温度センサー
LakeShore(レイクショア) 社製 低温温度センサーは、校正温度範囲 極低温1K以下:セルノックス(Cernox)、シリコンダイオード、酸化ルテニウムなどから、白金抵抗の 800K まで幅広い温度範囲に対応しています。 磁場中や放射線環境下でも使用可能なタイプや、多くの計測に対応できる多様なパッケージを用意しています。
温度センサーラインナップ
セラミックスの薄膜抵抗センサーです。このセンサーは温度応答時間が速く、また熱サイクルや強い磁場、放射線の照射といったストレスに高い耐性があります。また様々な形状のパッケージが用意されています。使用温度範囲は0.1K から325K です。HT セルノックスは特別に420K まで使用できるモデルです。
1.4K から500K の一般的な低温の実験に最適です。温度対出力電圧の特性が標準温度カーブに沿っているのでセンサー間の交換性があります。放射線中で使用する場合は他のセンサーをご検討下さい。
30K から800K の範囲で一定した感度を示します。70K 以上では標準温度カーブに沿うのでセンサー間の交換性があります。レイクショアでは独自に14K から校正したセンサーを用意しています。
磁場の影響を受けにくい、酸化ルテニウムグラス厚膜抵抗センサーです。4 種類のモデルの内、1 種類のモデルは10mKまで使用できます。
航空宇宙、超伝導リニアなど高い信頼性が要求される分野向けのセンサーです。振動・衝撃試験や寿命試験など多岐の試験を通過したセンサーをご提供できます。温度範囲は、20K ~ 420K です。
磁場の影響を受けないので1K までの温度で強磁場下の温度コントロールに理想的なセンサーです。あらかじめゼロ磁場中で別のセンサーを使って温度を測定しておく必要があります。キャパシタンスセンサーはコントロールのみを目的として使用します。
温度範囲 | 標準カーブ | 真空中での使用 | 放射線中高真空の使用 | 磁場中の使用 | |||
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高真空の使用 10-1 ~ 10-4Pa |
超高真空 10-4 ~ 10-7Pa |
極高真空 10-7 ~ 10-10Pa |
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セルノックス | 0.1K ~ 325K0.1K ~ 420K(HT) | × | AA | ー | ベアチップ SD |
推奨 | 1K ≧ T における磁場中の使用に優れている。 SD パッケージのリード線は非磁性材料である。 |
シリコンダイオード | 1.4K ~ 500K | 〇 | ー | ー | DT-670-SD | 推奨していない | T<60K、また60K > T でもB>5T の環境では推奨しない。SD パッケージのリード線は磁性材料である。 |
白金 | 14K ~ 873K | 〇 | ー | PT-102 PT-103 |
ー | 推奨 | やや磁場到来方向に対する依存性がある。T ≧ 30K のときのみ推奨している。 |
酸化ルテニウム | 0.01K ~ 40K | 〇 | AA | ー | ベアチップ | 推奨 | 磁場中での使用に優れている。 |
キャパシタンス | 1.4K ~ 290K | × | CS-501 | ー | ー | 使用不可 | 制御用センサーとしての使用を推奨している。 |
熱電対 | 3.15K ~ 1543K | 〇 | 絶縁線 | ー | ー | 推奨していない | T ≧ 10 のときに使用可能である。 |