ナノイメージング
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Al(背面のみ)

反射の大きなサンプルを測定する場合、プローブ背面から反射されるレーザー光とサンプル表面から反射されるレーザー光が干渉を起こし、観察イメージに干渉縞が現れるケースがあります。このような場合、背面に反射コーティングを施したプローブを使用することで、光干渉を軽減できます。
 ・ Alコート :反射率が約2.5倍に向上
 ・ PtIr5コート :反射率が約2倍に向上。チップ側にもコートあり。電気測定に対応。
 ・ Auコート :反射率が約2倍に向上。液中で使用可能。
  • メーカー協賛プロモーション商品

    Arrowプローブ
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    Arrowプローブ 
    NanoWorld AG

    矢印形状のカンチレバー先端にプローブを形成していますので、狙った測定場所へのアプローチを容易に行うことができます。高解像度イメージングにも使える高品質プローブです。
    ・高解像イメージング用Si単結晶プローブ
    ・背面から探針の位置がわかる優れたデザイン
    ・反射コート有、無の両方のパッケージをご用意

  • NCHプローブ
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    NCHプローブ 
    NanoWorld AG

    NCHシリーズはノンコンタクトやタッピングモードでのイメージング用プローブで、優れた感度および高速スキャン能力と高い操作安定性を兼ね備えています。標準のプローブの中では、最も高い共振周波数(ティピカル値 320kHz)をもちます。
     

  • OPUS標準AFM用SIプローブ
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    OPUS標準AFM用SIプローブ
    OPUS by μmasch®

    OPUS-160ACシリーズは大気中 標準ACモード用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    金属コート無(OPUS-160AC-NN)/Al反射コート(OPUS-160AC-NA)/Au反射コート(OPUS-160AC-NG)のタイプがあります。

  • NCLプローブ
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    NCLプローブ 
    NanoWorld AG

    NCLシリーズは、装置のフィードバックループが高い周波数に対応していない場合や、光検出器システムがカンチレバー長さに制約を受ける場合にNCHシリーズの代用品として推奨されるタイプです。高い操作安定性と優れた感度を兼ね備えています。NCHシリーズよりも共振周波数が低いため、最大走査速度はわずかに減少します。

  • OPUS標準・ソフトタイプAFM用SIプローブ
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    OPUS標準・ソフトタイプAFM用SIプローブ
    OPUS by μmasch®

    OPUS-200ACシリーズは、大気中でお使いいただける標準およびソフトサンプル向けのACモード用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    カンチレバー背面のAl反射コートにより、レーザ反射率が向上します。

  • NCST(ソフトタップ)プローブ 
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    NCST(ソフトタップ)プローブ 
    NanoWorld AG

    NCST シリーズは、ノンコンタクトまたはソフトタッピングモードイメージング用に設計されています。
    比較的柔らかいカンチレバーで、共振周波数は160kHzと高めのため、試料と探針間の相互作用を少なくした状態で安定して速いスキャンを行うことが可能になります。脆弱で吸着の大きな試料の測定で効果を発揮します。

  • OPUSソフトタイプAFM用SIプローブ
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    OPUSソフトタイプAFM用SIプローブ
    OPUS by μmasch®

    OPUS-240ACシリーズはソフトサンプル向けACモード用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    金属コート無(OPUS-240AC-NN)/Al反射コート(OPUS-240AC-NA)のタイプがあります。

  • FM(フォースモジュレーション)プローブ  
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    FM(フォースモジュレーション)プローブ 
    NanoWorld AG

    FMシリーズは、粘弾性・凝着・摩擦などのサンプル表面の機械的特性を評価するフォースモジュレーション測定用に設計されています。カンチレバーのバネ定数が、コンタクトモード用(CONTシリーズ)とタッピングモード用(NCH、NCL、NCSTシリーズ)のギャップを埋める柔らかさなので、両方の測定モードに使用することも可能です。

  • CONT(ロングレバー)プローブ 
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    CONT(ロングレバー)プローブ 
    NanoWorld AG

    CONT(ロングレバー)シリーズは、コンタクトモードでの測定用に設計されています。0.2N/mと低いバネ定数により高感度にフォースカーブやPFM(パルスフォースモード)測定を行います。

