製品一覧 | 東陽テクニカ | “はかる”技術で未来を創る

Xe プラズマ FIB-SEMシステム　AMBER X 2

新製品

TESCAN社の最新鋭AMBER X 2は、従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
パワー半導体やリチウムイオン電池、ソフトマテリアル、磁気材料など多種多様な素材に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、ToF-SIMS、ラマンといったマルチモーダルイメージングをフィールドフリーかつ高い空間分解能で実現しました。

Ga FIB-SEMシステム　AMBER

TESCAN GROUP, a.s.

新製品

TESCAN社の最新鋭AMBERは、高い加工位置精度を有するGa FIBとフィールドフリー超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
電池材料、磁性材料、ソフトマテリアルなど多種多様な素材に対して、微細加工、微小試料作製、3Dイメージングを高い分解能で実現します。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

Xe プラズマ FIB-SEMシステム　SOLARIS X 2

TESCAN GROUP, a.s.

新製品

TESCAN社の最新鋭SOLARIS X 2は、従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと、イマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
TSV（シリコン貫通電極）、MEMS、はんだバンプ、Cu ピラー、BGA の全体構造といった広いスケールの構造をもつ材料や深く埋もれた構造をもつ材料に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、クラス最高の低加速SEM観察能力により高い精度での物理解析が実現します。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

iMicro 高性能薄膜機械的特性評価装置

KLA Corporation

デモ対応

iMicro 薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。

iNano 高分解能　薄膜機械的特性評価装置

KLA Corporation

デモ対応

iNanoは、極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、硬度・ヤング率の3次元イメージングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。

G200X ハイエンド薄膜機械的特性評価装置

KLA Corporation

NEW

G200X ハイエンド薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。

Nano Indenter G200

KLA Corporation

デモ対応

Nano Indenter G200は、バルク材料やミクロンオーダー厚の薄膜は勿論、従来困難であったサブミクロン厚の薄膜まで硬度・ヤング率評価を高精度で測定可能です。計装化押し込み試験の規格、ISO14577-1,2,3 に完全準拠した、まさに標準機と評価される製品です。高速インデンテーションを用いた硬さ・ヤング率の2次元定量イメージングにも対応します。

後継機種G200Xはこちらから

「VTS」ナノインデンター用加熱・冷却ステージオプション

KLA Corporation

新製品

ナノインデンターは薄膜や微小領域における硬さ・弾性率などの機械特性評価を行うために広く用いられています。室温環境下での試験報告は多くされていましたが、基礎研究・材料開発・製品化においては様々な温度環境での試験が求められます。 KLA社では新たに加熱・冷却ステージオプションVTS(Variable Temperature Stage)を販売し、ユーザーのニーズに沿った温度環境での試験を提供します。

NanoFlip 顕微鏡組み込み型ナノインデンター

KLA Corporation

NanoFlipは各種光学顕微鏡やAFMなどの既存のイメージング装置に搭載して、イメージング＆機械特性評価を実現する新しいタイプのナノインデンターです。Geminiオプションにより2軸測定が可能となり、ナノスケールでのトライボロジー特性評価を実現しました。

In-SEM ナノインデンター

KLA Corporation

In-SEM型ナノインデンターシステムは、電子顕微鏡(FIB-SEM、SEM)と組み合わせることにより、サンプルの微小領域における機械特性情報を、サンプルの変形・破壊挙動のライブイメージと併せて取得が可能となります。最高800℃までの加熱試験や電気信号測定も可能です。

走査透過電子顕微鏡　TENSOR

TESCAN GROUP, a.s.

新製品

各ピクセルでの電子線回折図形を高速で記録可能な4D-STEM 計測に特化

Ga FIB-SEMシステム　SOLARIS

TESCAN GROUP, a.s.

新製品

TESCAN社の最新鋭SOLARISは、高い加工位置精度を有するGa FIBとイマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
多種多様な素材に対して、微細加工、微小試料作製、3Dイメージングを高い分解能で実現できるだけでなく、正確な終点検出を必要とするデバイス故障解析に最適です。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

電界放出形走査電子顕微鏡　MAGNA

TESCAN GROUP, a.s.

TESCAN社最新鋭のMAGNAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した超高分解能走査型電子顕微鏡です。イマージョン光学系を採用しており、高分解能・高コントラスト観察に有効です。クロスオーバーフリー光学系の選択も可能で、このユニークな手法を用いると色収差が小さくなり、低加速電圧でのビーム性能が大幅に向上します。
エネルギーフィルタリングが可能なインカラム検出器が配置されおり、ナノマテリアルのキャラクタリゼーションに最適です。

自動鉱物粒子解析SEM　TIMA

TESCAN GROUP, a.s.

TESCAN社TIMAは、MLAとも呼ばれる自動鉱物粒子解析に特化した最新鋭の走査電子顕微鏡です。最大4つのEDS検出器が装着可能で、その同時取得により高速分析が実現します。ショットキーエミッター搭載の電子銃を採用しているため、微細な鉱物粒子の識別が高い空間分解能で可能です。専用の自動ソフトウエアにより、SEM観察とEDS分析が無人でできるだけでなく、粒子の分離や鉱物種の同定も自動で行うことができます。
選鉱における鉱物試験として非常に有効なツールであるだけでなく、岩石の微細組織解析に代表される地球科学分野の研究や、考古遺物や文化財の鉱物学的研究にも高い能力を発揮します。

X線マイクロCTシステム　UniTOM HR

TESCAN GROUP, a.s.

新製品

TESCAN社最新鋭のUniTOM HRは、サブミクロンレベルの空間分解能と秒レベルの時間分解能の双方を1台で実現した、世界で唯一のラボ用ダイナミックX線マイクロCTシステムです。多用途性も優れており、さまざまな分野の材料研究・材料エンジニアリング、故障解析・品質保証に用いることができます。

X線マイクロCTシステム　UniTOM XL

TESCAN GROUP, a.s.

TESCAN社最新鋭のUniTOM XLは、さまざまな試料・アプリケーションに柔軟に対応できる高速・マルチスケールX線マイクロCTシステムです。

X線マイクロCTシステム　CoreTOM

TESCAN GROUP, a.s.

TESCAN社最新鋭のCoreTOMは、医療用CTの測定視野の広さとラボ用X線マイクロCTの空間分解能の双方を1台で両立したX線マイクロCTシステムです。
地質調査で採取されるコアサンプルから細孔・粒子レベルのイメージングまで、幅広いスケールに対応します。

X線マイクロCTシステム　DynaTOM

TESCAN GROUP, a.s.

TESCAN社最新鋭のDynaTOMは、タイムラプス実験・その場観察に特化した、世界で初めて・世界で唯一のラボ用X線マイクロCTシステムです。
放射光施設でしか実現できなかった4Dトモグラフィー実験が、ラボベースで可能になります。

In-SEM AFM

NenoVision s.r.o.

新製品

LiteScopeは走査電子顕微鏡(SEM)に容易に統合できるように設計された原子間力顕微鏡（AFM）で、AFMとSEMを組み合わせた新しい相関分析技術を提供します。

高分解能原子間力顕微鏡 HR-AFM

AFMWorkshop

高分解能HR-AFM（原子間力顕微鏡）は、低価格ながら研究開発現場で必要とされるサブナノメートルの表面観察が可能な低ノイズ設計になっています。またViewオプションやプローブ交換治具などにより非常にユーザーフレンドリーな装置です。

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