NenoVision s.r.o.

LiteScope

LiteScopeは走査電子顕微鏡(SEM)に容易に統合できるように設計された原子間力顕微鏡(AFM)で、AFMとSEMを組み合わせた新しい相関分析技術を提供します。

特長

  • 同一箇所のSEM イメージングとAFM イメージングが同時かつ同環境下で実現
  • 他の相関法に比べて非常に高い時間効率と相関位置精度
  • AFMによる微細な凹凸情報や物性情報を、SEM像に重ね合わせ可能
  • SEMイメージングにより関心領域への正確なAFM 探針のアプローチ
  • SEM/FIB-SEMへの搭載は容易で、すぐに使用可能
 

代替テキスト

テクノロジー

代替テキスト

LiteScopeによるAFMとSEMによる相関イメージングの模式図

観察・測定モード

代替テキスト

  • 形状イメージング/ 表面ラフネス
  • 機械特性
  • 電気特性 / 電気機械特性
  • 磁気特性

アプリケーション

マテリアルサイエンス

マテリアルサイエンス

  • 一次元 / 二次元材料
  • 鉄鋼 / 金属合金
  • 電池
  • セラミックス
  • ポリマー / コンポジット

ナノ構造体

ナノ構造体

  • FIB/GIS による表面改質
  • 量子ドット
  • ナノ構造薄膜
  • ナノパターニング
  • ナノワイヤ

半導体

半導体

  • 集積回路
  • 太陽電池
  • MEMS / NEMS
  • 故障回析
  • ドーパント可視化
  • 電流リーク箇所特定

ライフサイエンス

ライフサイエンス

  • 細胞生物学
  • 海洋生物学
  • 蛋白質工学

事例紹介

代替テキスト

FIBのドーズ量を変えながらCdTe表面を加工した箇所をSEMとAFMで観察。
FIB照射エリアのAFM段差計測によりスパッタレートの定量的評価が可能。

 

代替テキスト

SEM、EBICおよびAFMを組み合わせたGaN/AIN/Si 薄膜中の転位の評価。
これらの同時分析により、転位の種類や電気的活性度についての複合的な解析が可能。

ソフトウェア

NenoViewソフトウェア

NenoViewソフトウェア

NenoView ソフトウエアでは、SEM チャンネルとAFM チャンネル情報を同時に選択、表示、および記録することができます。
 
  • 初心者から上級者まで使いやすい操作性を有しながら、高い柔軟性
  • 設定条件やデータの自動保存
  • データ処理・解析機能やエクスポート機能を搭載
  • リモート制御やユーザーデータへのリモートアクセスも可能