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![]() 高性能 薄膜機械特性評価装置 iMicro
KLA-Tencor Corporation 極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、4Dの硬度・ヤング率マッピングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。 |