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高耐久カーボンチップ

nanotools(ナノツールズ)社は、電子線ビーム堆積法(EBD)を使用し、プローブのチップ先端部の任意の場所に、任意の長さ・任意の角度で、高アスペクト比のチップを成長させる技術を持ちます。カーボンナノチューブ(CNT)プローブに見られるプローブ毎の太さや角度のバラツキが低減されるため、インラインの品質管理などのデータの再現性とプローブの耐久性が求められる用途に最適なプローブです。
チップの材質である高密度カーボン(HDC)は、ダイヤモンドに匹敵するヤング率を有するため、高い耐久性も実現し、CNT プローブを凌駕するプローブとしてご使用いただけます。
  • スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ
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    スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ
    nanotools GmbH

    先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。
    シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。

  • ナノインデンテーション用Ballチップ 
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    ナノインデンテーション用Ballチップ 
    nanotools GmbH

    チップ先端に対称性の高い球状のHDCを成長させたプローブです。主にナノインデンテーション用に使用されます。20nm~500nmまで幅広いラインアップを揃えています。

  • USC(ウルトラショートカンチレバー) 
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    USC(ウルトラショートカンチレバー) 
    NanoWorld AG

    USC(ショートカンチレバーシリーズ)は、5MHzまでの高共振周波数で測定できるようデザインされた高速AFM用プローブです。極微小カンチレバーとシャープで耐摩耗性に優れた高密度カーボンチップを組み合わせています。

  • 超高アスペクト比EBDプローブ
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    超高アスペクト比EBDプローブ
    nanotools GmbH

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
     

  • 高アスペクト比M1プローブ
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    高アスペクト比M1プローブ
    nanotools GmbH

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。
    個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

  • 微細形状測定用HDC/DLCプローブ
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    微細形状測定用HDC/DLCプローブ
    nanotools GmbH

    高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

  • CNTプローブ 
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    CNTプローブ 
    nanotools GmbH

    カーボンナノチューブで問題となるチューブの取付け角度やチューブの長さ・太さのバラツキを解決したチップです。CNTはCarbon Nano Tipの略です。

  • 3Dメトロロジーチップ 
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    3Dメトロロジーチップ 
    nanotools GmbH

    サイドウォールの粗さや傾斜角度、トレンチの深さ、ステップ高さを測定するためのチップです。ナノツールズ社のEBD技術により、高精度なアンダーカット形状のHDCチップが製作されています。
     

  • 高分解能AFM用カーボンチップ 
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    高分解能AFM用カーボンチップ 
    nanotools GmbH

    研究向けにお求めやすい価格で、しかも長期にわたる信頼性の高い、高分解能測定を行うためのHDC/DLCプローブです。

  • ライフサイエンス用biotoolチップ 
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    ライフサイエンス用biotoolチップ 
    nanotools GmbH

    ライフサイエンスでよく使用されるSiNプローブにHDCチップを成長させたチップです。HDCは疎水性で化学的に安定なため、バッファー溶液中でも安定して使用可能です。

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