ナノイメージング
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Al(背面のみ)

反射の大きなサンプルを測定する場合、プローブ背面から反射されるレーザー光とサンプル表面から反射されるレーザー光が干渉を起こし、観察イメージに干渉縞が現れるケースがあります。このような場合、背面に反射コーティングを施したプローブを使用することで、光干渉を軽減できます。
 ・ Alコート :反射率が約2.5倍に向上
 ・ PtIr5コート :反射率が約2倍に向上。チップ側にもコートあり。電気測定に対応。
 ・ Auコート :反射率が約2倍に向上。液中で使用可能。
  • ナノインデンテーション用Ballチップ 
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    ナノインデンテーション用Ballチップ 
    nanotools GmbH

    チップ先端に対称性の高い球状のHDCを成長させたプローブです。主にナノインデンテーション用に使用されます。20nm~500nmまで幅広いラインアップを揃えています。

  • OPUS高速AFM用SIプローブ
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    OPUS高速AFM用SIプローブ
    OPUS by μmasch®

    OPUS-55ACシリーズは、高速ACモードイメージング用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針がカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能です。
    金属コート無(OPUS-55AC-NN)/Al反射コート(OPUS-55AC-NA)のタイプがあります。

  • Arrow UHFプローブ 
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    Arrow UHFプローブ 
    NanoWorld AG

    ACモード・超高共振周波数用の、カンチレバー長が非常に短いタイプです。

  • 超高アスペクト比EBDプローブ
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    超高アスペクト比EBDプローブ
    nanotools GmbH

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
     

  • 高アスペクト比M1プローブ
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    高アスペクト比M1プローブ
    nanotools GmbH

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。
    個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

  • 微細形状測定用HDC/DLCプローブ
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    微細形状測定用HDC/DLCプローブ
    nanotools GmbH

    高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

  • CNTプローブ 
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    CNTプローブ 
    nanotools GmbH

    カーボンナノチューブで問題となるチューブの取付け角度やチューブの長さ・太さのバラツキを解決したチップです。CNTはCarbon Nano Tipの略です。

  • 3Dメトロロジーチップ 
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    3Dメトロロジーチップ 
    nanotools GmbH

    サイドウォールの粗さや傾斜角度、トレンチの深さ、ステップ高さを測定するためのチップです。ナノツールズ社のEBD技術により、高精度なアンダーカット形状のHDCチップが製作されています。
     

  • 高分解能AFM用カーボンチップ 
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    高分解能AFM用カーボンチップ 
    nanotools GmbH

    研究向けにお求めやすい価格で、しかも長期にわたる信頼性の高い、高分解能測定を行うためのHDC/DLCプローブです。

  • 形状測定用プリマウントプローブ 
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    形状測定用プリマウントプローブ 

    Pacific Nanotechnogy社(PNI社)のAFM/SPMで使用するためのプローブです。ステンレスの板に予め固定されています。

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