KLA Corporation
iMicro 薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。
iNanoは、極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、硬度・ヤング率の3次元イメージングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。
G200X ハイエンド薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。
Nano Indenter G200は、バルク材料やミクロンオーダー厚の薄膜は勿論、従来困難であったサブミクロン厚の薄膜まで硬度・ヤング率評価を高精度で測定可能です。計装化押し込み試験の規格、ISO14577-1,2,3 に完全準拠した、まさに標準機と評価される製品です。高速インデンテーションを用いた硬さ・ヤング率の2次元定量イメージングにも対応します。
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ナノインデンターは薄膜や微小領域における硬さ・弾性率などの機械特性評価を行うために広く用いられています。室温環境下での試験報告は多くされていましたが、基礎研究・材料開発・製品化においては様々な温度環境での試験が求められます。 KLA社では新たに加熱・冷却ステージオプションVTS(Variable Temperature Stage)を販売し、ユーザーのニーズに沿った温度環境での試験を提供します。
NanoFlipは各種光学顕微鏡やAFMなどの既存のイメージング装置に搭載して、イメージング＆機械特性評価を実現する新しいタイプのナノインデンターです。Geminiオプションにより2軸測定が可能となり、ナノスケールでのトライボロジー特性評価を実現しました。
In-SEM型ナノインデンターシステムは、電子顕微鏡(FIB-SEM、SEM)と組み合わせることにより、サンプルの微小領域における機械特性情報を、サンプルの変形・破壊挙動のライブイメージと併せて取得が可能となります。最高800℃までの加熱試験や電気信号測定も可能です。
T150 引っ張り試験システムは、従来の試験機では困難だったファイバーや薄膜に対しての、再現性の良い引っ張り試験が可能です
Fraunhofer IWS Dresden
ドイツ Fraunhofer研究所製のLAWaveシステムは、SAW(表面弾性波)法を用いた超薄膜ヤング率測定システムで、5nm厚のDLC膜のヤング率測定も可能です。
マイクロビッカースでは測定困難な薄膜の硬度測定を行うために設計され、マイクロビッカースとナノインデンターの間の領域を埋め合わせることができる、新しいレンジの硬度計です。
