Ga FIB-SEMシステム 【SOLARIS】
特長
- 高い加工位置精度で高品質な微小試料の作製
- 分解能をさらに向上させたビーム電流最大100nAのイオンカラム
- クラス最高のイオンビームの低加速ミリング性能
- イマージョン光学系を装備した超高分解能SEM
- インカラム検出器による二次電子 / 反射電子検出
- TESCAN社の特許技術Static 3D-EBSDによる3次元の組織解析
- FIBを一次イオン源としたToF-SIMSを搭載可能
- 共焦点ラマン顕微鏡との融合が可能
多層膜中に欠陥を有する試料の3次元再構築像
TEM試料用に複数箇所を薄片化
Pythonスクリプトを用いて3次元的に形成された渦構造
FIBで切片作製後、In-Beam BSE検出器で観察した哺乳類細胞の組織
多くの形態観察、化学、物性分析が、SOLARIS 1台で実行可能です。
テクノロジー
新型Orage™カラムの特長
- クラス最高の分解能 2.5nm
- 最大イオン電流100nA
- 優れた低加速ミリング性
- イオン源寿命：3000μAh保証
- 複数箇所FIB自動加工機能
直感的ユーザーインターフェース／大型サンプルチャンバー
仕様
電子光学系
| 電子銃 | 高輝度ショットキーエミッタ |
|---|---|
| SEMカラム | トリプル対物レンズ搭載TriglavTMカラム |
| 分解能 | 標準モード 0.6nm at 15kV 1.2nm at 1kV ビーム減速モード 0.9nm at 1kV STEM 0.5nm at 30kV |
| 最大観察視野 | 10mm at max WD |
| 加速電圧 | 50V ～ 30kV |
| 最大プローブ電流 | 400nA |
イオン光学系
| FIBカラム | Orage™ |
|---|---|
| イオン銃 | Ga 液体金属イオンソース |
| 分解能 | < 2.5nm at 30kV |
| 加速電圧 | 0.5kV ～ 30kV |
| プローブ電流 | 1pA ～ 100nA |
| SEM-FIB コインシデンス | WDSEM = 5mm |
TOF-SIMSオプション
TOF-SIMS検出器オプションを用いたLiバッテリの分析例
電池材料評価
TESCAN社のユニークなFIB-SEM技術が、リチウムイオン電池などの電池材料評価において、新しい可能性を提案します。
主な特長
- トモグラフィー機能による3次元構造の可視化
- クライオトランスファー機構により、電子線に弱い試料の加工・観察が可能
- 大気非暴露での試料取り扱いが可能
- EDS分析による主成分元素の分布情報の取得
- ToF-SIMSオプションにより、Liなどの軽元素や微量元素の分析
- 共焦点ラマン顕微鏡のインテグレーションにより、化学構造/状態の同時マッピング
FIBにより作成された断面
50μm幅で作製されたリチウムイオン電池電極の加工断面
FIB-SEMによる3次元トモグラフィー
リチウムイオン電池正極材中の活物質（左）、空隙（右）の各充放電サイクルにおける3次元再構築像。
EDSとToF-SIMSによる分析
リチウムイオン電池の正極材の評価
・左上 完全放電状態におけるFIB二次電子像と、SIMSによるLi分布像
・左下 満充電状態におけるFIB二次電子像と、SIMSによるLi分布像
・右上 質量スペクトル
・右下 EDS元素マッピング・X線スペクトルでは、Liは確認できない