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酸化ルテニウム抵抗温度センサー RXシリーズ 

Lake Shore Cryotronics Inc.
酸化ルテニウム抵抗温度センサー RXシリーズ
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オンラインストア掲載製品

酸化ルテニウム RXシリーズは、校正温度範囲:20mKから20K 負温度係数のグラス厚膜抵抗センサーです。磁場の影響を受けにくく(モデルによる) 極低温領域の温度計測にご使用いただけます。
372型 AC抵抗ブリッジ/温度コントローラと共に用いて 希釈冷凍機など極低温の温度モニタ、コントロールを行えます。

(株)東陽テクニカ 理化学計測部
TEL:03-3245-1103
Email:keisoku[at]toyo.co.jp

特長

RX-102A  
このセンサーは50mKまで使用でき、RX-202Aよりも交換性に優れています。1K以下での磁場による影響が小さいという特長があります。
 
 
RX-202A
このセンサーは、他の酸化ルテニウムセンサーよりも磁場の影響が大きく改善されています。
ほとんどの酸化ルテニウムセンサーは、室温以下で温度係数が負から正に変化しますが、このセンサーは50mK ~ 300Kで単調な特性を持っています。
 
 
RX-103A
このセンサーは抵抗値の温度特性がユニークで、磁場による誤差が小さいです。校正の温度範囲は1.4K ~ 40Kです。
 
 
 
 
RX-102Aの特長 RX-202Aの特長
標準温度カーブがある
放射線耐性が優れている
50mK まで使用可能
磁場による誤差が小さい
標準温度カーブがある
放射線耐性が優れている
50mK~300Kで単調な特性
磁場による誤差が小さい
RX-103Aの特長  
標準温度カーブがある
放射線耐性が優れている
磁場による誤差が小さい
 
 
RXシリーズ 抵抗温度計の抵抗温度特性と感度
 
RX%EF%BE%81%EF%BD%AC%EF%BD%B0%EF%BE%841_160x163.png RX%EF%BE%81%EF%BD%AC%EF%BD%B0%EF%BE%842_160x163.png RX%EF%BE%81%EF%BD%AC%EF%BD%B0%EF%BE%843_160x163.png

仕様

標準カーブ
RX-102、RX-202: 0.05K~40K
RX-103: 1.4K~40K
推奨駆動電圧1
RX-102、RX-202: 20μV(0.05K~0.1K)
63μV(0.1K~1.2K)
10mV以下(T>1K)
RX-103: 10mV以下(T>1K)
自己発熱
RX-102、RX-202: 7.5×10-8W@4.2K
RX-103: 3.2×10-9W@1.4K、
5.5×10-9W@4.2K、
9.6×10-9W@77K
  (推奨駆動電流使用時)
温度応答時間 0.5sec@4.2K、2.5sec@77K
放射線下での使用 推奨できる
磁場中での使用 推奨できる
再現性2 ± 15mK
1 レイクショアが校正に使用している370型AC抵抗ブリッジによる1K以下の温度の場合の推奨駆動電圧
2 再現性(短期再現性)の値は305Kから4.2Kのサーマルショックの結果
 
 
使用温度範囲
  低温側リミット 高温側リミット
RX-102A-AA
0.05K
40K
RX-202A-AA
0.05K
40K
RX-103A-AA
1.4K
40K
5 20mKまでの校正が可能
 
校正後の確度6
  RX-102A-AA RX-202A-AA RX-103A-AA
20mK
50mK
1.4K
± 16mK
± 16mK
± 16mK
4.2K
± 16mK
± 16mK
± 17mK
10K
± 18mK
± 18mK
± 22mK
6 [(校正の不確かさ)2 +( 再現性)20.5
 
長期安定性
  RX-102A-AA RX-202A-AA RX-103A-AA
4.2K
± 30mK
± 50mK
± 15mK
 
磁場による誤差 Δ T/T(%)
温度(K) RX-102A
2.5T 8T 14T 19T
2
-1.4
-7.9
-13
-17
3
-1.5
-7
-14
-18
4
-0.56
-6.7
-14
-18
8
-1.3
-6.1
-13
-21
16
-0.40
-3.4
-9.6
-16
23
-0.31
-2.2
-6.2
-11
 
