OPUS３レバータイプAFM用SIプローブ
３XCシリーズは、３種類のカンチレバーが、さまざまな測定モードに対応します。
カンチレバーA：コンタクトモード用
カンチレバーB：標準ACモードイメージング用
カンチレバーC：ソフトサンプルへのACモード用
先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
特長
- 3種類のカンチレバーがさまざまな測定モードに対応
カンチレバーA(500DC)：コンタクトモード用
カンチレバーB(200AC)：標準ACモードイメージング用
カンチレバーC(240AC)：ソフトサンプルへのACモード用
- カンチレバーおよび探針部の仕様
材質 ：nタイプSi
探針高さ：14μm(12-16)
探針角度：0°(正面) / 35°(背面) / <9°(側面)
探針曲率半径：<7nm
反射コート厚 (Al)：30nm (OPUS-3XC-NA)
仕様
| 製品名 | 測定 モード |
タイプ | 探針 コート |
反射 コート |
曲率 半径 |
カンチ レバー 長さ |
バネ 定数 |
共振 周波数 |
探針 高さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3XC-NN | コンタクトモード | ロングレバー | - | - | <7nm | 500μm(±10） | 0.3N/m (0.1-0.6) |
17kHz (11-22) |
14μm |
| ACモード | ソフトタッピング | 175μm(±10） | 9N/m (2.8-021) |
150kHz (100-200) |
|||||
| ACモード | 240μm(±10） | 2.5N/m (0.75-5.3) |
75kHz (50-100) |
||||||
| 3XC-NA | コンタクトモード | ロングレバー | - | Al | <7nm | 500μm(±10） | 0.3N/m (0.1-0.6) |
17kHz (11-22) |
14μm |
| ACモード | ソフトタッピング | 175μm(±10） | 9N/m (2.8-021) |
150kHz (100-200) |
|||||
| ACモード | 240μm(±10） | 2.5N/m (0.75-5.3) |
75kHz (50-100) |