ASTEC2020 (第15回先端表面技術展・会議)

2020年1月29日(水)~1月31日(金)

開催時間

10:00~17:00

●場所

    東京ビッグサイト 南3ホール      ブース番号:3S-M07

当社はASTEC2020(第15回先端表面技術展・会議)に出展します。
ナノインデンター(薄膜硬度計)を中心に、プラズマFIB-SEMAFM/SPMプローブ超薄膜ヤング率測定システムなどサンプル表面の各種イメージング・分析技術をご紹介いたします。
展示会にお越しの際は、当社ブースにぜひお立ち寄りください。


出展製品

  • KLA社 ナノインデンター
    • ナノインデンテーションの世界標準機
    • 硬度・ヤング率の測定だけでなく、スクラッチ, 動的粘弾性, 加熱試験, 粘着力測定など
      幅広い機械特性評価に対応
  • TESCAN社 プラズマFIB-SEM 
    • 従来のGaイオンFIBに比べ50倍以上のミリングレートを有する新型XeプラズマFIBカラム搭載
    • 大容量・高速加工を実現、加工幅 最大1mm幅の加工も可能
    • Gaフリー・低ダメージでの試料作成は各種分析に最適
    • 3Dイメージング、3D-EDS、3D-EBSDにも対応
  • 超薄膜ヤング率測定システム(LAWave)
    • 5nm厚DLC薄膜のヤング率測定に対応
    • 150mmφウェハ対応
  • NanoWorld社 AFM/SPMプローブ
  • 膜型表面応力センサー(SD-MSS)
    • 香りやニオイのものさしを生み出す超高感度・超小型センサー素子
    • 複数の感応膜を同一環境で評価できるMSS-8RM 実験用モジュール



当社ブース (南3ホール 3S-M07。ブース位置はこちら)

 

ASTEC2020について

ASTEC2020は薄膜製造・各種コーティング・塗装等の最新表面処理技術が集結します。
ナノテクノロジー総合展(nano tech2020)などと併設され、3日間で約50,000人が来場する国内最大級の展示会です。
展示会ホームページ : http://www.astecexpo.jp/