M81-CM-10	100 mA / 10 V 電流測定 プリアンプ

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