出展製品

当社ブース (東ホール 3P-07。ブース位置はこちら

• KLA社　ナノインデンター
  • ナノインデンテーションの世界標準機
  • 薄膜の硬さ・ヤング率の測定だけでなく、スクラッチ, 動的粘弾性, 加熱試験, 粘着力測定など
    幅広い機械特性評価に対応
• TESCAN社　プラズマFIB-SEM 
  • 従来のGaイオンFIBに比べ50倍以上のミリングレートを有する新型XeプラズマFIBカラム搭載
  • 大容量・高速加工を実現、加工幅 最大1mm幅の加工も可能
  • Gaフリー・低ダメージでの試料作成は各種分析に最適
  • 3Dイメージング、3D-EDS、3D-EBSDにも対応
• 超薄膜ヤング率測定システム(LAWave)
  • 5nm厚DLC薄膜のヤング率測定に対応
  • 150mmφウェハ対応
• NenoVision社　InSEM-AFMシステム
  • SEMとAFMイメージングを同一箇所で観察可能
  • 形状測定だけでなく、機械特性や電気特性評価も対応
  • SEMやFIB-SEMへ容易に搭載可能
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  ASTEC2022について

  ASTEC2022は薄膜製造・各種コーティング・塗装等の最新表面処理技術が集結します。
  ナノテクノロジー総合展(nano tech2022)などと併設され、多くの方が来場する国内最大級の展示会です。
  展示会ホームページ ： https://www.astecexpo.jp/index.html

本展示会は「全来場者完全事前登録制」です。オンラインでの事前登録が必要ですので、ご注意くださいませ。