KLA Corporation
In-SEM型ナノインデンターシステムは、電子顕微鏡(FIB-SEM、SEM)と組み合わせることにより、サンプルの微小領域における機械特性情報を、サンプルの変形・破壊挙動のライブイメージと併せて取得が可能となります。最高800℃までの加熱試験や電気信号測定も可能です。
NenoVision s.r.o.
LiteScopeは走査電子顕微鏡(SEM)に容易に統合できるように設計された原子間力顕微鏡(AFM)で、AFMとSEMを組み合わせた新しい相関分析技術を提供します。