オンラインセミナー

 ナノインデンターオンラインセミナー ~半導体材料の機械特性評価事例~

開催日時

2021年1月29日(金)

●ツール

    Zoom ビデオウェビナー

ナノインデンター(薄膜機械特性測定装置)の概要と事例をご紹介いたします。今回は招待講演があります。ルネサスエレクトロニクス株式会社/宇佐美氏とKLA社/Dr.Kurt  Johannsを招聘します。

日時 開催内容 費用 空席 定員 申し込み
2021年1月29日(金)
13:30~15:30
半導体材料向けナノインデンターオンラインセミナー 無料 200 受付終了
日時 2021年1月29日(金) 13:30~15:30
開催内容 半導体材料向けナノインデンターオンラインセミナー
費用 無料
空席 定員 200
申し込み 受付終了

講演内容

  • LSIパターンを用いたナノインデンテーション法の応用 ~Low-k/Cu配線構造の実装不良に関連する評価~

講師:ルネサスエレクトロニクス株式会社 宇佐美 達矢 氏
内容: ナノインデンテーション法のLSIにおける基本的な用途は、基板上薄膜の機械的特性評価である。しかし、その基本用途とは別に、
   LSIパターンを用いたナノインデンテーション法の応用が、最近、その有用性から注目を集めている。
    今回、その一例として、ナノインデンテーション法を用いたLow-k/Cu配線パターン構造の評価結果を報告する。本セミナーでは、
   パターン構造の機械的特性と実装不良との関係を議論する。

  • The Role of Nanoindentation in the Fabrication of Semiconductor Devices

講師:KLA Corporation Dr. Kurt E. Johanns

講師:株式会社東陽テクニカ 岩田 敏一
 

お問い合わせ

ライフサイエンス/マテリアルズ 担当:多賀、岩田

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