ナノイメージング
IR情報 会社情報





In-SEM インデンター 

KLA Corporation
In-SEM インデンター
0
  • 1
  • 加熱ステージ

    2

マイクロ/ナノスケールにおいては、試料がマクロスケールで示す特性とは異なる振る舞いを見せるため、デバイスの微小化の傾向に伴って、微小材料特有の難問に直面しています。

Nano Indenterシステムは、試験荷重と押し込み深さの計測値から試料の微小領域における機械特性を算出することができます。

特長

●硬度・ヤング率測定
●実験過程のリアルタイム観察
  ・試料変形のリアルタイム観察
  ・荷重変位曲線と試料変形画像の同期
●EDS/EBSDとの組み合わせ

事例紹介

●MEMSデバイスへの押し込み試験
mems_indent.png
精密ステージとの組み合わせでMEMSデバイスを評価センサの変形で発生する電気信号の測定も可能に。







 
●ナノピラーの圧縮実験

SEM中で押し込み試験を実施できるようになり、硬度やヤング率などの情報に加えて、圧潰の進行状況を荷重-変位曲線と同期してライブイメージで観察できるようになりました。
indent_before-161%C3%97161.png indent_after-161%C3%97161.png indent_graph-241%C3%97161.gif
圧縮実験前 圧縮実験後 圧縮中の試験荷重と変形のグラフ

動画

Al製片手持ち梁の破壊挙動


ピラーの圧縮実験



ポリマートラス(三角構造)の圧縮実験



引っ張り試験

detail__vid--text.png

はい (3)
いいえ (0)

PAGE TOP

本ウェブサイトではサイト利用の利便性向上のために「クッキー」と呼ばれる技術を使用しています。サイトの閲覧を続行されるには、クッキーの使用に同意いただきますようお願いいたします。詳しくはプライバシーポリシーをご覧ください。