1. 東陽テクニカ
  2. 脱炭素／エネルギー
  3. 製品・サービス一覧
  4. 低温測定機器・温度センサー
  5. 酸化ルテニウム抵抗温度センサー RXシリーズ

Lake Shore Cryotronics Inc.（レイクショア / USA）

酸化ルテニウム抵抗温度センサー RXシリーズ

  • 酸化ルテニウム抵抗温度センサー RXシリーズ 酸化ルテニウム抵抗温度計 RX シリーズ-1 酸化ルテニウム抵抗温度計 RX シリーズ-1
  • 酸化ルテニウム抵抗温度センサー RXシリーズ 酸化ルテニウム抵抗温度計 RX シリーズ-2 酸化ルテニウム抵抗温度計 RX シリーズ-2
オンラインストア掲載製品

酸化ルテニウム RXシリーズは、校正温度範囲:20mKから20K 負温度係数のグラス厚膜抵抗センサーです。磁場の影響を受けにくく(モデルによる) 極低温領域の温度計測にご使用いただけます。
372型 AC抵抗ブリッジ/温度コントローラと共に用いて 希釈冷凍機など極低温の温度モニタ、コントロールを行えます。

株式会社東陽テクニカ　脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail：keisoku[at]toyo.co.jp

特長

RX-102A

このセンサーは50mKまで使用でき、RX-202Aよりも交換性に優れています。1K以下での磁場による影響が小さいという特長があります。

RX-202A

このセンサーは、他の酸化ルテニウムセンサーよりも磁場の影響が大きく改善されています。
ほとんどの酸化ルテニウムセンサーは、室温以下で温度係数が負から正に変化しますが、このセンサーは50mK ～ 300Kで単調な特性を持っています。

RX-103A

このセンサーは抵抗値の温度特性がユニークで、磁場による誤差が小さいです。校正の温度範囲は1.4K ～ 40Kです。

RX-102Aの特長 RX-202Aの特長 RX-103Aの特長
標準温度カーブがある
放射線耐性が優れている
50mK まで使用可能
磁場による誤差が小さい		 標準温度カーブがある
放射線耐性が優れている
50mK～300Kで単調な特性
磁場による誤差が小さい		 標準温度カーブがある
放射線耐性が優れている
磁場による誤差が小さい

RXシリーズ 抵抗温度計の抵抗温度特性と感度

仕様

■ 標準カーブ
RX-102、RX-202： 0.05K～40K
RX-103： 1.4K～40K
■ 推奨駆動電圧1
RX-102、RX-202： 20μV（0.05K～0.1K） / 63μV（0.1K～1.2K） / 10mV以下（T>1K）
RX-103： 10mV以下（T>1K）
■ 自己発熱
RX-102、RX-202： 7.5×10-8W＠4.2K
RX-103： 3.2×10-9W＠1.4K / 5.5×10-9W＠4.2K / 9.6×10-9W＠77K
（推奨駆動電流使用時）
■ 温度応答時間
0.5sec＠4.2K、2.5sec＠77K
■ 放射線下での使用
推奨できる
■ 磁場中での使用
推奨できる
■ 再現性2
± 15mK

1レイクショアが校正に使用している370型AC抵抗ブリッジによる1K以下の温度の場合の推奨駆動電圧

2再現性（短期再現性）の値は305Kから4.2Kのサーマルショックの結果

使用温度範囲

低温側リミット 高温側リミット
RX-102A-AA 0.05K 40K
RX-202A-AA 0.05K 40K
RX-103A-AA 1.4K 40K

校正後の確度6

RX-102A-AA RX-202A-AA RX-103A-AA
20mK ― ― ―
50mK ― ― ―
1.4K ± 16mK ± 16mK ± 16mK
4.2K ± 16mK ± 16mK ± 17mK
10K ± 18mK ± 18mK ± 22mK

