【東陽テクニカ】Lake Shore社製　低温温度センサー比較一覧表 | 東陽テクニカ | “はかる”技術で未来を創る

低温温度センサー比較一覧表

センサー種別	シリーズ	1K以下の測定に適する	使用温度範囲が広い	標準温度カーブがある	磁場中で使用できる	放射線の影響を受けにくい
セルノックス抵抗	CX	○	○		○	○
シリコンダイオード	DT		○	○
白金抵抗	PT		○	○		○
酸化ルテニウム抵抗	RX	○		○	○	○
キャパシタンス	CS		○		○
熱電対			○	○

※ゲルマニウム抵抗温度センサーは製造終了しました。

セラミックスの薄膜抵抗センサーです。
このセンサーは温度応答時間が速く、また熱サイクルや強い磁場、放射線の照射といったストレスに高い耐性があります。
また様々な形状のパッケージが用意されています。使用温度範囲は0.1Kから325Kです。
HTセルノックスは特別に420Kまで使用できるモデルです。

1.4Kから500Kの一般的な低温の実験に最適です。
温度対出力電圧の特性が標準温度カーブに沿っているのでセンサー間の交換性があります。
放射線中で使用する場合は他のセンサーをご検討ください。

30Kから800Kの範囲で一定した感度を示します
70K以上では標準温度カーブに沿うのでセンサー間の交換性があります。
レイクショアでは独自に14Kから校正したセンサーを用意しています。

磁場の影響を受けにくい、酸化ルテニウムグラス厚膜抵抗センサーです。
4種類のモデルの内、1種類のモデルは10mKまで使用できます

磁場の影響を受けないので1Kまでの温度で強磁場下の温度コントロールに理想的なセンサーです。
あらかじめゼロ磁場中で別のセンサーを使って温度を測定しておく必要があります。
キャパシタンス温度センサーはコントロールのみを目的として使用します。

使用温度範囲が広くそして高温まで一定の感度を持ちます。
安価で標準カーブもありますが、センサーの設置状況の影響を受けやすいので他のセンサーより確度が低下します。