メーカーニュース

【ご来場のお礼】 ASTEC2020 (第15回先端表面技術展・会議)

KLA Corporation

2020年1月29日~31日までの3日間にわたり開催されました、「ASTEC2020 (第15回表面先端技術展・会議)」では、ご多忙の折にもかかわらず当社ブースへお立ち寄りくださり、誠にありがとうございました。

展示会中、展示製品や、弊社のソリューションにつきましてたくさんのお客様よりご質問を頂戴いたしましたため、一部のお客様におかれましては製品の説明などが行き届かない点があったかと存じます。
ご要望やご質問に関しましては、お気兼ねなくお問い合わせください。

ASTEC2020 (第15回表面先端技術展・会議) 出展製品

  • KLA社 ナノインデンター
    • ナノインデンテーションの世界標準機
    • 硬度・ヤング率の測定だけでなく、スクラッチ, 動的粘弾性, 加熱試験, 粘着力測定など
      幅広い機械特性評価に対応

  • TESCAN社 プラズマFIB-SEM 
    • 従来のGaイオンFIBに比べ50倍以上のミリングレートを有する新型Xeプラズマ
      FIBカラム搭載
    • 大容量・高速加工を実現、加工幅 最大1mm幅の加工も可能
    • Gaフリー・低ダメージでの試料作成は各種分析に最適
    • 3Dイメージング、3D-EDS、3D-EBSDにも対応

  • 超薄膜ヤング率測定システム(LAWave)
    • 5nm厚DLC薄膜のヤング率測定に対応
    • 150mmφウェハ対応

  • NanoWorld社 AFM/SPMプローブ

  • 膜型表面応力センサー(SD-MSS)
    • 香りやニオイのものさしを生み出す超高感度・超小型センサー素子
    • 複数の感応膜を同一環境で評価できるMSS-8RM 実験用モジュール

【お問合せ先】
 株式会社東陽テクニカ
 ライフサイエンス&マテリアルズ
 tel: 03-3245-1351
 e-mail: bunseki@toyo.co.jp

幣社鈴木が、「TOF-SIMSと共焦点ラマンを搭載したプラズマFIB-SEMによるマルチモーダル解析」
を発表いたしました。資料のお問い合わせはコチラまでお願いします。