6 ［（校正の不確かさ）2 +（ 再現性）2］0.5

長期安定性

RX-102A-AA RX-202A-AA RX-103A-AA
4.2K ± 30mK ± 50mK ± 15mK

磁場による誤差 Δ T/T（％）

温度（K） RX-102A
2.5T 8T 14T 19T
2 -1.4 -7.9 -13 -17
3 -1.5 -7 -14 -18
4 -0.56 -6.7 -14 -18
8 -1.3 -6.1 -13 -21
16 -0.40 -3.4 -9.6 -16
23 -0.31 -2.2 -6.2 -11
温度（K） RX-202A RX-103A
2.5T 8T 14T 19T 2.5T 8T 14T 19T
2 -0.13 -2.2 -3.9 -5.2 0.58 1.5 2.2 2.6
3 0.18 -0.68 -2.7 -3.7 0.44 1.1 1.7 2.0
4 0.77 0.046 -1.8 -3.2 0.27 0.95 1.4 1.7
8 -0.023 0.16 -0.65 -3.0 0.11 0.49 0.71 0.80
16 0.03 0.16 -0.48 -1.5 0.018 0.076 0.089 0.040
23 -0.05 -0.08 -0.39 -0.92 0.0051 0.0058 -0.0060 -0.095

確度：交換性

RX-102A-AA-M
マッチング有り		 RX-102A-AA
マッチング無し		 RX-202A-AA-M
マッチング有り		 RX-202A-AA
マッチング無し		 RX-103A-AA-M
マッチング有り		 RX-103A-AA
マッチング無し
0.05K ± 5mK ± 10mK ± 10mK ± 15mK ― ―
0.3K ± 15mK ± 20mK ± 20mK ± 25mK ― ―
0.5K ± 20mK ± 25mK ± 25mK ± 30mK ― ―
1.4K ± 25mK ± 50mK ± 50mK ± 100mK ± 50mK ± 150mK
4.2K ± 75mK ± 125mK ± 150mK ± 250mK ± 100mK ± 400mK
20K ± 500mK ± 1.25K ± 1K ± 2.5K ± 700mK ± 2K
40K ± 1.5K ± 4K ± 2K ± 5K ± 1.5K ± 4K

温度応答データ（ティピカル）

102A
抵抗（Ω） dR/dt（Ω/K） （T/R）（dR/dT）
0.01K - - -
0.02K - - -
0.05K 70020 -5090000 -3.6
0.1K 19390 -266000 -1.4
0.3K 5615 -16600 -0.89
1.4K 2005 -667 -0.47
4.2K 1370 -80.3 -0.25
10K 1167 -15.3 -0.13
40K 1049 -1.06 -0.04
202A 103A
抵抗（Ω） dR/dt（Ω/K） （T/R）（dR/dT） 抵抗（Ω） dR/dt（Ω/K） （T/R）（dR/dT）
0.01K - - - - - -
0.02K - - - - - -
0.05K 110000 -12300000 -5.6 - - -
0.1K 23340 -274000 -1.2 - - -
0.3K 8364 -19400 -0.69 - - -
1.4K 3797 -935 -0.34 30750 -13570 -0.62
4.2K 2918 -121 -0.17 18150 -1560 -0.36
10K 2579 -31.6 -0.12 14060 -315 -0.22
40K 2244 -4.58 -0.08 11150 -21.7 -0.08

使用素材等

質量 リード線 内部 雰囲気 センサーの材質
RX-102A-AA
RX-202A-AA
RX-103A-AA		 3.3g
3.28g
3.36g		 Formvar®をコーティングした2本の銅ワイヤ。折り曲げ保護管付き。ユーザーはここから4本に分枝して配線する（無極性） 空気 ビスマスとルテニウムの酸化物の厚膜フィルム 銀パラジウムの電極、インジウム半田、アルミナ基板、サファイアヘッダー、円柱状銅管、エポキシシール
ベアチップ A（チップ長） B（パッド幅） C（チップ幅） D（厚さ） 材料
RX-102A-BR 1.45mm
（0.057 in）		 0.30mm
（0.012in）		 1.27mm
（0.050in）		 0.65mm
（0.022in）		 ビスマスとルテニウムの酸化物の厚膜フィルム 
銀パラジウムの電極
RX-103A-BR 1.40mm
（0.070in）		 0.21mm
（0.010in）		 1.23mm
（0.060in）		 0.41mm
（0.016in）