 
温度(K) RX-202A RX-103A
2.5T 8T 14T 19T 2.5T 8T 14T 19T
2
-0.13
-2.2
-3.9
-5.2
0.58
1.5
2.2
2.6
3
0.18
-0.68
-2.7
-3.7
0.44
1.1
1.7
2.0
4
0.77
0.046
-1.8
-3.2
0.27
0.95
1.4
1.7
8
-0.023
0.16
-0.65
-3.0
0.11
0.49
0.71
0.80
16
0.03
0.16
-0.48
-1.5
0.018
0.076
0.089
0.040
23
-0.05
-0.08
-0.39
-0.92
0.0051
0.0058
-0.0060
-0.095
 
確度:交換性
  RX-102A-AA-M
マッチング有り
RX-102A-AA
マッチング無し
RX-202A-AA-M
マッチング有り
RX-202A-AA
マッチング無し
RX-103A-AA-M
マッチング有り
RX-103A-AA
マッチング無し
0.05K
± 5mK
± 10mK
± 10mK
± 15mK
0.3K
± 15mK
± 20mK
± 20mK
± 25mK
0.5K
± 20mK
± 25mK
± 25mK
± 30mK
1.4K
± 25mK
± 50mK
± 50mK
± 100mK
± 50mK
± 150mK
4.2K
± 75mK
± 125mK
± 150mK
± 250mK
± 100mK
± 400mK
20K
± 500mK
± 1.25K
± 1K
± 2.5K
± 700mK
± 2K
40K
± 1.5K
± 4K
± 2K
± 5K
± 1.5K
± 4K
 
温度応答データ(ティピカル)
  102A
抵抗(Ω) dR/dt(Ω/K) (T/R)(dR/dT)
0.01K
-
-
-
0.02K
-
-
-
0.05K
70020
-5090000
-3.6
0.1K
19390
-266000
-1.4
0.3K
5615
-16600
-0.89
1.4K
2005
-667
-0.47
4.2K
1370
-80.3
-0.25
10K
1167
-15.3
-0.13
40K
1049
-1.06
-0.04
 
  202A 103A
抵抗(Ω) dR/dt(Ω/K) (T/R)(dR/dT) 抵抗(Ω) dR/dt(Ω/K) (T/R)(dR/dT)
0.01K
-
-
-
-
-
-
0.02K
-
-
-
-
-
-
0.05K
110000
-12300000
-5.6
-
-
-
0.1K
23340
-274000
-1.2
-
-
-
0.3K
8364
-19400
-0.69
-
-
-
1.4K
3797
-935
-0.34
30750
-13570
-0.62
4.2K
2918
-121
-0.17
18150
-1560
-0.36
10K
2579
-31.6
-0.12
14060
-315
-0.22
40K
2244
-4.58
-0.08
11150
-21.7
-0.08
 
使用素材等
  質量 リード線 内部 雰囲気 センサーの材質
RX-102A-AA
RX-202A-AA
RX-103A-AA
3.3g
3.28g
3.36g
Formvar®をコーティングした2本の銅ワイヤ。折り曲げ保護管付き。ユーザーはここから4本に分枝して配線する(無極性)
空気
ビスマスとルテニウムの酸化物の厚膜フィルム 銀パラジウムの電極、インジウム半田、アルミナ基板、サファイアヘッダー、円柱状銅管、エポキシシール
 
ベアチップ A(チップ長) B(パッド幅) C(チップ幅) D(厚さ) 材料
RX-102A-BR
1.45mm
(0.057 in)
0.30mm
(0.012in)
1.27mm
(0.050in)
0.65mm
(0.022in)
ビスマスとルテニウムの酸化物の厚膜フィルム 
銀パラジウムの電極
RX-103A-BR
1.40mm
(0.070in)
0.21mm
(0.010in)
1.23mm
(0.060in)
0.41mm
(0.016in)
 
