Lake Shore Cryotronics Inc.（レイクショア / USA）
FastHall™ホール効果測定装置/コントローラ M91型
M91型は、van der Pauw法とホールバー法に対応し、半導体材料の比抵抗・キャリア密度・移動度を高速測定する卓上型ホール効果測定装置です。電流源・電圧計・高速スキャナ・制御ソフトを一体化し、高精度・高スピード・高利便性を実現。Lake Shore社特許のFastHall技術搭載で磁場極性切替不要、永久磁石や超伝導磁石でも迅速・高感度測定が可能です。
多Ch比抵抗ホール効果自動測定システムのご紹介についてのご紹介動画は以下からご覧いただけます（所要時間3分）。
(株)東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
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Email:keisoku@toyo.co.jp
特長
- 抵抗測定範囲：10mΩ - 10MΩ
＊高抵抗オプション 最大200GΩまで対応 - ホール移動度測定範囲：0.001㎠ /V・s 以上
- シートキャリア濃度測定範囲：1017 ㎝-2以下
- FastHall測定技術にて磁場反転の必要なし
- 従来のホール電圧測定時間に比べ約100倍の速さ
- 電流源、電圧計、スキャナの機能を装備
ソフトウェア
多種マグネットシステムに対応
M91型と専用のMeasureLINK-MCSソフトウェアは、あらゆるマグネットシステムを用いて測定が出来るように設定されています。
- 永久磁石
- 電磁石
- 超伝導マグネット
- パルス磁石（パルス△t~100μs)
高速・高精度測定
従来のホール電圧測定時間に比べ約100倍の速さを実現します。
M91型 FastHall vs. 従来のHall測定の測定時間比較(サンプル：IGZO)
システム構成
概要
M91型は1台で全ての計測部（電流源、電圧計、マトリクススキャナスイッチ）を備えており、磁石部と試料ホルダー部と組み合わせるだけで測定が可能となります。
M91型を使用することにより、下記システム構成図のように非常にコンパクトなホール測定システムが構築できます。
M91-VPFMAG型 比抵抗/ホール測定システム
MeasureLINK-MCSソフトウェアにて、M91型及び測定環境を一括制御できるため、簡単に測定シーケンスを組むことが可能です。
サンプルの温度制御のみでなく印加磁場の制御も行うことができるため、比抵抗/ホール測定の他に磁気抵抗測定も行うことができます。
試料ホルダー部
- 温度範囲：78K～500K（227℃）
- サンプル槽：真空
- サンプルサイズ ：一辺が5mm ～ 10mm の正方形、厚み1mm 以下
電磁石部
- 磁場強度：0.3T
- コンパクトで、軽量（30kg）タイプ
- 低ノイズ 4 象限電源により、磁場強度を自由かつ高速に変化させる事 が可能
- 長時間安定して磁場の発生が可能
M91 FastHall Station（オプション）
構成された非常にコンパクトな比抵抗/ホール測定システムです。
- 磁場強度：0.75T
- 温度：室温/液体窒素温度(ジャブ浸け)
- サンプルサイズ：一辺 5～10mmの正方形
厚み1mm以下
M91型 FastHall™ホール効果測定装置/コントローラのご紹介
デモ動画
M91型 FastHall多Ch比抵抗ホール効果自動測定システムのご紹介
M91 型と専用サンプルチェンジャーにて最大10 個までのサンプルを自動で測定が可能です。
ソフトウェアから電動アクチュエータを制御し、比抵抗測定時はゼロ磁場、ホール測定時は約0.5T の磁場が印加されるように位置調整し、サンプル保持治具を水平方向に移動させる事により、測定対象サンプルが磁場中心位置にくるように自動で制御を行います。
- 測定サンプル数 ：最大10 個
- 測定スピード ：1サンプルあたり1min.以内（サンプル抵抗値等によって変動します）
- 印加磁場 ：0. 5T 以上（永久磁石）
- 温度 ：室温
