ナノイメージング
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ナノイメージングセンター デモサイト

ナノイメージングセンターデモサイトにある装置一覧です。

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高性能 薄膜機械特性評価装置 iMicro
KLA-Tencor Corporation
極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、4Dの硬度・ヤング率マッピングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。
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Nano Indenter G200
KLA-Tencor Corporation
Nano Indenter G200は、バルク材料やミクロンオーダー厚の薄膜は勿論、従来困難であったサブミクロン厚の薄膜まで硬度・ヤング率評価を高精度で測定可能です。計装化押し込み試験の規格、ISO14577-1,2,3 に完全準拠した、まさに標準機と評価される製品です。
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