低温温度センサ 比較一覧表

センサー種別 シリーズ 1K以下の測定に適する 使用温度範囲が広い 標準温度カーブがある 磁場中で使用できる 放射線の影響を受けにくい
シリコンダイオード DT      
白金抵抗 PT    
セルノックス抵抗 CX  
ゲルマニウム抵抗 GR        
酸化ルテニウム抵抗 RX  
キャパシタンス CS      
熱電対        

シリコンダイオードセンサー DTシリーズ

1.4Kから500Kの一般的な低温の実験に最適です。
温度対出力電圧の特性が標準温度カーブに沿っているのでセンサー間の交換性があります。
放射線中で使用する場合は他のセンサーをご検討ください。

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白金抵抗センサー PTシリーズ

0Kから800Kの範囲で一定した感度を示します
70K以上では標準温度カーブに沿うのでセンサー間の交換性があります。
レイクショアでは独自に14Kから校正したセンサーを用意しています。

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セルノックス抵抗センサー CXシリーズ

セラミックスの薄膜抵抗センサーです。
このセンサーは温度応答時間が速く、また熱サイクルや強い磁場、放射線の照射といったストレスに高い耐性があります。
また様々な形状のパッケージが用意されています。使用温度範囲は0.1Kから325Kです。
HTセルノックスは特別に420Kまで使用できるモデルです。

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ゲルマニウム抵抗センサー GRシリーズ

0.05Kから30Kの温度範囲で高い確度が得られます。
いくつかのモデルは100Kまで使用できます。
放射線に対する耐性がありますが、磁場中での使用はお勧めしません。

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酸化ルテニウム抵抗センサー RXシリーズ

磁場の影響を受けにくい、酸化ルテニウムグラス厚膜抵抗センサーです。
4種類のモデルの内、1種類のモデルは10mKまで使用できます

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キャパシタンス温度センサー CSシリーズ

磁場の影響を受けないので1Kまでの温度で強磁場下の温度コントロールに理想的なセンサーです。
あらかじめゼロ磁場中で別のセンサーを使って温度を測定しておく必要があります。
キャパシタンスセンサーはコントロールのみを目的として使用します。

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熱電対

使用温度範囲が広くそして高温まで一定の感度を持ちます。
安価で標準カーブもありますが、センサーの設置状況の影響を受けやすいので他のセンサーより確度が低下します。