超高感度ICP®三軸加速度計（354A12）

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超高感度ICP®三軸加速度計
超高感度ICP®三軸加速度計
クリーンルームイメージ

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微小振動の検出に最適！高感度・ローノイズの加速度計

半導体製造過程においては、たとえ微小であっても振動が生じると加工精度の悪化につながってしまいます。しかし、微小振動は汎用加速度計では検出が難しいため、高感度・低ノイズのものが要求されます。PCB Piezotronics社製354A12加速度計は、半導体製造装置をはじめとする大型構造物、建物の床振動、地盤振動といった超微小かつ低周波の振動検出用に特化して設計されています。大きめの形状により、卓越した高い分解能が得られるとともに、高感度、低いノイズフロアが得られ、装置挙動を正確にとらえます。

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特長

超高感度出力
低周波数測定能力の拡張
広帯域での分解能：1.0 μg rmsまで対応
気密封止構造、ステンレス鋼またはチタン製ハウジング

アプリケーション

半導体製造装置
床の振動およびセキュリティ監視などのインフラ整備
地震検知／揺れによる疲労解析
橋梁や基礎構造の構造試験
地質構造の研究

仕様

	354A12
感度	1019.4 mV/（m/s²）
周波数範囲±5%	0.17Hz～700Hz
周波数範囲±10%	0.12Hz～1,400Hz
周波数範囲±3 dB	0.06Hz～2,500Hz
測定レンジ	4.9 m/s² pk
温度範囲	-45℃～+82℃
サイズ	32mm(高さ)
重さ	645ｇ
インターフェース	1/4-28 4-Pin

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354A12