超高感度 三軸加速度計（354A12）のご紹介（動画）
製品情報
微小振動を捉え、装置の安定稼働を実現
半導体製造や精密機器の工程では、 わずかな振動でも製品品質に影響を及ぼすことがあります。
とくに半導体の微細化が進むにつれ、こうした 微小振動の計測はますます重要 になっています。
しかし、その“微小な揺れ”を捉えることは容易ではありません。
今回ご紹介する 超高感度三軸加速度計（型番：354A12） は、
これまで検出が難しかった微小振動を高精度で計測できるセンサです。
本センサを導入いただくことで、従来は把握しきれなかった設備のわずかな変化にも気付くことができ、
状態監視や予知保全の精度向上に大きく貢献します。
詳しくは下記の動画をぜひご覧ください！
センサの特長やポイントをまとめています。
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