 
磁場による影響
rox_ts_gr1_big_160x161.png
rox_ts_gr2_big_160x161.png
rox_ts_gr3_big_160x166.png
rox_ts_gr4_big_160x166.png
 
RX-CB%E8%A8%AD%E8%A8%88%E5%9B%B3_200x190.png


特に記載がない場合、寸法が
X.XXXと表記されていている箇所の公差は、±0.005 in [±0.127 mm] 、
X.XXと表記されている箇所の公差は、±0.01 in [±0.254 mm]。
取り付けには、M3 ISOネジ、または、#6インチネジを使用のこと。

オプション

温度センサーのご発注時(メーカー出荷時)に限り、リード線を延長する事が可能です。
ベアチップ(BR、BC、BG)につきましては、リード線の延長オプションはございませんので、
あらかじめご了承ください。
  
※Formvar絶縁被覆の使用温度上限は378Kです。
   378K以上でご使用の場合は、ポリイミド絶縁被覆のリード線をご選択下さい。
※450K以上でご使用の場合は、ご発注時に“90/10 PbSn半田使用”とご指定下さい。
 
<ご選択の手順>
1.リード線の数を選ぶ:2線、4線
 ※2線は、ダイオードセンサーのみ

2.リード線の種類を選ぶ:
 2線(DL、DT、DM、DN)
   4線(QL、QT、MW、NM)

3.リード線の径を選ぶ:
 30AWG、32AWG、36AWG、42AWG
 ※右の対応表より選択

4.延長するリード線の長さを選ぶ:2m、5m
 ※上記以外の長さの延長も可能。
  ご相談ください。


<ご注文方法>
延長オプションを適用する温度センサーの型番と共に下記をご指定下さい。
   - XXYY-Z  
           XX :リード線の種類
            YY:リード線の径の大きさ(AWG)
            Z:リード線の長さ (メートル単位)

 
 
リード線の種類
(XX)
リード線の径の大きさ
(YY)
<2線式> ※ダイオードセンサーのみ使用可能
DL = Duo-Lead 36
DT = Duo-Twist 32 or 36
DM = 2separate
manganin wires
30, 32 or 36
DN = 2separates
phosphor-brozen wires
32, 36 or 42
<4線式>
QL = Quad-Lead 32 or 36
QT = Quad-Twist
32(ポリイミド)or
36(Formvar)
MW = Manganin 30, 32 or 36
NM = Single-strand
phosphor-broze
32, 36 or 42

オーダー
インフォメーション

未校正センサーの場合
 
左側の列から型名を選択するだけです。
(例:RX-202A-AA)
校正センサーの場合
 
型名に校正範囲コードを付け加えてください。
(例:RX-202A-AA-0.05B)
 
酸化ルテニウムRTD
校正範囲コード
数値の部分は低温側の校正リミットを表す
英文字は高温側の校正リミットを表す
例:C=1K、B=40K、M=マッチング有り
型名
未校正
0.02C
0.02B
0.05B
0.3B
1.4B
RX-202A-AA, CD
   
RX-202A-AA-M
   
 
 
 
RX-102A-AA, CD
   
RX-102A-AA-M
         
RX-103A-AA, CD
 
 
   
RX-103A-AA-M
     
 
 
RX-102A-BR
         
RX-103A-BR
         
注: 他のパッケージも特注により可能です。弊社までご相談ください。
  センサーの性能保証期間は納入検収をもって終了致します。
パッケージ
レイクショア社の酸化ルテニウム抵抗センサーにはキャニスタータイプ(AA)とベアチップタイプがあります。ベアチップはサイズが小さく、そして温度応答時間が速いという特長があります。
RX-102A-BRは、RX-102Aのベアチップバージョンです。これには普通の鉛錫半田が使える貴金属の電極を使っています。
RX-103A-BRは、RX-103Aのベアチップバージョンです。この電極にはあらかじめ半田メッキが付けてあります。そのためセンサーの厚さが若干厚く(0.25mmから0.41mm)なっています。これらにはリード線を付けていないので、校正もされていません。

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はい (5)
いいえ (2)

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