ナノイメージングセンターデモサイトにある装置一覧です。
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各装置での分析をご希望の方は、
各製品の「この製品に関する御問い合わせ」からお問い合わせ下さい。  分析用高分解能FE-SEM 【MERLIN】
Carl Zeiss Microscopy GmbH MERLINは圧倒的な低加速電圧・高コントラストの機能に加え、さらなる高分解化を実現したFE-SEM です。最大300nA までの大電流オプションも選べ、高分解能観察からEDS、WDS、EBSD 等の分析まで、モード切替を行うことなく実行できます。     極低加速FE-SEM 【GeminiSEM 500】
Carl Zeiss Microscopy GmbH GEMINI SEM シリーズは実績のあるGEMINI レンズを進化させたNano-Twin レンズを採用しており、極低加速領域（～ 1kV）での高分解能・高コントラスト化を実現しました。同時に電子の検出効率を大幅に改善することで試料に対するビームダメージの低減に成功しました。さらにさまざまな試料に対応するため低真空条件下での高空間分解能化を実現しています。  高性能 薄膜機械特性評価装置 iMicro
KLA-Tencor Corporation 極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、4Dの硬度・ヤング率マッピングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。  Nano Indenter G200
KLA-Tencor Corporation Nano Indenter G200は、バルク材料やミクロンオーダー厚の薄膜は勿論、従来困難であったサブミクロン厚の薄膜まで硬度・ヤング率評価を高精度で測定可能です。計装化押し込み試験の規格、ISO14577-1,2,3 に完全準拠した、まさに標準機と評価される製品です。 |
