FM(フォースモジュレーション)プローブ
FMシリーズは、粘弾性・凝着・摩擦などのサンプル表面の機械的特性を評価するフォースモジュレーション測定用に設計されています。カンチレバーのバネ定数が、コンタクトモード用（CONTシリーズ）とタッピングモード用（NCH、NCL、NCSTシリーズ）のギャップを埋める柔らかさなので、両方の測定モードに使用することも可能です。
特長
高分解能観察を実現する先鋭な探針
PointProbe(R) シリーズ ： 8nm 以下 （12nm 以下を保証）
探針部の仕様
材 質 ： 高ドープされた単結晶 Si
探針長さ ： 10～15 µm
ハーフコーンアングル ： 20～25°（正面から見た場合）
： 25～30°（側面から見た場合）
探針正面
探針側面
仕様
| 製品名 | 測定モード | タイプ | チップコート | 反射コート | 曲率半径 | カンチレバー長さ | バネ定数 | 共振周波数 | チップ高さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| FM | ACモード | フォースモジュレーション | - | - | 8nm | 225μm | 2.8N/m | 75kHz | 10～15μm |
| FMR | ACモード | フォースモジュレーション | - | Al | 8nm | 225μm | 2.8N/m | 75kHz | 10～15μm |
*値はティピカルです。