ナノイメージング
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In-SEM オプション

  • In-SEM インデンター
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    In-SEM インデンター
    Nanomechanics, Inc.

    Nano Indenterシステムは、試験荷重と押し込み深さの計測値から試料の微小領域における機械特性を算出することができます。

  • In-SEM AFM
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    In-SEM AFM

    低加速SEMの技術革命によって真の表面観察が容易になり、AFM(プローブ顕微鏡)分析を行う場所を瞬時に見つけ出すことができます。 プローブ顕微鏡による電気・機械特性などの局所物性解析から、SEMによる広範囲観察まで、SEMチャンバ内に試料を入れたまま、膨大な情報が瞬時に取得できます。

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