電界放出形走査電子顕微鏡【MAGNA】

特長仕様

MAGNA

TESCAN社最新鋭のMAGNAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した超高分解能走査型電子顕微鏡です。イマージョン光学系を採用しており、高分解能・高コントラスト観察に有効です。クロスオーバーフリー光学系の選択も可能で、このユニークな手法を用いると色収差が小さくなり、低加速電圧でのビーム性能が大幅に向上します。
エネルギーフィルタリングが可能なインカラム検出器が配置されおり、ナノマテリアルのキャラクタリゼーションに最適です。

特長

イマージョン光学系を装備した超高分解能SEM
インカラム検出器による二次電子 / 反射電子検出
クロスオーバーフリーモードによる色収差低減
チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能

Pt担持カーボン触媒
（左：2次電子像、右：反射電子像）

Pt担持カーボン触媒の30kV-STEM暗視野像

酸化鉄ナノロッド

ブラックシリコン上の金粒子

仕様

電子銃	高輝度ショットキーエミッタ
SEMカラム	トリプル対物レンズ搭載Triglav^TMカラム
分解能	標準モード　　0.6nm at 15kV 　　1.2nm at 1kV ビーム減速モード　　0.9nm at 1kV STEM 　　0.5nm at 30kV
最大観察視野	10mm at max WD
加速電圧	50V ～ 30kV
最大プローブ電流	400nA