ASTEC2022(第17回先端表面技術展・会議)

開催時間

2022年1月26日(水)~2022年1月28日(金)  10:00~17:00

●場所

    東京ビッグサイト 東ホール  ブース番号:3P-07

当社はASTEC2022(第17回先端表面技術展・会議)に出展します。
ナノインデンター(薄膜硬度計)を中心に、プラズマFIB-SEMInSEM-AFM超薄膜ヤング率測定システムなどサンプル表面の各種イメージング・分析技術をご紹介いたします。
展示会にお越しの際は、当社ブースにぜひお立ち寄りください。


出展製品


当社ブース (東ホール 3P-07。ブース位置はこちら(準備中))

  • KLA社 ナノインデンター
    • ナノインデンテーションの世界標準機
    • 薄膜の硬さ・ヤング率の測定だけでなく、スクラッチ, 動的粘弾性, 加熱試験, 粘着力測定など
      幅広い機械特性評価に対応
  • TESCAN社 プラズマFIB-SEM 
    • 従来のGaイオンFIBに比べ50倍以上のミリングレートを有する新型XeプラズマFIBカラム搭載
    • 大容量・高速加工を実現、加工幅 最大1mm幅の加工も可能
    • Gaフリー・低ダメージでの試料作成は各種分析に最適
    • 3Dイメージング、3D-EDS、3D-EBSDにも対応
  • 超薄膜ヤング率測定システム(LAWave)
    • 5nm厚DLC薄膜のヤング率測定に対応
    • 150mmφウェハ対応
  • NenoVision社 InSEM-AFMシステム
    • SEMとAFMイメージングを同一箇所で観察可能
    • 形状測定だけでなく、機械特性や電気特性評価も対応
    • SEMやFIB-SEMへ容易に搭載可能
  •  

    ASTEC2022について

    ASTEC2022は薄膜製造・各種コーティング・塗装等の最新表面処理技術が集結します。
    ナノテクノロジー総合展(nano tech2022)などと併設され、多くの方が来場する国内最大級の展示会です。
    展示会ホームページ : https://www.astecexpo.jp/index.html

本展示会は「全来場者完全事前登録制」です。オンラインでの事前登録が必要ですので、ご注意くださいませ。