磁場による影響

オプション

温度センサーのご発注時（メーカー出荷時）に限り、リード線を延長する事が可能です。
ベアチップ（BR、BC、BG）につきましては、リード線の延長オプションはございませんので、あらかじめご了承ください。

※Formvar絶縁被覆の使用温度上限は378Kです。
378K以上でご使用の場合は、ポリイミド絶縁被覆のリード線をご選択下さい。
※450K以上でご使用の場合は、ご発注時に“90/10 PbSn半田使用”とご指定下さい。

＜ご選択の手順＞

  1. リード線の数を選ぶ：2線、4線
    ※２線は、ダイオードセンサーのみ
  2. リード線の種類を選ぶ：
    2線（DL、DT、DM、DN)
    4線（QL、QT、MW、NM)
  3. リード線の径を選ぶ：
    30AWG、32AWG、36AWG、42AWG
    ※右の対応表より選択
  4. 延長するリード線の長さを選ぶ：2ｍ、5ｍ
    ※上記以外の長さの延長も可能。ご相談ください。

＜ご注文方法＞

延長オプションを適用する温度センサーの型番と共に下記をご指定下さい。

－ XXYY－Z
XX ：リード線の種類
YY：リード線の径の大きさ（AWG）
Z：リード線の長さ （メートル単位）

リード線の種類（XX） リード線の径の大きさ（YY）
＜2線式＞ ※ダイオードセンサーのみ使用可能
DL = Duo-Lead 36
DT = Duo-Twist 32 or 36
DM = 2separate
manganin wires		 30, 32 or 36
DN = 2separates
phosphor-brozen wires		 32, 36 or 42
＜4線式＞
QL = Quad-Lead 32 or 36
QT = Quad-Twist 32（ポリイミド）or 36（Formvar）
MW = Manganin 30, 32 or 36
NM = Single-strand
phosphor-broze		 32, 36 or 42

比較表

比較表

カタログダウンロード

RX シリーズ 酸化ルテニウム（ROXTM）抵抗センサー

RX シリーズ 酸化ルテニウム（ROXTM）抵抗センサー

ダウンロード

※クリックしてPDFを表示・保存できます

オーダーインフォメーション

未校正センサーの場合

左側の列から型名を選択するだけです。
（例：RX-202A-AA）

校正センサーの場合

型名に校正範囲コードを付け加えてください。
（例：RX-202A-AA-0.05B）

酸化ルテニウムRTD 校正範囲コード
数値の部分は低温側の校正リミットを表す
英文字は高温側の校正リミットを表す
例：C=1K、B=40K、M=マッチング有り
型名 未校正 0.02C 0.02B 0.05B 0.3B 1.4B
RX-202A-AA, CD ■ ■ ■ ■
RX-202A-AA-M ■
RX-102A-AA, CD ■ ■ ■ ■
RX-102A-AA-M ■
RX-103A-AA, CD ■ ■
RX-103A-AA-M ■
RX-102A-BR ■
RX-103A-BR ■

注： 他のパッケージも特注により可能です。弊社までご相談ください。センサーの性能保証期間は納入検収をもって終了致します。

パッケージ

レイクショア社の酸化ルテニウム抵抗センサーにはキャニスタータイプ（AA）とベアチップタイプがあります。ベアチップはサイズが小さく、そして温度応答時間が速いという特長があります。
RX-102A-BRは、RX-102Aのベアチップバージョンです。これには普通の鉛錫半田が使える貴金属の電極を使っています。
RX-103A-BRは、RX-103Aのベアチップバージョンです。この電極にはあらかじめ半田メッキが付けてあります。そのためセンサーの厚さが若干厚く(0.25mmから0.41mm）なっています。これらにはリード線を付けていないので、校正もされていません。