  • OPUS3レバータイプAFM用SIプローブ
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    OPUS3レバータイプAFM用SIプローブ
    OPUS by μmasch®

    3XCシリーズは、3種類のカンチレバーが、さまざまな測定モードに対応します。
    カンチレバーA:コンタクトモード用
    カンチレバーB:標準ACモードイメージング用
    カンチレバーC:ソフトサンプルへのACモード用
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。

  • CONTSC/LFM(ショートレバー)プローブ 
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    CONTSC/LFM(ショートレバー)プローブ 
    NanoWorld AG

    CONTSC/LFMシリーズは、コンタクトモードのアプリケーションである水平力(LFM)や摩擦力(FFM)測定でお使い頂けるプローブです。コンタクトモードからノンコンタクトモードへのプローブ交換を容易に行う必要のあるAFM装置のためにカンチレバーの長さを225μmと短くしてあります。

  • スーパーシャープ・シリコン(SSS)プローブ
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    スーパーシャープ・シリコン(SSS)プローブ
    NANOSENSORS

    PointProbePlusシリーズの先端をさらに先鋭化し、先端曲率半径が2nm(5nm未満を保証)のプローブです。ナノ構造およびマイクロラフネスの解像度を高める、世界で最もシャープなAFMプローブです。フォースモジュレーション、タッピングモード、ノンコンタクトモード測定に使用可能なラインナップを取り揃えています。

  • AR(高アスペクト)プローブ 
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    AR(高アスペクト)プローブ 
    NanoWorld AG

    ノンコンタクトモードまたはタッピングモードで急峻な壁や底面の形状を正確にトレースするためのプローブです。
    一般的なプローブの先端をサブトラクト法によってFIB加工をすることで、探針先端のアスペクト比が5:1もしくは10:1でありながら、水平方向の堅牢性と先端の剛性が高いプローブを提供しています。
    装置に取り付けた際に高アスペクト部が垂直になるように、13°傾いた状態でFIB加工をしたタイプのプローブ(AR5T、AR10T)もあります。

  • SEIHプローブ
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    SEIHプローブ 
    NanoWorld AG

    SEIHは、旧SII社製の300kHz帯の高共振周波数に対応していないタイプの装置向けにデザインされたプローブです。DFM(ダイナミックフォースモード)測定に適しています。

  • XYアライメント対応プローブ 
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    XYアライメント対応プローブ 
    NANOSENSORS

    X-Yアライメントに対応したプローブは、アライメントチップと同時に使用する事で、長さの異なるプローブをSPMにセットした場合でもチップ先端の位置がほぼ同じ位置にセット可能です。

  • チップ反転プローブ 
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    チップ反転プローブ  
    NANOSENSORS

    チップ反転プローブは、探針の前後の角度がほぼ対称になるように、従来の探針の向きを180°回転した状態で取り付けています。探針先端から200nmまでのハーフコーンアングルは10°以下で、イメージの対称性が重要となる測定で威力を発揮します。
    タッピングモード、フォースモジュレーション、コンタクトモード用の3種のラインナップをご用意しています。

  • 形状測定用 高Q値 プローブ 
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    形状測定用 高Q値 プローブ  
    NANOSENSORS

    超高真空(UHV)環境下において使用する高Q値プローブです。35000以上の高いQ値を有し、カンチレバー背面のAl反射膜によって反射率と信号対雑音比(SN比)が向上しています。典型的な先端曲率半径が7nm未満で、かつ再現性も高いPointProbePlusシリーズをベースプローブとしています。

  • スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ
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    スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ
    nanotools GmbH

    先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。
    シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。

  • 磁気力顕微鏡用 高Q値 プローブ 
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    磁気力顕微鏡用 高Q値 プローブ 
    NANOSENSORS

    真空環境下でも高Q値を実現したMFM(磁気力顕微鏡)用プローブです。高感度と良好なS/N比を実現しました。

  • プラトーチップ 
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    プラトーチップ 
    NANOSENSORS

    プラトーチップシリーズは、チップの先端部を平坦状に加工しています。ご要望によって平坦部の大きさを特注することが可能です。

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