OPUS高アスペクトプローブ
シリコン単結晶探針の先端のカーボンナノファイバーにより、深いトレンチをもつ試料をACモードで形状測定を行うのに適したプローブです。 ナノファイバーの曲率半径の代表値は10nmで、先端から200nmの高さにおける直径は50nmです。
両面金コートのため、大気中と溶液中のどちらでも安定したレーザー反射率をもたらします。四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。
これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
カンチレバーと探針側は両方とも金がコートされていますが、カーボンナノファイバー部はコートされていません。
特長
- Si単結晶探針の先端に曲率半径10nmのカーボンナノファイバー
- カンチレバーおよび探針（カーボンナノファイバー部を除く）に70nm厚のAuをコート
- カンチレバーおよび探針部の仕様
アスペクト比：＞4:1
先端から200nm高さにおけるファイバー径：50nm
ファイバー曲率半径：<10nm（代表値）
反射コート厚 (Au)： 70nm
探針側コート厚 (Au) : 70nm
仕様
| 製品名 | 測定 モード |
タイプ | 探針コート (ダイヤモンド状 スパイク部以外) |
反射 コート |
曲率 半径 |
カンチ レバー 長さ |
バネ 定数 |
共振 周波数 |
探針 高さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 160AC-FG | ACモード | 高共振周波数 | Au | Au | <10nm | 160μm (±10） |
26N/m (8-57) |
300kHz (200-400) |
14μm |
| 240AC-FG | ACモード | ソフトタッピング | Au | Au | <10nm | 240μm (±10) |
2N/m (0.6-3.9) |
70kHz (45-90) |
14μm |