TESCAN社　電子顕微鏡・集束イオンビーム装置 (FIB-SEM/SEM)

Xe プラズマ FIB-SEMシステム　SOLARIS X

新製品

TESCAN社の最新鋭SOLARIS Xは、従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと、イマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
TSV（シリコン貫通電極）、MEMS、はんだバンプ、Cu ピラー、BGA の全体構造といった広いスケールの構造をもつ材料や深く埋もれた構造をもつ材料に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、クラス最高の低加速SEM観察能力により高い精度での物理解析が実現します。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

Xe プラズマ FIB-SEMシステム　AMBER X

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

新製品

TESCAN社の最新鋭AMBER Xは、従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
パワー半導体やリチウムイオン電池、ソフトマテリアル、磁気材料など多種多様な素材に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、ToF-SIMS、ラマンといったマルチモーダルイメージングをフィールドフリーかつ高い空間分解能で実現しました。

走査透過電子顕微鏡　TENSOR

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

新製品

各ピクセルでの電子線回折図形を高速で記録可能な4D-STEM 計測に特化

Ga FIB-SEMシステム　SOLARIS

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

新製品

TESCAN社の最新鋭SOLARISは、高い加工位置精度を有するGa FIBとイマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
多種多様な素材に対して、微細加工、微小試料作製、3Dイメージングを高い分解能で実現できるだけでなく、正確な終点検出を必要とするデバイス故障解析に最適です。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

Ga FIB-SEMシステム　AMBER

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

新製品

TESCAN社の最新鋭AMBERは、高い加工位置精度を有するGa FIBとフィールドフリー超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
電池材料、磁性材料、ソフトマテリアルなど多種多様な素材に対して、微細加工、微小試料作製、3Dイメージングを高い分解能で実現します。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

電界放出形走査電子顕微鏡　MAGNA

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

TESCAN社最新鋭のMAGNAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した超高分解能走査型電子顕微鏡です。イマージョン光学系を採用しており、高分解能・高コントラスト観察に有効です。クロスオーバーフリー光学系の選択も可能で、このユニークな手法を用いると色収差が小さくなり、低加速電圧でのビーム性能が大幅に向上します。
エネルギーフィルタリングが可能なインカラム検出器が配置されおり、ナノマテリアルのキャラクタリゼーションに最適です。

電界放出形走査電子顕微鏡　CLARA

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

TESCAN社最新鋭のCLARAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した高分解能走査型電子顕微鏡です。低加速電圧でのフィールドフリー観察が可能であり、ビーム敏感な試料や絶縁体試料、磁性体試料といった多種多様な試料に活用いただけます。
選択したビーム電流において最小のスポットサイズを得るためのパラメータをライブ制御し、観察条件変更時の作業性を向上させています。また、検出システムは電子の取り込み角やエネルギーに基づいたコントラストが得られるように設計されています。

電界放出形走査電子顕微鏡　MIRA

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

TESCAN社最新鋭のMIRAは、ショットキーエミッター搭載の電子銃を採用した走査電子顕微鏡です。熱電子銃タイプのSEMと同等の使いやすさで、さらに高い分解能が得られます。インカラム検出器を含めた複数の検出器により多様な情報の取得が可能であり、またEDSのインテグレーション化により元素情報も即座に得られます。
各種材料のキャラクタリゼーションなど、サブミクロンレベルでの解析に有効です。

自動鉱物粒子解析SEM　TIMA

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

TESCAN社TIMAは、MLAとも呼ばれる自動鉱物粒子解析に特化した最新鋭の走査電子顕微鏡です。最大4つのEDS検出器が装着可能で、その同時取得により高速分析が実現します。ショットキーエミッター搭載の電子銃を採用しているため、微細な鉱物粒子の識別が高い空間分解能で可能です。専用の自動ソフトウエアにより、SEM観察とEDS分析が無人でできるだけでなく、粒子の分離や鉱物種の同定も自動で行うことができます。
選鉱における鉱物試験として非常に有効なツールであるだけでなく、岩石の微細組織解析に代表される地球科学分野の研究や、考古遺物や文化財の鉱物学的研究にも高い能力を発揮します。

走査電子顕微鏡　VEGA

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

TESCAN社最新鋭のVEGAは、熱電子銃を搭載した走査型電子顕微鏡です。EDSがインテグレーションされており、観察から分析までシームレスな作業が可能です。サンプルやカラム、各種検出器の位置を3Dモデル化することにより、あらゆるレベルのユーザーの方に安心してお使いいただけるシステムです。
材料解析、品質管理などのルーチン的な作業に活用いただけます。

TESCAN社 電子顕微鏡・集束イオンビーム装置 (FIB-SEM/SEM)

TESCAN社　電子顕微鏡・集束イオンビーム装置 (FIB-SEM/SEM)