アライメントチップ
X-Y校正用サンプル(300nmピッチ)
X-Y校正用サンプル(200nmピッチ)
高さ校正用サンプル
平坦度校正用サンプル
1チャンネル型 膜型表面応力センサー(SD-MSSシリーズ)
MSS-8RM 実験用モジュール
嗅覚センサーの実現には、ニオイに対する反応を人や機械が理解できる情報に変換することが重要です。また、複雑なニオイを測定する場合には、感応膜の異なるセンサーを複数用意し、それぞれのニオイに固有の波形を取得・解析することが求められます。
MSS-8RM 実験用モジュールは、1チャンネル型 膜型表面応力センサー「SD-MSSシリーズ」を最大8つまで搭載できます。2つのガスポンプ・温度・湿度センサーを備え、基準ガスと被測定ガスを交互にモジュールへと送り込みながら、複数の感応膜の評価を、同一環境で同時に評価できるため、効率的な評価が可能です。
