300kHz前後(285~400kHz)

    Arrowプローブ

    NanoWorld AG

    Arrowプローブ

    矢印形状のカンチレバー先端にプローブを形成していますので、狙った測定場所へのアプローチを容易に行うことができます。高解像度イメージングにも使える高品質プローブです。
    ・高解像イメージング用Si単結晶プローブ
    ・背面から探針の位置がわかる優れたデザイン
    ・反射コート有、無の両方のパッケージをご用意

    OPUSバイオAFM用Au背面コートプローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUSバイオAFM用Au背面コートプローブ

    OPUS ライフサイエンス用Au背面コートプローブシリーズは、大気中・溶液中・腐食性化学物質のある環境において光源の反射率を向上および安定させます。
    探針側は金属コートのないタイプであり、先鋭な先端、化学的不活性、高Q値を提供しています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。 標準プローブから高速ACモードイメージング用まで幅広いラインナップをご用意しています。

    OPUSウルトラ・シャープ・プローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUSウルトラ・シャープ・プローブ

    ACモード高分解能イメージング用で、先端に鋭いダイヤモンド状スパイクをもつプローブです。
    両面金コートタイプで、大気中と溶液中のどちらでも安定したレーザー反射率をもたらします。四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。
    これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    カンチレバーと探針側は両方とも金がコートされていますが、ダイヤモンド上スパイク部はコートされていません。

    NCHプローブ

    NanoWorld AG

    NCHプローブ

    NCHシリーズはノンコンタクトやタッピングモードでのイメージング用プローブで、優れた感度および高速スキャン能力と高い操作安定性を兼ね備えています。標準のプローブの中では、最も高い共振周波数(ティピカル値 320kHz)をもちます。

    「NCH-10T」は諸般事情により2019年3月19日(火)までの販売とさせていただきます。
    お客様にはご迷惑をおかけし誠に申し訳ございませんが、何卒ご理解を賜りますようお願い申し上げます。
    2019年3月20日(水)以降は「NCH-10」をご検討くださいますようお願い申し上げます。

    OPUS標準AFM用SIプローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUS標準AFM用SIプローブ

    OPUS-160ACシリーズは大気中 標準ACモード用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    金属コート無(OPUS-160AC-NN)/Al反射コート(OPUS-160AC-NA)/Au反射コート(OPUS-160AC-NG)のタイプがあります。

    OPUSバイオAFM用Au両面コートプローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUSバイオAFM用Au両面コートプローブ

    OPUS ライフサイエンス用Au両面コートプローブシリーズは、生物学的応用、探針機能化およびカスタムアプリケーションに最適です。
    カンチレバーおよび探針全体の金コートによって、大気中・溶液中・腐食性化学物質のある環境において光源の反射率が向上および安定することはもちろん、化学的に不活性で、導電性が確保されています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    標準プローブから高速ACモードイメージング用まで幅広いラインナップをご用意しています。

    スーパーシャープ・シリコン(SSS)プローブ

    NanoWorld AG

    スーパーシャープ・シリコン(SSS)プローブ

    PointProbePlusシリーズの先端をさらに先鋭化し、先端曲率半径が2nm(5nm未満を保証)のプローブです。ナノ構造およびマイクロラフネスの解像度を高める、世界で最もシャープなAFMプローブです。フォースモジュレーション、タッピングモード、ノンコンタクトモード測定に使用可能なラインナップを取り揃えています。

    AR(高アスペクト)プローブ 

    NanoWorld AG

    AR(高アスペクト)プローブ 

    ノンコンタクトモードまたはタッピングモードで急峻な壁や底面の形状を正確にトレースするためのプローブです。
    一般的なプローブの先端をサブトラクト法によってFIB加工をすることで、探針先端のアスペクト比が5:1もしくは10:1でありながら、水平方向の堅牢性と先端の剛性が高いプローブを提供しています。
    装置に取り付けた際に高アスペクト部が垂直になるように、13°傾いた状態でFIB加工をしたタイプのプローブ(AR5T)もあります。

    OPUS高アスペクトプローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUS高アスペクトプローブ

    シリコン単結晶探針の先端のカーボンナノファイバーにより、深いトレンチをもつ試料をACモードで形状測定を行うのに適したプローブです。 ナノファイバーの曲率半径の代表値は10nmで、先端から200nmの高さにおける直径は50nmです。
    両面金コートのため、大気中と溶液中のどちらでも安定したレーザー反射率をもたらします。四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。
    これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    カンチレバーと探針側は両方とも金がコートされていますが、カーボンナノファイバー部はコートされていません。

    スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ

    nanotools GmbH

    スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ

    先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。
    シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。

    Ptプローブ

    NanoWorld AG

    Ptプローブ

    チップ先端部にPtIr5をコートしたプローブ。表面電位顕微鏡や電流イメージングに使用可能です。
     

    ダイヤモンドコートプローブ 

    NanoWorld AG

    ダイヤモンドコートプローブ 

    チップにダイヤモンドコートを施し、耐久性を上げたプローブです。バネ定数が高く、サンプルに強い力をかけたスクラッチ試験などに向いています。

    Arrow/Ptlr5コート

    NanoWorld AG

    Arrow/Ptlr5コート

    アロープローブは、矢印形状のカンチレバー先端にプローブを形成していますので、狙った測定場所へのアプローチを容易に行うことができます。
    プローブ全体に約25nmのPtIr5をコーティングし、導電性を持たせています。金属をコーティングすることで、抵抗率を低減させています。

    導電性ダイヤモンドコートプローブ

    NanoWorld AG

    導電性ダイヤモンドコートプローブ

    導電性を持たせたダイヤモンドをコーティングし、スキャンによる磨耗と高電流による膜破壊を低減させています。強い接触力やμAレベルの電流を流す必要があるアプリケーションに対応します。

    ナノインデンテーション用Ballチップ 

    nanotools GmbH

    ナノインデンテーション用Ballチップ 

    チップ先端に対称性の高い球状のHDCを成長させたプローブです。主にナノインデンテーション用に使用されます。20nm~2000nmまで幅広いラインアップを揃えています。

    USC(ウルトラショートカンチレバー) 

    NanoWorld AG

    USC(ウルトラショートカンチレバー) 

    USC(ショートカンチレバーシリーズ)は、5MHzまでの高共振周波数で測定できるようデザインされた高速AFM用プローブです。極微小カンチレバーとシャープで耐摩耗性に優れた高密度カーボンチップを組み合わせています。

    超高アスペクト比EBDプローブ

    nanotools GmbH

    超高アスペクト比EBDプローブ

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
     

    高アスペクト比M1プローブ

    nanotools GmbH

    高アスペクト比M1プローブ

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。
    個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

    微細形状測定用HDC/DLCプローブ

    nanotools GmbH

    微細形状測定用HDC/DLCプローブ

    高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

    CNTプローブ 

    nanotools GmbH

    CNTプローブ 

    カーボンナノチューブで問題となるチューブの取付け角度やチューブの長さ・太さのバラツキを解決したチップです。CNTはCarbon Nano Tipの略です。