TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

電界放出形走査電子顕微鏡 【MAGNA】

新製品

TESCAN社最新鋭のMAGNAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した超高分解能走査型電子顕微鏡です。イマージョン光学系を採用しており、高分解能・高コントラスト観察に有効です。クロスオーバーフリー光学系の選択も可能で、このユニークな手法を用いると色収差が小さくなり、低加速電圧でのビーム性能が大幅に向上します。
エネルギーフィルタリングが可能なインカラム検出器が配置されおり、ナノマテリアルのキャラクタリゼーションに最適です。

特長

  • イマージョン光学系を装備した超高分解能SEM
  • インカラム検出器による二次電子 / 反射電子検出
  • クロスオーバーフリーモードによる色収差低減
  • チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
  • 大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
  • カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能

Pt担持カーボン触媒
(左:2次電子像、右:反射電子像)

Pt担持カーボン触媒の30kV-STEM暗視野像

酸化鉄ナノロッド

ブラックシリコン上の金粒子

仕様

電子銃 高輝度ショットキーエミッタ
SEMカラム トリプル対物レンズ搭載TriglavTMカラム
分解能 標準モード
  0.6nm at 15kV
  1.2nm at 1kV

ビーム減速モード
  0.9nm at 1kV

STEM
  0.5nm at 30kV
最大観察視野 10mm at max WD
加速電圧 50V ~ 30kV
最大プローブ電流 400nA