KLA Corporation

In-SEM ナノインデンター

In-SEM型ナノインデンターシステムは、電子顕微鏡(FIB-SEM、SEM)と組み合わせることにより、サンプルの微小領域における機械特性情報を、サンプルの変形・破壊挙動のライブイメージと併せて取得が可能となります。

最高800℃までの加熱試験や電気信号測定も可能です。

特長

  • FIB-SEMやSEMと組み合わせて、硬度・ヤング率測定
  • 実験過程のリアルタイム観察
    • 試料変形のリアルタイム観察
    • 荷重変位曲線と試料変形画像の同期
  • EDS/EBSDとの組み合わせ
  • 最高800度の加熱試験が可能

800℃加熱

SEM等の真空チャンバーにとりつけ、サンプルおよび圧子の両方を最高800℃まで加熱しながら試験が可能です。

アルミサンプルの高温歪測定例

アルミニウム材料のクリープ試験のデータです。27℃から550℃までの温度上昇とクリープの関係を対数プロットしました。温度変化に伴い、クリープデータが1 つの曲線に載っています。

事例紹介

MEMSデバイスへの押し込み試験

精密ステージとの組み合わせでMEMSデバイスを評価センサの変形で発生する電気信号の測定も可能に。

ナノピラーの圧縮実験

SEM中で押し込み試験を実施できるようになり、硬度やヤング率などの情報に加えて、圧潰の進行状況を荷重-変位曲線と同期してライブイメージで観察できるようになりました。

圧縮実験前

圧縮実験後

圧縮中の試験荷重と変形のグラフ

メーカーアプリケーションノート(英文)

動画

ポリマートラス(三角構造)の圧縮実験

引っ張り試験