Al(背面のみ)

反射の大きなサンプルを測定する場合、プローブ背面から反射されるレーザー光とサンプル表面から反射されるレーザー光が干渉を起こし、観察イメージに干渉縞が現れるケースがあります。このような場合、背面に反射コーティングを施したプローブを使用することで、光干渉を軽減できます。
 ・ Alコート :反射率が約2.5倍に向上
 ・ PtIr5コート :反射率が約2倍に向上。チップ側にもコートあり。電気測定に対応。
 ・ Auコート :反射率が約2倍に向上。液中で使用可能。

    Arrowプローブ

    NanoWorld AG

    Arrowプローブ

    矢印形状のカンチレバー先端にプローブを形成していますので、狙った測定場所へのアプローチを容易に行うことができます。高解像度イメージングにも使える高品質プローブです。
    ・高解像イメージング用Si単結晶プローブ
    ・背面から探針の位置がわかる優れたデザイン
    ・反射コート有、無の両方のパッケージをご用意

    NCHプローブ

    NanoWorld AG

    NCHプローブ

    NCHシリーズはノンコンタクトやタッピングモードでのイメージング用プローブで、優れた感度および高速スキャン能力と高い操作安定性を兼ね備えています。標準のプローブの中では、最も高い共振周波数(ティピカル値 320kHz)をもちます。

    「NCH-10T」は諸般事情により2019年3月19日(火)までの販売とさせていただきます。
    お客様にはご迷惑をおかけし誠に申し訳ございませんが、何卒ご理解を賜りますようお願い申し上げます。
    2019年3月20日(水)以降は「NCH-10」をご検討くださいますようお願い申し上げます。

    OPUS標準AFM用SIプローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUS標準AFM用SIプローブ

    OPUS-160ACシリーズは大気中 標準ACモード用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    金属コート無(OPUS-160AC-NN)/Al反射コート(OPUS-160AC-NA)/Au反射コート(OPUS-160AC-NG)のタイプがあります。

    NCLプローブ

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    NCLプローブ

    NCLシリーズは、装置のフィードバックループが高い周波数に対応していない場合や、光検出器システムがカンチレバー長さに制約を受ける場合にNCHシリーズの代用品として推奨されるタイプです。高い操作安定性と優れた感度を兼ね備えています。NCHシリーズよりも共振周波数が低いため、最大走査速度はわずかに減少します。

    NCST(ソフトタップ)プローブ 

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    NCST(ソフトタップ)プローブ 

    NCST シリーズは、ノンコンタクトまたはソフトタッピングモードイメージング用に設計されています。
    比較的柔らかいカンチレバーで、共振周波数は160kHzと高めのため、試料と探針間の相互作用を少なくした状態で安定して速いスキャンを行うことが可能になります。脆弱で吸着の大きな試料の測定で効果を発揮します。

    OPUS標準・ソフトタイプAFM用SIプローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUS標準・ソフトタイプAFM用SIプローブ

    OPUS-200ACシリーズは、大気中でお使いいただける標準およびソフトサンプル向けのACモード用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    カンチレバー背面のAl反射コートにより、レーザ反射率が向上します。

    OPUSソフトタイプAFM用SIプローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUSソフトタイプAFM用SIプローブ

    OPUS-240ACシリーズはソフトサンプル向けACモード用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    金属コート無(OPUS-240AC-NN)/Al反射コート(OPUS-240AC-NA)のタイプがあります。

    FM(フォースモジュレーション)プローブ  

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    FM(フォースモジュレーション)プローブ  

    FMシリーズは、粘弾性・凝着・摩擦などのサンプル表面の機械的特性を評価するフォースモジュレーション測定用に設計されています。カンチレバーのバネ定数が、コンタクトモード用(CONTシリーズ)とタッピングモード用(NCH、NCL、NCSTシリーズ)のギャップを埋める柔らかさなので、両方の測定モードに使用することも可能です。

    CONT(ロングレバー)プローブ 

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    CONT(ロングレバー)プローブ 

    CONT(ロングレバー)シリーズは、コンタクトモードでの測定用に設計されています。0.2N/mと低いバネ定数により高感度にフォースカーブやPFM(パルスフォースモード)測定を行います。

    CONTSC/LFM(ショートレバー)プローブ 

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    CONTSC/LFM(ショートレバー)プローブ 

    CONTSC/LFMシリーズは、コンタクトモードのアプリケーションである水平力(LFM)や摩擦力(FFM)測定でお使い頂けるプローブです。コンタクトモードからノンコンタクトモードへのプローブ交換を容易に行う必要のあるAFM装置のためにカンチレバーの長さを225μmと短くしてあります。

    OPUS3レバータイプAFM用SIプローブ

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    OPUS3レバータイプAFM用SIプローブ

    3XCシリーズは、3種類のカンチレバーが、さまざまな測定モードに対応します。
    カンチレバーA:コンタクトモード用
    カンチレバーB:標準ACモードイメージング用
    カンチレバーC:ソフトサンプルへのACモード用
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。

    AR(高アスペクト)プローブ 

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    AR(高アスペクト)プローブ 

    ノンコンタクトモードまたはタッピングモードで急峻な壁や底面の形状を正確にトレースするためのプローブです。
    一般的なプローブの先端をサブトラクト法によってFIB加工をすることで、探針先端のアスペクト比が5:1もしくは10:1でありながら、水平方向の堅牢性と先端の剛性が高いプローブを提供しています。
    装置に取り付けた際に高アスペクト部が垂直になるように、13°傾いた状態でFIB加工をしたタイプのプローブ(AR5T)もあります。

    SEIHプローブ

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    SEIHプローブ

    SEIHは、旧SII社製の300kHz帯の高共振周波数に対応していないタイプの装置向けにデザインされたプローブです。DFM(ダイナミックフォースモード)測定に適しています。

    スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ

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    スーパーシャープエンハンスド(SSE)プローブ

    先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。
    シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。

    ナノインデンテーション用Ballチップ 

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    ナノインデンテーション用Ballチップ 

    チップ先端に対称性の高い球状のHDCを成長させたプローブです。主にナノインデンテーション用に使用されます。20nm~2000nmまで幅広いラインアップを揃えています。

    OPUS高速AFM用SIプローブ

    OPUS by μmasch®

    OPUS高速AFM用SIプローブ

    OPUS-55ACシリーズは、高速ACモードイメージング用プローブです。
    先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
    四面体探針がカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能です。
    金属コート無(OPUS-55AC-NN)/Al反射コート(OPUS-55AC-NA)のタイプがあります。

    Arrow UHFプローブ 

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    Arrow UHFプローブ 

    ACモード・超高共振周波数用の、カンチレバー長が非常に短いタイプです。

    超高アスペクト比EBDプローブ

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    超高アスペクト比EBDプローブ

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
     

    高アスペクト比M1プローブ

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    高アスペクト比M1プローブ

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。
    個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

    微細形状測定用HDC/DLCプローブ

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    微細形状測定用HDC/DLCプローブ

    高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。